一种蒸镀坩埚用加热装置制造方法及图纸

本申请公开了一种蒸镀坩埚用加热装置，包括外壳，从外壳的下方至上方逐层排列的多个固定环，支撑在相邻两个固定环之间的多个支撑柱，以及在两个固定环之间螺旋缠绕的加热丝。通过上述方式设置，可以有效地减少因开孔数量较多而导致固定环容易开裂的情况，从而减少蒸镀坩埚用加热装置容易报废的可能性。

A heating device for a steamed crucible

The utility discloses a heating device for evaporating crucible, which comprises a shell, a plurality of fixing rings arranged on the top to the top of the shell, a plurality of supporting columns supported between the two adjacent fixing rings, and a heating wire spirally wound between the two fixed rings. By setting the above way, we can effectively reduce the situation that the fixed ring is easy to crack due to the large number of openings, so as to reduce the possibility that the heating device of the crucible is easy to be scrapped.

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀坩埚用加热装置
本申请涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀坩埚用加热装置。
技术介绍
蒸镀是将材料加热成气体以镀到基片上的一种工艺，是显示领域(例如制作有源层时)常用的技术。蒸镀坩埚是蒸镀时使用的容器，加热装置是用于对蒸镀坩埚加热的装置。加热装置包括外壳、从外壳下方至上方逐层排列的多个固定环、支撑在相邻两个固定环之间的支撑柱，以及设置在两个固定环之间的加热丝。其中，支撑柱和加热丝均直线延展至相邻两个固定环，并从固定环的孔中穿过，以实现固定。蒸镀时，将蒸镀坩埚放置在加热装置中，将基片和需要加热的材料放入蒸镀坩埚中。加热丝通电加热，材料在高温下气化蒸发，镀到基片上。但是，为实现高温加热，加热丝的密度较大(相邻两个加热丝之间的距离较小)，这样需要在固定环上开设较多的加热丝安装孔。当长时间使用蒸镀坩埚用加热装置时，固定环容易开裂。固定环一旦开裂，加热丝和支撑柱容易从固定环中脱落，导致蒸镀坩埚用加热装置报废。
技术实现思路
本申请实施例提供一种蒸镀坩埚用加热装置，用于解决现有技术中，固定环容易开裂，使得蒸镀坩埚用加热装置容易报废的问题。本申请实施例采用下述技术方案：本申请的蒸镀坩埚用加热装置，包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，包括外壳，从所述外壳的下方至上方逐层排列的多个固定环，支撑在相邻两个所述固定环之间的多个支撑柱，以及在两个所述固定环之间螺旋缠绕的加热丝。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，包括外壳，从所述外壳的下方至上方逐层排列的多个固定环，支撑在相邻两个所述固定环之间的多个支撑柱，以及在两个所述固定环之间螺旋缠绕的加热丝。2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，所述加热丝缠绕在所述支撑柱上。3.根据权利要求2所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，所述加热丝以所述支撑柱的轴线为中心螺旋缠绕在所述支撑柱上。4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，同一所述加热丝中从一个所述固定环的不同穿设孔中穿出的两部分分别缠绕在位于相邻两个固定环之间且相邻的所述支撑柱上。5.根据权利要求4所述的蒸镀坩埚用加热装置，其特征在于，所述加热丝的两个自由端均抵接于靠近的所述固定环；或者所述加热丝的两个自由端从靠近的所述固定环的穿设孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆鹏，王善鹤，崔永鑫，许嵩，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32