AEC‑Q100复合应力测试机制造技术

本发明专利技术提出的AEC‑Q100复合应力测试机，是将加速环境应力测试、加速寿命模拟测试和封装凹陷整合测试结合在一起的一种AEC‑Q100复合应力测试机。在测试过程中，只需要一台测试设备，就可以同时测试多种应力测试，测量、操作方法比较简单,由于多种应力测试同时经行，耗费时间也同时减小。测试结果能同时反映芯片实际不同的受力情况,是进行集成电路应力测量的有力工具。

AEC Q100 composite stress testing machine

AEC Q100 composite stress testing machine provided by the invention is the accelerated environmental stress testing, accelerated life testing and simulation package integration test combined with a AEC depression Q100 composite stress testing machine together. In the process of testing, only one test device can be used to test various stress tests at the same time. The measurement and operation method is relatively simple, because a variety of stress tests run at the same time, and the time is also reduced. The test results can reflect the actual force of the chip at the same time, and it is a powerful tool for the measurement of the stress of the integrated circuit.

【技术实现步骤摘要】
AEC-Q100复合应力测试机
本专利技术涉及集成电路领域，尤其涉及封装集成电路应力测试，即AEC（automotiveelectronicscouncil）-Q100复合应力测试。
技术介绍
随着集成电路封装技术向小型化、高密度和表面安装等方向发展,以及芯片面积不断增加,芯片的应力问题日益突出,与应力相关的损伤增多,成为器件失效的主要原因之一。因此应力参数的测试与分析是保证器件可靠性的关键之一。AEC（automotiveelectronicscouncil）-Q100文件包括了一系列应力测试失效机理、最低应力测试认证要求的定义及集成电路认证的参考测试条件。这些测试能够模拟跌落半导体器件和封装失效，目的是能够相对于一般条件加速跌落失效，确定一种器件在应用中能够通过应力测试以及被认为能够提供某种级别的品质和可靠性。在实际应用中，AEC-Q100文件包括了七大种类应力测试：加速环境应力测试、加速寿命模拟测试、封装组装整合测试、芯片晶圆可靠度测试、电器特性确认测试、瑕疵筛选监控测试和封装凹陷整合测试，不同的应力测试反映不同的实际受力情况。在测试过程中，不同的应力测试需要不同的测试设备。如本文档来自技高网...

【技术保护点】
AEC‑Q100复合应力测试机（1），其特征在于，是将加速环境应力测试（2）、加速寿命模拟测试（3）和封装凹陷整合测试（4）结合在一起的一种AEC‑Q100复合应力测试机（1）。

【技术特征摘要】
1.AEC-Q100复合应力测试机（1），其特征在于，是将加速环境应力测试（2）、加速寿命模拟测试（3）和封装凹陷整合测试（4）结合在一起的一种AEC-Q100复合应力测试机（1）。2.根据权利要求1所述的AEC-Q100复合应力测试机（1），其特征在于，所述加速环境应力测试（2）包括：预处理（5）、有偏温湿度或高加速应力测试（6）、高压或无偏高加速应力测试或无偏温湿度（7）、温度循环（8）、功率温度循环（9）、高温贮藏寿命（10）。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆宇，张佩佩，程玉华，
申请(专利权)人：上海北京大学微电子研究院，
类型：发明
国别省市：上海,31