The utility model discloses a straight type EHD micropump, including bottom-up are sequentially arranged under the floor, and the cavity wall sealing pad, silicone cover; bottom left and right ends are respectively arranged in the narrow cavity drainage concave downward, narrow cavity is a transitional surface refrigerant flowing; the narrow cavity import and export are respectively communicated with the tube tube; a middle sealing silicone pad is a hollow structure, a cavity is formed in the hollow structure, narrow cavity cavity area coverage and connectivity of the left and right ends; under the surface etching cover the comb electrode array; comb electrode array arranged in the cavity of the sealing silicone enclosed area under the floor; and the seal between the silicone pad and cover seal combination, the comb electrode array is sealed in the cavity surrounded by silica gel pad sealing the sealing cavity, constitute the EHD micropump flow accelerating zone. The direct through electrohydraulic micro pump has a unique use value and broad application prospect in the field of micro fluid drive.
【技术实现步骤摘要】
一种直通型电液动力微泵
本技术涉及微电子散热领域和微流控领域,尤其涉及一种直通型电液动力微泵。
技术介绍
随着电子制造技术的发展,电子元件的集成度越来越高。摩尔定律指出,集成电路的晶体管密度每隔18个月就增加一倍。电子元件的集成度越高,热流密度越大。电子元件的可靠性和寿命将越来越依赖于热控制系统的完善程度。相关研究表明,电子元件的工作温度每升高10℃,系统的可靠性和电子元件的寿命将会下降一半左右。目前的散热技术主要包括:空气对流散热、液冷散热、热管散热等。其中,目前使用最广泛的空气对流散热效率低,热管散热在散热方向上有局限,而液散热的方法凭借其优良的散热效率拥有广阔的市场前景。在电子元件大规模元件微型化,集成化的趋势下,传统的液冷方式远不及微流道散热有优势。原因在于微流道散热相对散热面积大,在电子元件集成度不断提高,热流密度不断加大的趋势下,微流道散热更有利于提高散热效率。然而,液体工质在微通道结构中流动会产生很高的流动压差,常规的流体驱动方法(如常规齿轮泵,柱塞泵等)在微通道中是不适用的,同时集成的芯片对尺寸又有着严格的限制;这就需要一种既不占用太多体积又能够为微流道中流体提供充足动力,稳定工作的驱动装置来作为工质流动的动力源。现有的电液动力微泵大多将出入口设计在流道的上方,过渡突然,容易产生涡流而形成较大的压降。同时部分引线和电极暴露在外,容易引发触电事故。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术的缺点和不足,提供一种构造简单、运行稳定的直通型电液动力微泵。克服了现有电液动力泵易在出入口产生较大压降的不足,提升了微泵的整体性能。本技术通过下述技术方 ...
【技术保护点】
一种直通型电液动力微泵,其特征在于:包括自下而上依次设置的下底板(1)、兼做腔壁的密封硅胶垫(7)、盖板(8);所述下底板(1)的左右两端分别开设有向下凹陷的用于引流的窄腔(10),窄腔(10)为工质流动的过渡曲面;各窄腔(10)分别与导入管(4)和导出管(5)连通;所述密封硅胶垫(7)的中部为镂空结构,该镂空结构形成一空腔(11),空腔(11)的面积覆盖并连通左右两端的窄腔(10);所述盖板(8)的下表面刻蚀有梳状的集电极和发射极阵列,每个集电极和发射极相互交错排布,形成一个由集电极和发射极构成的梳状电极阵列;梳状电极阵列置于密封硅胶垫(7)的空腔(11)围成的区域内;集电极和发射极由引线(9)引出;下底板(1)、密封硅胶垫(7)和盖板(8)之间密封结合,使梳状电极阵列被密封在由密封硅胶垫(7)的空腔(11)围成的密封腔体内,构成电液动力微泵加速区的流道。
【技术特征摘要】
1.一种直通型电液动力微泵,其特征在于:包括自下而上依次设置的下底板(1)、兼做腔壁的密封硅胶垫(7)、盖板(8);所述下底板(1)的左右两端分别开设有向下凹陷的用于引流的窄腔(10),窄腔(10)为工质流动的过渡曲面;各窄腔(10)分别与导入管(4)和导出管(5)连通;所述密封硅胶垫(7)的中部为镂空结构,该镂空结构形成一空腔(11),空腔(11)的面积覆盖并连通左右两端的窄腔(10);所述盖板(8)的下表面刻蚀有梳状的集电极和发射极阵列,每个集电极和发射极相互交错排布,形成一个由集电极和发射极构成的梳状电极阵列;梳状电极阵列置于密封硅胶垫(7)的空腔(11)围成的区域内;集电极和发射极由引线(9)引出;下底板(1)、密封硅胶垫(7)和盖板(8)之间密封结合,使梳状电极阵列被密封在由密封硅胶垫(7)的空腔(11)围成的密封腔体内,构成电液动力微泵加速区的流道。2.根据权利要求1所述直通型电液动力微...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯睿东,苏凌丰,万珍平,何倩,冯晨,
申请(专利权)人:华南理工大学,
类型:新型
国别省市:广东,44
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