一种纳米压印模具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种纳米压印模具，包括上滚轮和下滚轮，所述上滚轮为石英材质的滚轮，所述上滚轮的中心设置有安装孔，安装孔内设置有紫外光源，沿紫外光源的发光方向设置有微透镜，所述上滚轮的表面包覆有一层柔性压印模板；所述下滚轮为橡胶材质的滚轮，上滚轮和下滚轮间留有间隙，上滚轮和下滚轮的转动方向相反，转动线速度相同。本实用新型专利技术实现了压印和固化的同步完成，解决了传统技术先压印再固化，搬运过程中衬底片容易受到污染，表面颗粒物增加，导致产品良率低，返工率较高的问题，同时，也大大减小了设备的占地面积和成本。可广泛应用于纳米压印领域。

A nano imprint die

The utility model discloses a nanoimprint mold comprises an upper roller and a lower roller, the roller for roller quartz, the center of the upper roller is provided with a mounting hole, mounting holes are arranged in the ultraviolet light source, a micro lens is arranged along the direction of light emitting ultraviolet light source, on the surface the roller is covered with a layer of flexible imprint template; the lower roller for roller rubber material, leaving a gap between the upper roller and the lower roller, the rotation direction of the upper roller and the lower roller opposite rotation speed is the same line. The utility model realizes the synchronous finish stamping and curing, solve the traditional technology first impression and then solidified, in the process of handling substrate is vulnerable to pollution, surface particles increased, resulting in low product yield, and the problem of high rework rate, and also greatly reduces the area and cost of equipment. It can be widely used in the field of nanoscale imprinting.

【技术实现步骤摘要】
一种纳米压印模具
本技术涉及半导体、光学领域中微纳米尺度加工技术，尤其是涉及一种纳米压印模具。
技术介绍
普林斯顿大学的华裔科学家StephenY.Chou教授创造性地专利技术了纳米压印光刻技术，该技术已经广泛地应用于集成电路领域，光学加工领域，数据存储领域和纳米生物薄膜领域。目前纳米压印生产线上压印和固化两个过程是相对独立的，衬底片是通过机械手臂在这两个过程之间进行传递的，设备投资成本高，占地面积大，在机械手臂传递的过程中，衬底片容易受到污染，表面颗粒物增加，导致产品良率低，返工率较高。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种纳米压印模具，解决现有纳米压印中压印和固化分步进行，产品易受污染，返工率高；且设备占地面积大、成本高等问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种纳米压印模具，包括上滚轮和下滚轮，所述上滚轮为石英材质的滚轮，所述上滚轮的中心设置有安装孔，安装孔内设置有紫外光源，沿紫外光源的发光方向设置有微透镜，所述上滚轮的表面包覆有一层柔性压印模板；所述下滚轮为橡胶材质的滚轮，上滚轮和下滚轮间留有间隙，上滚轮和下滚轮的转动方向相反，转动线速度相同。进一步的，所述的上滚轮为内径5c本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米压印模具，其特征在于：包括上滚轮(1)和下滚轮(2)，所述上滚轮(1)为石英材质的滚轮，所述上滚轮(1)的中心设置有安装孔(11)，安装孔(11)内设置有紫外光源(3)，沿紫外光源(3)的发光方向设置有微透镜(4)，所述上滚轮(1)的表面包覆有一层柔性压印模板(5)；所述下滚轮(2)为橡胶材质的滚轮，上滚轮(1)和下滚轮(2)间留有间隙，上滚轮(1)和下滚轮(2)的转动方向相反，转动线速度相同。

【技术特征摘要】
1.一种纳米压印模具，其特征在于：包括上滚轮(1)和下滚轮(2)，所述上滚轮(1)为石英材质的滚轮，所述上滚轮(1)的中心设置有安装孔(11)，安装孔(11)内设置有紫外光源(3)，沿紫外光源(3)的发光方向设置有微透镜(4)，所述上滚轮(1)的表面包覆有一层柔性压印模板(5)；所述下滚轮(2)为橡胶材质的滚轮，上滚轮(1)和下滚轮(2)间留有间隙，上滚轮(1)和下滚轮(2)的转动方向相反，转动线速度相同。2.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王笑，刘建哲，潘安练，褚君尉，朱小莉，祝小林，徐良，
申请(专利权)人：黄山博蓝特光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34