一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机制造技术

本发明专利技术公开提供一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机,它包括至少两个真空卷绕镀膜系统单元，相邻的两个真空卷绕镀膜系统单元之间通过真空联结阀连接，待镀膜的卷料由所述真空联结阀穿过进入下一个空卷绕镀膜系统单元；所述真空卷绕镀膜系统单元包括有放卷室、镀膜室、热处理室及收卷室，四者均设有若干可用于张紧、传送待镀膜卷料、改变的待镀膜的卷料缠绕方向的卷轴，镀膜室设有镀膜榖，待镀膜的卷料在上一个真空卷绕镀膜系统单元中实现一面镀膜后因所述卷轴改变其缠绕方向在下一个真空卷绕镀膜系统单元实现另一面镀膜。

A modular manufacturing multi purpose winding vacuum coating machine

The invention discloses a modular manufacturing multi-purpose winding type vacuum coating machine, which comprises at least two vacuum coating system unit, vacuum coating system between the two adjacent unit connected by vacuum connection valve, coil material to be coated by the vacuum connection through the valve into the empty coil coating system a unit; the vacuum coating system comprises unreeling chamber, coating chamber, a heat treatment chamber and winding room, the four is provided with a plurality of tensioning, can be used to transmit the coating material, the volume change to the winding direction of the coil coating roll coating, coating chamber is provided with a material to be there, the coating on a vacuum coating system unit achieve a filming due to the change in the direction of the winding reel under a vacuum unit to realize the other side winding coating coating system.

【技术实现步骤摘要】
一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机
本专利技术涉及真空镀膜、电容器薄膜制造及光电显示薄膜制造行业，针对柔性薄膜材料实现单/双面镀膜，尤其涉及一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜是等离子技术应用的一种，即在真空环境下，使装有待镀材料的磁控溅射阴极启辉(电阻蒸发方式是通电加热膜料坩埚)，磁控阴极产生等离子体，高能离子轰击靶面(膜料)溅射出要镀膜料粒子，溅射出来的粒子沉积在被镀工件上形成单质膜、化合物膜等。卷绕式真空镀膜技术广泛应用于电容器、触摸显示器、装饰包装材料等柔性材料的功能及装饰性薄膜制造领域。常规的卷绕式真空镀膜设备所采用的卷绕机构多为单腔体或多腔体，对于单腔体设备，其结构特点为：a.包括一个密封真空容器(圆形或矩形腔体)；b.容器内用金属隔板隔离出1个放卷区、1个镀膜区、1个收卷区；c.具有设计紧凑、占地面积小、造价低等优点；d.缺点是各区域气氛隔离度差，工作中粉尘污染较多，生产膜系有限，产能低等。对于多腔体设备，其缺点是单镀膜主毂生产，生产膜系有限，产品品种单一，设备只能按工艺订制，制造成本较高等。以上设备结构设计是目前常用的几种卷绕式真空镀膜设备方式，设备的设计制造都是在事先确定产品工艺的基础上须独立设计的专用设备，都只能镀制单面成膜产品，生产双面镀膜产品时，就需要将待镀膜(箔材)翻面二次加工，具有成品率低，生产效率低；生产简单膜系产品时，设备利用率低等缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机，它针对柔性薄膜材料实现单/双面镀膜。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机,包括至少两个真空卷绕镀膜系统单元，相邻的两个真空卷绕镀膜系统单元之间通过真空联结阀连接，待镀膜的卷料由所述真空联结阀穿过进入下一个空卷绕镀膜系统单元；所述真空卷绕镀膜系统单元包括有放卷室、镀膜室、热处理室及收卷室，四者均设有若干可用于张紧、传送待镀膜卷料、改变的待镀膜的卷料缠绕方向的卷轴，镀膜室设有镀膜榖，待镀膜的卷料在上一个真空卷绕镀膜系统单元中实现一面镀膜后因所述卷轴改变其缠绕方向在下一个真空卷绕镀膜系统单元实现另一面镀膜。优选的，所述真空卷绕镀膜系统单元还包括有控制镀膜工艺参数的PLC控制系统。优选的，所述放卷室、镀膜室、热处理室及收卷室均由独立的抽真空设备进行抽真空，抽真空设备与所述PLC控制系统控制连接。优选的，所述放卷室、镀膜室由独立的抽真空设备进行抽真空，热处理室及收卷室共用一组抽真空设备，所有抽真空设备均与所述PLC控制系统控制连接。优选的，所述镀膜室设有多个磁控溅射靶，多个磁控溅射靶与所述PLC控制系统控制连接。优选的，所述放卷室设有可拆卸的放卷辊，所述收卷室设有可拆卸的收卷辊。优选的，所述热处理室设有若干加热装置，若干加热装置与所述PLC控制系统控制连接。优选的，所述放卷室与所述收卷室为对称结构，两者可对调从而改变收卷或放卷的位置。优选的，所述放卷辊及收卷辊与所述PLC控制系统控制连接。本专利技术有益效果为：1、通过模块化镀膜系统单元设计，各单元模块具有独立操作使用功能；2、独立的真空联接阀将各单元模块联结起来后，各模块可实现联动；3、双镀膜系统单元设计及联结可实现柔性材料的双，面镀膜；4、模块化的高温真空热处理室设计，可进行石墨烯复合制造；5、高集成度的自动控制系统设计可实现多系统模块单元的联动及各单元的独立运行。说明书附图图1为本专利技术实施例1的系统组成示意图；图2为本专利技术实施例1进行单面镀膜时的原理示意图；图3为本专利技术实施例1进行双面镀膜时的原理示意图。具体实施方式在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面通过具体实施方式结合附图对本专利技术作进一步详细说明。实施例1，参考图1至图3所示，一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机,包括两个真空卷绕镀膜系统单元100，两个真空卷绕镀膜系统单元100之间通过真空联结阀1连接，待镀膜的卷料21由真空联结阀1穿过进入下一个空卷绕镀膜系统单元100；真空卷绕镀膜系统单元100包括有放卷室2、镀膜室3、热处理室4及收卷室5，四者均设有若干可用于张紧、传送待镀膜卷料、改变的待镀膜的卷料缠绕方向的卷轴6，镀膜室3设有镀膜榖7，如图可知，待镀膜的卷料21在上一个真空卷绕镀膜系统单元中实现一面镀膜后因卷轴改变其缠绕方向在下一个真空卷绕镀膜系统单元实现另一面镀膜。优选的，真空卷绕镀膜系统单元还包括有控制镀膜工艺参数的PLC控制系统11。PLC作为控制中心，可以输入需要的工艺参数，设备运行时，按照这些参数去执行，当工艺参数不适当的情况下，可以根据实际需要调整或修改，一般而言，在本专利技术中，PLC可控制的参数有卷料前进的速度、本体真空度、工艺气氛、加热温度、离子源功率及磁控溅射阴极功率等。优选的，放卷室2、镀膜室3分别由第一抽真空机组8、第二真空机组9进行抽真空，热处理室4及收卷室5共用一组抽真空设备第三真空机组10，所有抽真空机组均与PLC控制系统控制连接。当然，作为本专利技术又一种实施例，放卷室2、镀膜室3、热处理室及收卷室均也可由独立的抽真空设备进行抽真空，抽真空设备与PLC控制系统控制连接。优选的，镀膜室设有3个磁控溅射靶12，3个磁控溅射靶12与PLC控制系统11控制连接，PLC控制系统11可控制磁控溅射靶12的磁控溅射阴极功率。当然，作为本专利技术的其它实施方式，磁控溅射靶12的数量还可以是其它数量，一般地，多个磁控溅射靶12应等间距均匀地设置对向镀膜榖。优选的，放卷室2设有可拆卸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机,其特征在于包括至少两个真空卷绕镀膜系统单元，相邻的两个真空卷绕镀膜系统单元之间通过真空联结阀连接，待镀膜的卷料由所述真空联结阀穿过进入下一个空卷绕镀膜系统单元；所述真空卷绕镀膜系统单元包括有放卷室、镀膜室、热处理室及收卷室，四者均设有若干可用于张紧、传送待镀膜卷料、改变的待镀膜的卷料缠绕方向的卷轴，镀膜室设有镀膜榖，待镀膜的卷料在上一个真空卷绕镀膜系统单元中实现一面镀膜后因所述卷轴改变其缠绕方向在下一个真空卷绕镀膜系统单元实现另一面镀膜。

【技术特征摘要】
1.一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机,其特征在于包括至少两个真空卷绕镀膜系统单元，相邻的两个真空卷绕镀膜系统单元之间通过真空联结阀连接，待镀膜的卷料由所述真空联结阀穿过进入下一个空卷绕镀膜系统单元；所述真空卷绕镀膜系统单元包括有放卷室、镀膜室、热处理室及收卷室，四者均设有若干可用于张紧、传送待镀膜卷料、改变的待镀膜的卷料缠绕方向的卷轴，镀膜室设有镀膜榖，待镀膜的卷料在上一个真空卷绕镀膜系统单元中实现一面镀膜后因所述卷轴改变其缠绕方向在下一个真空卷绕镀膜系统单元实现另一面镀膜。2.根据权利要求1所述的一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机,其特征在于所述真空卷绕镀膜系统单元还包括有控制镀膜工艺参数的PLC控制系统。3.根据权利要求2所述的一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机,其特征在于所述放卷室、镀膜室、热处理室及收卷室均由独立的抽真空设备进行抽真空，抽真空设备与所述PLC控制系统控制连接。4.根据权利要求2所述的一种模块化制造多用途卷...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵斌，
申请(专利权)人：深圳市烯谷能源控股有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44