一种镀膜夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种镀膜夹具，包括圆盘夹具以及中空的圆环夹具；所述圆盘夹具上端面绕圆心均匀设置四个贯穿圆盘夹具的方形通槽；方形通槽内壁设置有凸起；所述方形通槽一侧设置有弧形槽；位于同侧的两方形通槽通过一矩形槽连通；所述圆盘夹具可拆卸连接于圆环夹具上；所述圆环夹具的空心圆与方形通槽相对；所述圆环夹具通过螺丝与机箱顶部螺纹连接。

A coating fixture

The utility model relates to a coating fixture, including fixture and clamp the hollow disc ring; the disc clamp on the face evenly arranged around the center of four square grooves through the disc clamp; the square through groove is arranged at the inner wall of the square bulges; through groove is arranged at one side of the arc-shaped groove; at the same side of two square. The tank is communicated with a rectangular groove; the disc clamp can be detachably connected in the ring clamp; the hollow circle and square the ring clamp groove relative; the ring clamp is connected by screws and screw top chassis.

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜夹具
本技术涉及一种镀膜夹具，属于半导体制造设备领域。
技术介绍
目前，在半导体制造中，许多芯片工艺步骤会用到镀金属膜技术，所镀膜层为导电层、介质层或其他膜层等。现有的磁控溅射镀膜加工技术，是将晶片直接嵌入至机箱上的镀膜夹具，然后进行加工镀膜，由于镀膜夹具拆卸比较繁琐，导致取下晶片比较困难，而且还易导致基片及膜层的破损，不但如此，加工条件处于高洁净度的环境，镀膜夹具的拆卸，容易造成镀膜腔体的污染，进而对后续的基片镀膜质量造成影响。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供一种磁控溅射镀膜夹具，方便取下掩膜，不容易造成掩膜破损，提高了工作效率。本技术的技术方案如下：一种镀膜夹具，包括圆盘夹具以及中空的圆环夹具；所述圆盘夹具上端面绕圆心均匀设置四个贯穿圆盘夹具的方形通槽；方形通槽内壁设置有凸起；所述方形通槽一侧设置有弧形槽；位于同侧的两方形通槽通过一矩形槽连通；所述圆盘夹具可拆卸连接于圆环夹具上；所述圆环夹具的空心圆与方形通槽相对；所述圆环夹具通过螺丝与机箱顶部螺纹连接。其中，所述圆环夹具上端面绕圆心均匀设置多个贯穿圆环夹具的螺钉紧固槽；一螺钉依次穿过圆盘夹具的螺孔以及所述螺钉紧固槽使圆盘夹具和圆环夹具卡接。其中，还包括拆取装置；所述拆取装置包括依次连接的第一液压装置、“L型”的连接架以及固定块；所述固定块上端面设置有第一电机；所述第一电机的转轴与一四爪支架中心连接；所述四爪支架的爪子末端均设置有第二液压装置；所述圆盘夹具外壁均匀设置有四个卡槽；第二液压装置的液压杆与卡槽相对应设置。其中，所述拆取装置还包括第二电机以及固定第二电机的工作台；所述第二电机的转轴连接有固定桩；所述固定桩一侧与第一液压装置连接。本技术具有如下有益效果：1、本技术一种镀膜夹具，方便取下掩膜，不容易造成掩膜破损，提高了工作效率。2、本技术一种镀膜夹具，通过在圆环夹具上设置螺钉紧固槽实现圆环夹具与圆盘夹具可拆卸的功能，方便取下掩膜。3、本技术一种镀膜夹具，通过在圆盘夹具上开设卡槽与拆取装置配合设置，将圆盘夹具从圆环夹具上自动拆取出来，解决了基片污染或的问题，提高了工作效率。附图说明图1是表示本技术一种镀膜夹具的圆环夹具与机箱顶部的装配图；图2是表示本技术一种镀膜夹具的圆盘夹具的俯视图；图3是表示本技术一种镀膜夹具的圆盘夹具的侧视图；图4是表示本技术一种镀膜夹具的拆取装置侧视图。图中附图标记表示为：1-圆盘夹具、11-方形通槽、12-弧形槽、13-矩形槽、2-圆环夹具、21-螺钉紧固槽、22-卡槽、3-机箱、4-拆取装置、41-第一液压装置、42-连接架、43-固定块、44-第一电机、45-四爪支架、46-第二液压装置、5-工作台、51-第二电机、52-固定桩。具体实施方式下面结合附图和具体实施例来对本技术进行详细的说明。参见图1、图2，一种镀膜夹具，包括圆盘夹具1以及中空的圆环夹具2；所述圆盘夹具1上端面绕圆心均匀设置四个贯穿圆盘夹具1的方形通槽11；方形通槽11内壁设置有凸起111，用于承接掩膜；所述方形通槽11一侧设置有弧形槽12，位于同侧的两方形通槽11通过一矩形槽13连通，用于方便取出掩膜；所述圆盘夹具1可拆卸连接于圆环夹具2上；所述圆环夹具2的空心圆与方形通槽11相对；所述圆环夹具2通过螺丝（图中未示出）与机箱3顶部螺纹连接。其中，所述圆环夹具2上端面绕圆心均匀设置多个贯穿圆环夹具2的螺钉紧固槽21；一螺钉（图中未示出）依次穿过圆盘夹具1的螺孔以及所述螺钉紧固槽21使圆盘夹具1和圆环夹具2卡接。参见图3和图4，还包括拆取装置4；所述拆取装置4包括依次连接的第一液压装置41、“L型”的连接架42以及固定块43；所述固定块43上端面固定设置有第一电机44；所述第一电机44的转轴与一四爪支架45的中心固定连接；所述四爪支架45的爪子末端均设置有第二液压装置46；第二液压装置46用于夹住圆盘夹具2；所述圆盘夹具1外壁均匀设置有四个卡槽22；卡槽22与第二液压装置46的液压杆对应设置，第二液压装置46的液压杆伸展时与卡槽22卡合。其中，所述拆取装置4还包括第二电机51以及固定第二电机51的工作台5；所述第二电机51的转轴连接有固定桩52；所述固定桩52一侧与第一液压装置41连接，第二电机51用于驱动第一液压装置41在竖直面上转动。本技术的工作原理：工作时，将圆环夹具2固定用螺丝固定于机箱3顶部，然后将需要加工的掩膜嵌入方形通槽11内，然后第一液压装置41带动四爪支架45上下运作，使得第二液压装置46移至圆盘夹具1的卡槽22对应的位置，然后第一液压装置41停止运作，第二液压装置46开始运作，第二液压装置46的液压杆往外伸，直至插入卡槽22后，停止工作，接着第二电机51开始工作，将圆盘夹具1翻转至上方，此时方形通槽11内的掩膜朝上，此时第二电机51停止工作，接着第一液压装置41又开始运作，将圆盘夹具1移至机箱3顶部，进而靠近圆环夹具2，然后将螺钉下移对准圆盘夹具1的螺孔以及螺钉紧固槽21后套入，此时第一液压装置41停止运作，此时第一电机44开始工作，第一电机44的转轴带动四爪支架45转动，进而带动圆盘夹具1转动，进而螺钉紧固槽21与螺钉31卡住，进而使圆盘夹具1固定于圆环夹具2上。以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜夹具，其特征在于：包括圆盘夹具（1）以及中空的圆环夹具（2）；所述圆盘夹具（1）上端面绕圆心均匀设置四个贯穿圆盘夹具（1）的方形通槽（11）；方形通槽（11）内壁设置有凸起（111）；所述方形通槽（11）一侧设置有弧形槽（12）；位于同侧的两方形通槽（11）通过一矩形槽（13）连通；所述圆盘夹具（1）可拆卸连接于圆环夹具（2）上；所述圆环夹具（2）的空心圆与方形通槽（11）相对；所述圆环夹具（2）通过螺丝与机箱（3）顶部螺纹连接。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜夹具，其特征在于：包括圆盘夹具（1）以及中空的圆环夹具（2）；所述圆盘夹具（1）上端面绕圆心均匀设置四个贯穿圆盘夹具（1）的方形通槽（11）；方形通槽（11）内壁设置有凸起（111）；所述方形通槽（11）一侧设置有弧形槽（12）；位于同侧的两方形通槽（11）通过一矩形槽（13）连通；所述圆盘夹具（1）可拆卸连接于圆环夹具（2）上；所述圆环夹具（2）的空心圆与方形通槽（11）相对；所述圆环夹具（2）通过螺丝与机箱（3）顶部螺纹连接。2.如权利要求1所述的一种镀膜夹具，其特征在于：所述圆环夹具（2）上端面绕圆心均匀设置多个贯穿圆环夹具（2）的螺钉紧固槽（21）；一螺钉依次穿过圆盘夹具（1）的螺孔以及所述螺钉紧固槽（21）使圆盘夹具（1）和圆环夹具（2）...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁万国，李广伟，张新汉，陈怀熹，缪龙，冯新凯，邹小林，
申请(专利权)人：福建中科晶创光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35