一种粉末包覆原子层沉积装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
一种粉末包覆原子层沉积装置
本专利技术涉及一种原子层沉积装置，尤其涉及一种基于超声振动分散功能的粉末包覆原子层沉积装置。
技术介绍
微纳米尺寸的粉末颗粒，由于相对普通材料比表面积更大，因此其拥有不同于一般宏观尺度上颗粒的物理化学特性，所以被广泛应用于燃料、涂层、电子、催化剂等领域。但纳米粉末由于本身的固有特性也存在一些缺陷：由于其高表面能，纳米粉末易发生团聚现象，使其特有的物理化学特性难以得到完全的发挥；同时由于其具有大的表面活性，导致有些含能纳米材料虽然较一般的含能材料拥有更大的燃烧焓，但也更容易和存储氛围中的空气和水汽等发生反应，使其丧失内部蕴含的活性成分导致这些含能纳米粉末的存储寿命过低。因此，考虑在粉末表面包覆保护膜，以克服上述缺陷。原子层沉积技术是一种先进纳米薄膜制备手段，被广泛应用于各领域，尤其是在微纳米粉末的表面改性方面，其可以直接运用在基片表面，能够得到很好的包覆效果。但是，对于比表面积相对而言很大的纳米粉末，利用常规原子层沉积方法进行包覆，很难在其表面均匀镀膜，并且存在颗粒团聚现象非常严重的问题，直接降低了粉末表面的包覆率和均匀性，限制了纳米粉末...
【技术保护点】
一种粉末包覆原子层沉积装置，包括粉末容器和反应腔体，其特征在于，所述反应腔体的一端设置有进源口，所述进源口中密封设置有用于通入反应气体或载气的进气管，所述反应腔体的另一端开设有腔门，所述粉末容器设置于腔门内侧且在动力装置的驱动下旋转，所述粉末容器上开设有进气孔，所述进气管通过所述进气孔进入所述粉末容器的内腔，所述反应腔体的内部设置有超声振动杆，所述粉末容器通过导向装置进入所述反应腔体后，所述粉末容器的外侧壁与所述超声振动杆接触。
【技术特征摘要】
1.一种粉末包覆原子层沉积装置，包括粉末容器和反应腔体，其特征在于，所述反应腔体的一端设置有进源口，所述进源口中密封设置有用于通入反应气体或载气的进气管，所述反应腔体的另一端开设有腔门，所述粉末容器设置于腔门内侧且在动力装置的驱动下旋转，所述粉末容器上开设有进气孔，所述进气管通过所述进气孔进入所述粉末容器的内腔，所述反应腔体的内部设置有超声振动杆，所述粉末容器通过导向装置进入所述反应腔体后，所述粉末容器的外侧壁与所述超声振动杆接触。2.根据权利要求1所述的粉末包覆原子层沉积装置，其特征在于：所述动力装置包括驱动电机和磁流体密封装置，所述腔门的外侧凸出设置有第一法兰接管，所述磁流体密封装置与所述第一法兰接管密封连接，所述腔门的内侧固设有容器支撑架，所述粉末容器的两端分别通过轴承支架盖固定于所述容器支撑架上，且所述粉末容器的一端设置有传动轴，另一端上开设有所述进气孔形成通孔轴，所述驱动电机的输出轴、所述磁流体密封装置的驱动轴和所述传动轴两两之间分别通过联轴器连接。3.根据权利要求2所述的粉末包覆原子层沉积装置，其特征在于：所述导向装置包括配合设置的直线导轨和滑块，所述反应腔体的腔门侧设置有安装底座...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈蓉，张晶，王禄荣，曲锴，李嘉伟，段晨龙，竹鹏辉，葛浩然，
申请(专利权)人：华中科技大学无锡研究院，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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