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本发明公开了一种粉末包覆原子层沉积装置，其包括粉末容器和反应腔体，反应腔体的一端设置有进源口，进源口中密封设置有用于输入反应气体或载气的进气管，反应腔体的另一端开设有腔门，粉末容器设置于腔门内侧，在动力装置的驱动下可实现旋转，粉末容器上开设...
该专利属于华中科技大学无锡研究院所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学无锡研究院授权不得商用。

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