石英炉管制造技术

石英炉管。涉及晶圆加工装置，尤其涉及一种晶圆加热过程中的石英炉管。提供了一种使用时不易变形坍塌、使用寿命长的石英炉管。包括炉管本体和设于炉管本体外部的保护装置，所述保护装置为陶瓷管，所述陶瓷管套设在所述炉管本体的外部，所述陶瓷管的内径大于所述炉管本体的外径。所述陶瓷管的内壁上设有内螺纹，所述炉管本体的外壁上设有与所述内螺纹适配的外螺纹。所述陶瓷管包括互相分离的四个部件，四个所述部件与炉管本体接触的部分为曲面，所述曲面与炉管本体的外壁贴合。本实用新型专利技术便于安装，提高生产效率，降低生产成本。

Quartz tube

Quartz furnace tube. The invention relates to a wafer processing device, in particular to a quartz furnace tube in the process of wafer heating. A quartz furnace tube, which is not easy to be deformed and collapsed and has long service life, is provided. The utility model comprises a furnace tube body and a protective device arranged outside the body of the furnace tube, and the protective device is a ceramic tube, and the ceramic tube sleeve is arranged outside the furnace tube body, and the inner diameter of the ceramic tube is larger than the outer diameter of the furnace tube body. The inner wall of the ceramic tube is provided with internal thread, and the outer wall of the furnace tube body is provided with an external thread suitable for the internal thread. The ceramic tube includes four parts which are separated from each other, and the parts contacted by the four components and the furnace tube body are curved surfaces, and the surfaces are bonded with the outer wall of the furnace tube body. The utility model is easy to install, improves the production efficiency and reduces the production cost.

【技术实现步骤摘要】
石英炉管
本技术涉及晶圆加工装置，尤其涉及一种晶圆加热过程中的石英炉管。
技术介绍
生产PN结过程中需要将不同的金属通过扩散工艺扩散到晶圆表面，通常的做法是将晶圆放置在石英炉管内加热，由于温度较高，石英炉管多次、长时间使用，会导致炉管变形严重并坍塌，最终无法使用报废；在高温条件下使用寿命短。
技术实现思路
本技术针对以上问题，提供了一种使用时不易变形坍塌、使用寿命长的石英炉管。本技术的技术方案是：包括炉管本体和设于炉管本体外部的保护装置，所述保护装置为陶瓷管，所述陶瓷管套设在所述炉管本体的外部，所述陶瓷管的内径大于所述炉管本体的外径。所述陶瓷管的内壁上设有内螺纹，所述炉管本体的外壁上设有与所述内螺纹适配的外螺纹。所述陶瓷管的外部设有驱动装置，所述驱动装置包括设于所述陶瓷管外部的推进部和设于所述推进部外侧的挤压部；所述挤压部与所述推进部接触的部分设有容置仓，所述推进部置于所述容置仓内，所述陶瓷管与所述推进部连接；所述陶瓷管包括互相分离的四个部件，四个所述部件与炉管本体接触的部分为曲面，所述曲面与炉管本体的外壁贴合。本技术利用陶瓷管套设在炉管本体的外部，且陶瓷管的内径大于所述炉管本体的外径。由于陶瓷管的膨胀系数远小于石英管的膨胀系数，当炉管本体受热变形时，在炉管本体外部的陶瓷管起到束缚作用，确保加热过程中石英管不会变形坍塌，延长石英管的使用寿命。陶瓷管的内壁上设有内螺纹，炉管本体的外壁上设有与所述内螺纹适配的外螺纹。利用螺纹的相互配合，可以使得陶瓷管与炉管本体结合更加紧密，防止加热过程中陶瓷管脱出或移动，更好的保护炉管本体，保证在加热过程中炉管本体不会变形坍塌，提升炉管本体的使用寿命。同时，利用螺纹还能起到定位作用，也就是说能够使得陶瓷管安装在炉管本体的固定位置上，能够减小陶瓷管的用量，降低石英炉管的制造成本。陶瓷管包括互相分离的四个部件，四个所述部件与炉管本体接触的部分为曲面，所述曲面与炉管本体的外壁贴合。安装时陶瓷管的内径变大，安装更加容易，便于安装，提高生产效率，降低生产成本。挤压部和推进部采用不用膨胀系数的金属做成，其中挤压部的膨胀系数远大于推进部的膨胀系数，在高温状态下，挤压部因高温变形，给推进部动力，推进部即带动陶瓷管向炉管本体运动，最终紧贴炉管本体，防止炉管本体因高温变形，延长炉管本体的寿命，降低晶圆加工成本。附图说明图1是本技术机构示意图，图2是图1的A-A剖视图，图3是图1的B向视图；图中1是炉管本体，2是保护装置，21是陶瓷管，31是推进部，32是挤压部。具体实施方式本技术如图1-3所示，包括炉管本体1和设于炉管本体外部的保护装置2，其特征在于，所述保护装置为陶瓷管21，所述陶瓷管套设在所述炉管本体的外部，所述陶瓷管的内径大于所述炉管本体的外径。由于陶瓷管的膨胀系数远小于石英管的膨胀系数，所以在加热过程中陶瓷管的形变量很小，陶瓷管的形状基本不会改变，因此当炉管本体受热变形时，在炉管本体外部的陶瓷管起到束缚作用，确保加热过程中石英管不会变形坍塌，延长石英管的使用寿命。所述陶瓷管21的内壁上设有内螺纹，所述炉管本体1的外壁上设有与所述内螺纹适配的外螺纹。在安装时利用螺纹的相互配合，可以使得陶瓷管与炉管本体结合更加紧密，防止加热过程中陶瓷管脱出或移动，更好的保护炉管本体，保证在加热过程中炉管本体不会变形坍塌，提升炉管本体的使用寿命。同时，利用螺纹还能起到定位作用，也就是说能够使得陶瓷管安装在炉管本体的固定位置上，能够减小陶瓷管的用量，降低石英炉管的制造成本。所述陶瓷管的外部设有驱动装置，所述驱动装置包括设于所述陶瓷管外部的推进部31和设于所述推进部外侧的挤压部32；所述挤压部与所述推进部接触的部分设有容置仓，所述推进部置于所述容置仓内，所述陶瓷管与所述推进部连接；所述陶瓷管包括互相分离的四个部件，四个所述部件与炉管本体接触的部分为曲面，所述曲面与炉管本体的外壁贴合。安装时，推进部部设于容置仓内，由于推进与陶瓷管连接，陶瓷管也随着推进部在设于容置仓内，这样，陶瓷管的内径变大，安装更加容易，便于安装，提高生产效率，降低生产成本。挤压部和推进部采用不用膨胀系数的金属做成，其中挤压部的膨胀系数远大于推进部的膨胀系数，在高温状态下，挤压部因高温变形，给推进部动力，推进部即带动陶瓷管向炉管本体运动，最终紧贴炉管本体，防止炉管本体因高温变形，延长炉管本体的寿命，降低晶圆加工成本。本文档来自技高网...

【技术保护点】
石英炉管，包括炉管本体和设于炉管本体外部的保护装置，其特征在于，所述保护装置为陶瓷管，所述陶瓷管套设在所述炉管本体的外部，所述陶瓷管的内径大于所述炉管本体的外径。

【技术特征摘要】
1.石英炉管，包括炉管本体和设于炉管本体外部的保护装置，其特征在于，所述保护装置为陶瓷管，所述陶瓷管套设在所述炉管本体的外部，所述陶瓷管的内径大于所述炉管本体的外径。2.根据权利要求1所述的石英炉管，其特征在于，所述陶瓷管的内壁上设有内螺纹，所述炉管本体的外壁上设有与所述内螺纹适配的外螺纹。3.根据权利要求1所述的石英炉...

【专利技术属性】
技术研发人员：游佩武，裘立强，王毅，
申请(专利权)人：扬州杰利半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32