The utility model provides a diffusion furnace, comprising a furnace body, the furnace body is provided with a silicon wafer used for loading the quartz boat, a spray pipe is arranged above the quartz boat, the spray pipe is arranged at the bottom of the spray hole at least three sets of parallel arranged side by side, the spray hole of the same group of the same shape and size the spray hole is located on the outside, including the first two groups located on the inside of the spray hole and at least one group of second spray holes, second spray hole area is smaller than the first spray hole area, the central position of second spray holes and the corresponding quartz boat. Since the second spray holes are arranged on the inner side of the spray pipe and are close to the middle part of the quartz boat, the POCl which is positioned in the middle part of the silicon wafer can be effectively improved
【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉
本技术涉及太阳能电池片的
,尤其涉及一种扩散炉。
技术介绍
太阳能电池是一种有效地吸收太阳辐射能,利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件,当太阳光照在半导体P‐N结上,形成新的空穴一电子对,在P‐N结电场的作用下,空穴由N区流向P区,电子由P区流向N区,接通电路后就形成电流。由于是利用各种势垒的光生伏特效应将太阳光能转换成电能的固体半导体器件,故又称太阳能电池或光伏电池,是太阳能电池阵电源系统的重要组件。太阳能电池主要有晶硅电池、三五族半导体电池、无机电池和有机电池等,其中晶硅太阳能电池居市场主流主导地位。太阳能电池的制造过程中,硅片的表面需要在扩散炉中进行扩散工艺处理,其主要其利用杂质原子向半导体芯片内部扩散的方法,改变半导体芯片表面层的导电类型,从而形成P‐N结,是形成P‐N结的主要工艺。现有扩散炉管如图1所示,其包括炉体1′,炉体1′内设置有用于转载硅片21′的石英舟22′,在石英舟22′的上方设置喷淋管3′,喷淋管3′的底部设置有喷淋孔31′,如图2所示(图2为喷淋管3′的仰视方向的局部结构示意图),喷淋孔31′一般分两排均布在喷淋管3′的底部,石英舟22′的下方设置有排气管4′,排气管4′的末端为排气口,喷淋孔31′喷淋的POCl3经过硅片21′时,部分位于硅片21′表面完成扩散,其余的POCl3通过排气管4′排出。现有的扩散炉进行喷淋扩散时,喷淋管3′的喷淋孔31′距离硅片21′距离偏大,排气管4′的排气口在炉口端或在炉底,由于硅片21′的阻挡作用,硅片21′的中部位置的气流阻力比边缘气流阻力大,使得硅片21′中心位置附近的P ...
【技术保护点】
一种扩散炉,其特征在于,包括炉体(1),所述炉体(1)内设置有用于装载硅片(21)的石英舟(22),所述石英舟(22)的正上方设置有喷淋管(3),所述喷淋管(3)的底部设置有相互平行的至少三组并排设置的喷淋孔(31),同一组的所述喷淋孔(31)的形状和大小相同,所述喷淋孔(31)包括位于外侧的两组第一喷淋孔(311)和位于内侧的至少一组第二喷淋孔(312),所述第二喷淋孔(312)的横截面积小于所述第一喷淋孔(311)的横截面积,所述第二喷淋孔(312)的位置与所述石英舟(22)的中部相对应。
【技术特征摘要】
1.一种扩散炉,其特征在于,包括炉体(1),所述炉体(1)内设置有用于装载硅片(21)的石英舟(22),所述石英舟(22)的正上方设置有喷淋管(3),所述喷淋管(3)的底部设置有相互平行的至少三组并排设置的喷淋孔(31),同一组的所述喷淋孔(31)的形状和大小相同,所述喷淋孔(31)包括位于外侧的两组第一喷淋孔(311)和位于内侧的至少一组第二喷淋孔(312),所述第二喷淋孔(312)的横截面积小于所述第一喷淋孔(311)的横截面积,所述第二喷淋孔(312)的位置与所述石英舟(22)的中部相对应。2.如权利要求1所述的扩散炉,其特征在于,所述第二喷淋孔(312)的位置与所述第一喷淋孔(311)的位置相互错位设置。3.如权利要求1所述的扩散炉,其特征在于,每组所述喷淋孔(31)均为圆孔,一组所述第一喷淋孔(311)的数量多于一组所述第二喷淋孔(312)的数量。4.如权利要求1-3任一项所述的扩散炉,其特征在于,所述第二喷淋孔(312)的横截面积为0.0314mm2-0.07065mm2,所述第一喷淋孔(311)的横截面积为0.07065...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹铭,衡阳,王鹏飞,张春华,徐义胜,郑旭然,邢国强,
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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