一种等离子材料改性设备的活动电极制造技术

技术编号:16847246 阅读:65 留言:0更新日期:2017-12-20 05:22
本实用新型专利技术公开了一种等离子材料改性设备的活动电极,包括双杆气缸,所述双杆气缸下端设置有绝缘座,所述绝缘座包括上绝缘座和下绝缘座,所述上绝缘座和所述下绝缘座之间设置有上电极片,所述下绝缘座内侧中部镶嵌有导电铜柱,所述导电铜柱上端设置有定位柱,所述导电铜柱下端设置有刷状电极。有益效果在于:该活动电极可以给两个交替工作的真空舱可靠地馈入高频、高压的放电电源,足以胜任所有的工频场合工作,极具推广应用价值。

Active electrode of a plasma material modified equipment

The utility model discloses a movable electrode of a plasma material equipment, including double rod cylinder, the double rod cylinder is arranged at the lower end of the insulating seat, the insulating seat comprises a seat and a seat on the insulation insulation, the insulation base and the lower insulating seat is arranged between the upper electrode plate, the the middle part of the inner side of the insulating seat inlaid with conductive pillars, the upper end of the conductive copper column is provided with a positioning column, the conductive copper column is arranged at the lower end of the brush electrode. The beneficial effect is that the movable electrode can reliably feed high frequency and high voltage discharge power to two alternating working vacuum cabin, which is sufficient for all power frequency occasions, and has great popularization and application value.

【技术实现步骤摘要】
一种等离子材料改性设备的活动电极
本技术涉及等离子材料改性设备的活动电极领域,特别是涉及一种等离子材料改性设备的活动电极。
技术介绍
活动电极是专指工作中需加入专用工作气体的等离子设备放电电源接入装置,如等离子清洗机、等离子材料表面改性设备等设备的放电电源接入装置。目前市场上能看到的上述设备基本都是单腔的(只有一个真空舱的),没有活动电极,其放电电源的接入就是在接入端子上把连接线锁紧即可,但是,这种单腔等离子设备放电电源的接入方法在双腔或多腔等离子设备放电电源的接入上无法使用,针对上述情况,可以设计一种等离子材料改性设备的活动电极来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种等离子材料改性设备的活动电极。本技术通过以下技术方案来实现上述目的:一种等离子材料改性设备的活动电极,包括双杆气缸,所述双杆气缸下端设置有绝缘座,所述绝缘座包括上绝缘座和下绝缘座,所述上绝缘座和所述下绝缘座之间设置有上电极片,所述下绝缘座内侧中部镶嵌有导电铜柱,所述导电铜柱上端设置有定位柱,所述导电铜柱下端设置有刷状电极。为了进一步提高等离子材料改性设备的活动电极的实用性,所述上绝缘座和所述本文档来自技高网...
一种等离子材料改性设备的活动电极

【技术保护点】
一种等离子材料改性设备的活动电极,其特征在于:包括双杆气缸,所述双杆气缸下端设置有绝缘座,所述绝缘座包括上绝缘座和下绝缘座,所述上绝缘座和所述下绝缘座之间设置有上电极片,所述下绝缘座内侧中部镶嵌有导电铜柱,所述导电铜柱上端设置有定位柱,所述导电铜柱下端设置有刷状电极。

【技术特征摘要】
1.一种等离子材料改性设备的活动电极,其特征在于:包括双杆气缸,所述双杆气缸下端设置有绝缘座,所述绝缘座包括上绝缘座和下绝缘座,所述上绝缘座和所述下绝缘座之间设置有上电极片,所述下绝缘座内侧中部镶嵌有导电铜柱,所述导电铜柱上端设置有定位柱,所述导电铜柱下端设置有刷状电极。2.根据权利要求1所述的一种等离子材料改性设备的活动电极,其特征在于:所述上绝缘座和所述下绝缘座通过螺栓紧固连接,其中,所述上绝缘座上端面开设有一用于安装所述双杆气缸活塞的凹部,所述凹部大小与所述双杆气缸活塞大小相等,所述双杆气缸通过所述凹部与所述上绝缘座固定连接。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:范勤荣张立清
申请(专利权)人:上海宜珂橡胶科技有限公司
类型:新型
国别省市:上海,31

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