一种大容量低温泵及其工作方法技术

本发明专利技术公开了一种大容量低温泵及其工作方法。低温泵安装于真空腔室中，其包括壳体、制冷机、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温板组件包括：一套靠近低温泵吸气口部的一级低温板组件，与二级冷却台热连接，吸附、冷凝来自于吸气口部的气体，且其上设有加热装置；以及至少两套远离低温泵吸气口部的二级低温板组件，与二级冷却台热连接，吸附、冷凝来自于一级低温板组件加热状态下散发的气体。该低温泵具有容量大、吸附效率高的特点。

A large capacity cryogenic pump and its working method

The invention discloses a large capacity low temperature pump and its working method. Low temperature pump installed in the vacuum chamber, which comprises a casing, refrigerating machine, radiation cold shield is positioned in the casing and by the radiation board assembly cold shield is surrounded by low temperature, the low temperature plate assembly includes: a cold plate assembly a low temperature near the pump suction mouth, and the two stage cooling heat connection the gas adsorption and condensation from the suction mouth, and is provided with a heating device; and two stage low temperature plate assembly at least two sets from low temperature pump suction mouth, connected with the two stage cooling heat, gas adsorption, condensation from a low temperature heating state board assembly under sporadic. The low temperature pump has the characteristics of large capacity and high adsorption efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种大容量低温泵及其工作方法
本专利技术属于低温制冷
，具体涉及一种具有较高吸附极限的低温泵及其工作方法。
技术介绍
低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。日常使用状态，低温泵安装于真空处理装置的真空腔室中。由于低温泵采用冷头吸附，工作一段时间后，冷头上的低温板被气体凝结的固体所覆盖，表面温度升高，对气体吸附作用减弱甚至停止，失去抽气作用，整个低温泵即达到了气吸附的极限。为了提高低温泵的吸附极限，中国专利技术专利申请CN106014917A公开了一种具有较高吸留极限的低温泵，其内部的放射屏蔽件与低温泵容器之间形成有屏蔽件外侧间隙，放射屏蔽件具有使屏蔽件外侧间隙与所述屏蔽件空腔连通的屏蔽件主狭缝。该低温泵内设有多个低温板，并对各低温板的位置和角度进行优化配置。该专利申请对低温泵入口处的气体进行了分流设计，使得各低温板的冷凝层成长速度相匹配，最终充分利用了低温泵的内部空间，提高了低温泵的吸附极限。实际本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大容量低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、制冷机、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述制冷机的具备第一冷却温度的一级冷却台一级比第一冷却温度更低的二级冷却台，所述壳体的开口划分了低温泵的吸气口，低温泵的主轴贯穿所述吸气口方向，其特征在于，所述低温板组件包括：一套靠近低温泵吸气口部的一级低温板组件，与二级冷却台热连接，吸附、冷凝来自于吸气口部的气体，且其上设有加热装置；以及至少两套远离低温泵吸气口部的二级低温板组件，与二级冷却台热连接，吸附、冷凝来自于一级低温板组件加热状态下散发的气体。

【技术特征摘要】
1.一种大容量低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、制冷机、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述制冷机的具备第一冷却温度的一级冷却台一级比第一冷却温度更低的二级冷却台，所述壳体的开口划分了低温泵的吸气口，低温泵的主轴贯穿所述吸气口方向，其特征在于，所述低温板组件包括：一套靠近低温泵吸气口部的一级低温板组件，与二级冷却台热连接，吸附、冷凝来自于吸气口部的气体，且其上设有加热装置；以及至少两套远离低温泵吸气口部的二级低温板组件，与二级冷却台热连接，吸附、冷凝来自于一级低温板组件加热状态下散发的气体。2.根据权利要求1所述的大容量低温泵，其特征在于，每套一级低温板组件和二级低温板组件均由多个串联、同轴、间距配置的伞状板部件组成，所述低温板组件大致呈倒置的“T”形，其上部为低温泵主轴同轴的一级低温板组件，左右部为轴线与低温泵主轴正交的一对二级低温板组件，所述二级冷却台与所述一级低温板组件和所述二级低温板组件的热连接部位于所述低温板组件的“T”形交叉部。3.根据权利要求1所述的大容量低温泵，其特征在于，每套一级低温板组件和二级低温板组件均由多个串联、同轴、间距配置的伞装板部件组成，所述低温板组件包括位于上部的、与低温泵主轴同轴的一级低温板组件，以及位于下部的、同一圆锥面内等角度间距配置的N个二级低温板组件，N为大于等于3的整数，所述圆锥面开口朝下，所述二级冷却台与所述一级低温板组件热连接部位于所述一级低温板组件的...

【专利技术属性】
技术研发人员：武义锋，邓家良，冯苌春，曾环，王少恒，张海峰，俞杰，孙志和，
申请(专利权)人：安徽万瑞冷电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34