低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法，其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明专利技术的低温泵控制部(100)具备再生控制部，该再生控制部根据再生顺序来控制低温泵(10)，再生顺序中包括排出处理，在排出处理中从低温泵(10)排出冷凝物，并且排出处理持续进行至满足基于低温泵(10)内的压力的排出结束条件。再生控制部具备：第1判定部，反复判定是否满足排出结束条件；第2判定部，判定排出结束条件的判定次数或排出处理的持续时间是否为第1阈值以上；及温度控制部，当排出结束条件的判定次数或排出处理的持续时间为第1阈值以上时，执行低温泵(10)的预冷。第1判定部在预冷中再次判定是否满足排出结束条件。

【技术实现步骤摘要】
本申请主张基于2015年3月4日申请的日本专利申请第2015-042523号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种低温泵系统、低温泵控制装置及低温泵再生方法。
技术介绍
低温泵是将气体分子通过冷凝或吸附捕捉到冷却至超低温的低温板上而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中所要求的清洁的真空环境。低温泵是所谓的气体捕集式真空泵，因此需要定期进行向外部排出已捕捉的气体的再生。专利文献1：日本特表2001-515176号公报
技术实现思路
本专利技术的一种实施方式的示例性的目的之一在于缩短低温泵的再生时间。根据本专利技术的一种实施方式，提供一种低温泵系统，其具备：低温泵；及再生控制部，根据再生顺序来控制所述低温泵，所述再生顺序中包括排出处理，在所述排出处理中从所述低温泵排出冷凝物，并且所述排出处理持续进行至满足基于所述低温泵内的压力的排出结束条件为止。所述再生控制部具备：第1判定部，反复判定是否满足所述排出结束条件；第2判定部，判定所述排出结束条件的判定次数或所述排出处理的持续时间是否为第1阈值以上；及温度控制部，当所述排出结束条件的判定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温泵系统，其特征在于，具备：低温泵；及再生控制部，根据再生顺序来控制所述低温泵，所述再生顺序中包括排出处理，在所述排出处理中从所述低温泵排出冷凝物，并且所述排出处理持续进行至满足基于所述低温泵内的压力的排出结束条件为止，所述再生控制部具备：第1判定部，反复判定是否满足所述排出结束条件；第2判定部，判定所述排出结束条件的判定次数或所述排出处理的持续时间是否为第1阈值以上；及温度控制部，当所述排出结束条件的判定次数或所述排出处理的持续时间为第1阈值以上时，执行所述低温泵的预冷，其中，所述第1判定部在所述预冷中再次判定是否满足所述排出结束条件。

【技术特征摘要】
2015.03.04 JP 2015-0425231.一种低温泵系统，其特征在于，具备：低温泵；及再生控制部，根据再生顺序来控制所述低温泵，所述再生顺序中包括排出处理，在所述排出处理中从所述低温泵排出冷凝物，并且所述排出处理持续进行至满足基于所述低温泵内的压力的排出结束条件为止，所述再生控制部具备：第1判定部，反复判定是否满足所述排出结束条件；第2判定部，判定所述排出结束条件的判定次数或所述排出处理的持续时间是否为第1阈值以上；及温度控制部，当所述排出结束条件的判定次数或所述排出处理的持续时间为第1阈值以上时，执行所述低温泵的预冷，其中，所述第1判定部在所述预冷中再次判定是否满足所述排出结束条件。2.根据权利要求1所述的低温泵系统，其特征在于，所述第2判定部在所述预冷中判定所述排出结束条件的判定次数或所述排出处理的持续时间是否为第2阈值以上，所述再生控制部具备泄漏检测部，该泄漏检测部在所述排出结束条件的判定次数或所述排出处理的持续时间为第2阈值以上时检测为所述低温泵泄漏。3.根据权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，所述再生顺序包括：升温处理，将所述低温泵从超低温度加热至第1冷凝物的融点或比该融点高的第1再生温度；及冷却处理，当满足所述排出结束条件时，将所述低温泵再次冷却至所述超低温度，当所述排出结束条件的判定次数或所述排出处理的持续时间为第1阈值以上时，所述温度控制部将所述低温泵预冷至比所述第1冷凝物的融点低且比所述超低温度高的第2再生温度。4.根据权利要求3所述的低温泵系统，其特征在于，所述第1阈值比在所述再生顺序中从所述低温泵去除所述第1冷凝物所需的所述排出结束条件的标准判定次数或所述排出处理的标准持续时间大。5.根据权利要求3或4所述的低温泵系统，其特征在于，所述第1冷凝物为水。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：及川健，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP