【技术实现步骤摘要】
本技术涉及泵
,具体涉及一种低温泵。
技术介绍
低温泵是将气体分子通过冷凝或吸附捕捉于冷却成超低温的低温板上而进行排气的真空泵,其广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等领域。低温泵的泵本体工作温度一般低于零下一百多摄氏度,根据低温泵的泵本体内工作环境,各部件需要在充分润滑的情况下才能正常工作,润滑不到位将会出现零件失效的情况,从而影响低温泵的正常工作,给维修带来很大的成本。相关技术中,低温泵自带一套润滑系统,所述润滑系统只能润滑其内部的部分部件,而大部分部件工作时处于无润滑状态,从而使所述低温泵的故障率高。因此,有必要提供一种新的低温泵解决上述问题。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供一种能实现对多个润滑点进行自润滑的低温泵。本技术提供一种低温泵,包括泵本体、自润滑系统和电机,所述自润滑系统设于所述泵本体内,所述泵本体包括具有收容空间的< ...
【技术保护点】
一种低温泵,包括泵本体、自润滑系统和电机,所述自润滑系统设于所述泵本体内,其特征在于,所述泵本体包括具有收容空间的壳体、收容于所述壳体内的主轴以及由所述泵本体的进口至所述电机方向依次设置的叶轮、后盖、第一轴承、内磁联轴器、增压叶轮、第二轴承和隔离套,所述自润滑系统包括相连通的主流道、轴承支路、主轴支路以及由所述主轴支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路,所述主流道由所述壳体的入口、所述壳体与所述叶轮形成的流道、所述后盖的润滑槽依次连通形成;所述轴承支路由所述润滑槽连通所述第一轴承形成;所述主轴支路由所述润滑槽、所述主轴上的油槽及所述增压叶轮依次连通形成;所述第一支路由所述增 ...
【技术特征摘要】
1.一种低温泵,包括泵本体、自润滑系统和电机,所述自润滑系统设于所述泵本体内,其特征在于,所述泵本体包括具有收容空间的壳体、收容于所述壳体内的主轴以及由所述泵本体的进口至所述电机方向依次设置的叶轮、后盖、第一轴承、内磁联轴器、增压叶轮、第二轴承和隔离套,所述自润滑系统包括相连通的主流道、轴承支路、主轴支路以及由所述主轴支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路,所述主流道由所述壳体的入口、所述壳体与所述叶轮形成的流道、所述后盖的润滑槽依次连通形成;所述轴承支路由所述润滑槽连通所述第一轴承形成;所述主轴支路由所...
【专利技术属性】
技术研发人员:苗伟,吴磊军,张盼利,
申请(专利权)人:湖南耐普泵业股份有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南;43
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