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本发明公开了一种大容量低温泵及其工作方法。低温泵安装于真空腔室中，其包括壳体、制冷机、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温板组件包括：一套靠近低温泵吸气口部的一级低温板组件，与二级冷却台热连接，吸附、冷凝来自于吸气口部...
该专利属于安徽万瑞冷电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽万瑞冷电科技有限公司授权不得商用。

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