低温泵制造技术

本发明专利技术提供一种低温泵，其课题在于提高低温泵的吸留极限。本发明专利技术的低温泵具备：制冷机，其具备第1冷却台、具有前端台面的第2冷却台及沿轴向从第1冷却台朝向第2冷却台延伸的制冷机结构部；放射屏蔽件，其与第1冷却台热连接，放射屏蔽件具备屏蔽件前端及屏蔽件底部，屏蔽件前端确定屏蔽件主开口，屏蔽件底部具有制冷机插穿孔，制冷机插穿孔以使前端台面朝向屏蔽件主开口的方式接受制冷机结构部；帽部件，其不与前端台面接触地包围前端台面，并且帽部件与第1冷却台热连接；及二级低温板，其在轴向上配设于帽部件与第1冷却台之间，并且所述二级低温板与第2冷却台热连接。

Cryogenic pump

The invention provides a low temperature pump, the object of which is to improve the retention limit of a cryogenic pump. Low temperature pump of the present invention includes: refrigerating machine, which includes a first cooling platform, with front desk and table second cooling towards the second cooling stage extending from the first stations along the axis of the refrigerator cooling structure; radiation shield, and the first cooling heat radiation shield is connected with the front shield and shield bottom the front shield shield, determine the main opening, the shield at the bottom of a refrigerator refrigerator plug inserted perforation, perforation to make the front end surface toward the shield main opening way to accept the refrigerator structure; the front end cap, and the contact table surrounded the front table, and the cap member and the first cooling heat connection and two; low temperature plate in the axial direction is arranged between the cap member and first cooling units, and the two stage low temperature plate and second cooling heat connection.

【技术实现步骤摘要】
低温泵本申请主张基于2016年3月29日于日本申请的日本专利申请第2016-066196号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种低温泵。
技术介绍
低温泵是通过冷凝或吸附将气体捕捉于冷却至超低温的低温板的真空泵。由此，低温泵对安装有该低温板的真空腔室进行排气。低温泵通常具备冷却至某一温度的第1低温板及冷却至比该某一温度更低的温度的第2低温板。第1低温板包括放射屏蔽件。随着低温泵的使用，气体的冷凝层在第2低温板上成长。冷凝层有可能会与放射屏蔽件或第1低温板的某一部分接触。如此一来，气体会在该接触部位再次气化，会导致低温泵内部的压力上升。之后，低温泵就无法充分发挥对真空腔室进行排气这一原来的作用。因此，在冷凝层与第1低温板接触时的气体吸留量就是低温泵的吸留极限。专利文献1：日本专利第4430042号公报
技术实现思路
本专利技术的一种实施方式的例示性目的之一在于提高低温泵的吸留极限。根据本专利技术的一种实施方式，低温泵具备：制冷机，其具备高温冷却台、具有轴向前端台面的低温冷却台及沿轴向从所述高温冷却台朝向所述低温冷却台延伸的制冷机结构部；放射屏蔽件，其与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，其具备高温冷却台、具有轴向前端台面的低温冷却台及沿轴向从所述高温冷却台朝向所述低温冷却台延伸的制冷机结构部；放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，所述放射屏蔽件具备屏蔽件前端及屏蔽件底部，所述屏蔽件前端确定屏蔽件主开口，所述屏蔽件底部具有制冷机插穿孔，所述制冷机插穿孔以使所述轴向前端台面朝向所述屏蔽件主开口的方式接受所述制冷机结构部；非接触帽部件，其不与所述轴向前端台面接触地包围所述轴向前端台面，并且所述非接触帽部件与所述高温冷却台热连接；及低温低温板部，其在轴向上配设于所述帽部件与所述高温冷却台之间，并且所述低温低温板部与所述低温冷却台热连接。

【技术特征摘要】
2016.03.29 JP 2016-0661961.一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，其具备高温冷却台、具有轴向前端台面的低温冷却台及沿轴向从所述高温冷却台朝向所述低温冷却台延伸的制冷机结构部；放射屏蔽件，其与所述高温冷却台热连接，所述放射屏蔽件具备屏蔽件前端及屏蔽件底部，所述屏蔽件前端确定屏蔽件主开口，所述屏蔽件底部具有制冷机插穿孔，所述制冷机插穿孔以使所述轴向前端台面朝向所述屏蔽件主开口的方式接受所述制冷机结构部；非接触帽部件，其不与所述轴向前端台面接触地包围所述轴向前端台面，并且所述非接触帽部件与所述高温冷却台热连接；及低温低温板部，其在轴向上配设于所述帽部件与所述高温冷却台之间，并且所述低温低温板部与所述低温冷却台热连接。2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述低温低温板部具备顶部低温板，所述顶部低温板配设成在轴向上非常靠近所述帽部件。3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，所述轴向前端台面位于从所述屏蔽件前端到所述屏蔽件底部为止的屏蔽件深度的上半部分，所述低温低温板部的顶部低温板位于所述屏蔽件深度的下半部分。4.根据权利要求1至3中任一项所述的低温泵，其特征在于，所述帽部件具备位于所述轴向前端台面的轴向上的上方的帽上端及位于所述轴向前端台面的轴向上的下方的帽下端，并且，从所述帽上端到所述帽下端为止的帽轴长比从所述帽上端到所述轴向前端台面为止的轴向距离长。5.根据权利要求4所述的低温泵，其特征在于，从所述帽上端到所述轴向前端台面为止的轴向距离小...

【专利技术属性】
技术研发人员：及川健，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP