低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法。本发明专利技术的课题在于缩短低温泵的冷却时间。低温泵(10)具备：一级目标温度选择部(112)，其具备使一级低温板的温度及二级低温板的温度保持在超低温区域的通常模式用的通常目标温度和使一级低温板及二级低温板从室温冷却至超低温区域的降温模式用的降温目标温度，并且降温目标温度低于通常目标温度，一级目标温度选择部(112)在当前运行模式为通常模式时选择通常目标温度作为一级目标温度，在当前运行模式为降温模式时选择所述降温目标温度并将其至少暂时作为一级目标温度；及一级温度控制部(114)，其根据所选择的一级目标温度来控制一级低温板温度。

【技术实现步骤摘要】
低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法本申请主张基于2016年3月22日申请的日本专利申请第2016-057050号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种低温泵、低温泵控制装置及低温泵控制方法。
技术介绍
在现场安装了新的低温泵时，低温泵从室温冷却至超低温，并开始真空排气运行。并且，众所周知，由于低温泵是气体捕集式真空泵，因此为了向外部排出蓄积的气体，需要以一定频率进行再生。再生处理通常包括升温工序、排出工序以及冷却工序。若冷却工序结束，则重新开始低温泵的真空排气运行。作为这种真空排气运行的准备工序的低温泵的冷却有时还被称作降温工序。专利文献1：日本特开2013-170568号公报低温泵是超低温制冷机的主要用途之一，其与其它用途的不同点在于：在制冷机的高温级与低温级需要具有较大的温度差。但是，使低温泵冷却时不容易在短时间内形成这种温度差。例如，若高温级到达目标冷却温度时低温级尚未到达目标温度，则必须在使高温级保持目标温度的同时继续冷却低温级。这种降温工序末期中的温度调整需要一定程度的时间。尤其，在高温级与低温级之间需要存在较大的温度差时，温度调整本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温泵，其特征在于，具备：一级低温板；二级低温板；一级目标温度选择部，其具备使所述一级低温板的温度及所述二级低温板的温度保持在超低温区域的通常模式用的通常目标温度和使所述一级低温板及所述二级低温板从室温冷却至所述超低温区域的降温模式用的降温目标温度，并且所述降温目标温度低于所述通常目标温度，所述一级目标温度选择部在当前运行模式为所述通常模式时选择所述通常目标温度作为一级目标温度，在当前运行模式为所述降温模式时选择所述降温目标温度并将其至少暂时作为一级目标温度；及一级温度控制部，其根据所选择的一级目标温度来控制一级低温板温度。

【技术特征摘要】
2016.03.22 JP 2016-0570501.一种低温泵，其特征在于，具备：一级低温板；二级低温板；一级目标温度选择部，其具备使所述一级低温板的温度及所述二级低温板的温度保持在超低温区域的通常模式用的通常目标温度和使所述一级低温板及所述二级低温板从室温冷却至所述超低温区域的降温模式用的降温目标温度，并且所述降温目标温度低于所述通常目标温度，所述一级目标温度选择部在当前运行模式为所述通常模式时选择所述通常目标温度作为一级目标温度，在当前运行模式为所述降温模式时选择所述降温目标温度并将其至少暂时作为一级目标温度；及一级温度控制部，其根据所选择的一级目标温度来控制一级低温板温度。2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述通常目标温度为选自80K至130K的范围的规定温度，所述降温目标温度是选自60K至所述规定温度的范围的温度。3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，所述低温泵还具备阶段确定部，所述阶段确定部根据低温泵的现状确定所述降温模式中的当前阶段，所述一级目标温度选择部具备第1阶段用的第1目标温度和所述第1阶段之后的第2阶段用的第2目标温度，所述第1目标温度低于所述通常目标温度，所述第2目标温度高于所述第1目标温度且低于所述通常目标温度，所述一级目标温度选择部根据所述当前阶段选择一级目标温度。4.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，所述阶段确定部监控所述降温模式开始...

【专利技术属性】
技术研发人员：髙桥走，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP