光检测器测量设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种光检测器测量设备，包括探针卡基板，设置在所述探针卡基板上的光源，设置在所述探针卡基板上的探针以及传感器，其特征在于，所述光源为数字化平面光源。本实用新型专利技术的光检测器测量设备可以改进晶圆级光检测器的测量效果。

【技术实现步骤摘要】
光检测器测量设备
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种用于测量光检测器的设备。
技术介绍
晶圆级光检测器(lightdetectorwaferlevel)在专业和消费级电子设备中具有广泛的应用。在晶圆级光检测器的生产过程中需要进行功能测试，其中的重要一项是对光照度敏感度的测试。由于晶圆测试时针压(overdrive)是微米级的变化，因而对光照度标定的精确度要求极高，现有的方案多是以采用感光二极管为核心的设备，其原理是通过模数转换器将二极管上电流的变化转化为电压然后再以编码的形式输出，根据其标定值最终转化为光照度输出。这种方案下光照度标定时的误差与理想的要求具有一定的差距。而且，现有的方案多采用旋钮调节式光纤传导点光源，其光源光照度起始数值较高，不能测试光检测器在低照度下的光感特性。此外由于光纤和探针卡还存在着结构上不兼容的问题。因此，需要一种更先进的测量设备来解决上述问题，改进晶圆级光检测器的测量效果。
技术实现思路
为了解决上述现有技术中存在的问题，本技术提出了一种光检测器测量设备，包括：探针卡基板，设置在所述探针卡基板上的光源，设置在所述探针卡基板上的探针以及传感器，其特征在于，所述光源为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光检测器测量设备，包括：探针卡基板，设置在所述探针卡基板上的光源，设置在所述探针卡基板上的探针以及传感器，其特征在于，所述光源为数字化平面光源。

【技术特征摘要】
1.一种光检测器测量设备，包括：探针卡基板，设置在所述探针卡基板上的光源，设置在所述探针卡基板上的探针以及传感器，其特征在于，所述光源为数字化平面光源。2.如权利要求1所述的光检测器测量设备，其特征在于，还包括数字平面光源控制器，其与所述数字化平面光源相连。3.如权利要求2所述的光检测器测量设备，其特征在于，所述传感器为CMOS图像传感器。4.如权利要求3所述的光检测器测量设备，其特征在于，还包括自动测试设备服务器，其与所述数字平面光源控制器以及所述探针相连。5.如权利要求4所述的光检测器测量设备，其特征在于，所述自动测试设备服务器先通过CMOS图像传感器信息传输电缆连接到所述探针卡基板上的接口，再通过CMOS图像传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘朋，刘琦，陈致远，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11