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本实用新型提供了一种光检测器测量设备，包括探针卡基板，设置在所述探针卡基板上的光源，设置在所述探针卡基板上的探针以及传感器，其特征在于，所述光源为数字化平面光源。本实用新型的光检测器测量设备可以改进晶圆级光检测器的测量效果。...该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。