基于磨粒动态冲击效应的微流体通道加工装置制造方法及图纸
Microfluidic channel processing device based on dynamic impact of abrasive particles
A microfluidic channel abrasive processing device based on dynamic impact effect, including gas booster pump, a pressure regulating valve, pressure vessel, air bag, nozzle and ultrasonic vibration accumulator, the gas booster pump and a water flow inlet, the gas drive pressure pump outlet inlet through the pressure regulating valve and the the pressure vessel is connected, and the air bag is used for balloon placed abrasive slurry mixed by setting the ratio of good, the air outlet and the pressure vessel of the discharge tube is connected with the other end of the discharging tube is provided with the nozzle, the nozzle is located in processing station table above the table at the end of ultrasonic vibration of accumulator. The utility model provides a micro - fluid channel processing device based on the dynamic impact effect of abrasive particles, which effectively improves the processing efficiency.
【技术实现步骤摘要】
基于磨粒动态冲击效应的微流体通道加工装置
本技术属于特种加工技术装置，涉及一种微流体通道加工装置。
技术介绍
以微通道网络为结构特征的微流体技术是使用微流控芯片来控制和利用流体，实现在微米尺度上与微电子、光学、能源、生物医学等领域相结合的一种新兴技术，而微流控芯片中高宽深比微通道的加工质量将影响微流体流动过程中粘度、雷诺数等流体性质，进而影响微流控芯片在应用中的性能和稳定性。微流控芯片目前已经实现了商业化的生产，但其技术水平远不及“摩尔定律”所预测的半导体发展的速度，其中阻碍微流体技术发展的主要瓶颈是制造加工和应用的问题。常用的微流控芯片以硅、石英、玻璃和陶瓷等硬脆材料为主，它们具有硬度高、脆性大、对加工热影响敏感等特性，这对其微细加工提出了更高的要求。随着磨粒直径、射流压力和射流束直径的减小，传统的微流体加工方法射流动能向磨粒动能转化的效率迅速降低，致使微细磨料水射流的加工能力受到很大的减弱，同时低压射流在工件表面形成的射流滞止区对磨粒运动的影响也很明显。
技术实现思路
为了克服已有微流体通道加工方式的加工效率较低的不足,本技术提供了一种有效提升加工效率的基于磨粒动...
【技术保护点】
一种基于磨粒动态冲击效应的微流体通道加工装置，其特征在于：所述加工装置包括气驱增压泵、调压阀、压力容器、气囊、喷嘴和超声振动蓄能器，所述气驱增压泵设有水流进口，所述气驱增压泵的出口通过调压阀与所述压力容器的进口连接，所述气囊为用于放置按设定比例混合好的磨料浆体的气囊，所述气囊的出料口与所述压力容器的出料管一端相接，所述出料管的另一端设置所述喷嘴，所述喷嘴位于工作台的加工工位上方，所述工作台位于所述超声振动蓄能器的动端。
【技术特征摘要】
1.一种基于磨粒动态冲击效应的微流体通道加工装置，其特征在于：所述加工装置包括气驱增压泵、调压阀、压力容器、气囊、喷嘴和超声振动蓄能器，所述气驱增压泵设有水流进口，所述气驱增压泵的出口通过调压阀与所述压力容器的进口连接，所述气囊为用于放置按设定比例混合好的磨料浆体的气囊，所述气囊的出料...
【专利技术属性】
技术研发人员：齐欢，程金强，王扬渝，倪鹏程，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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