一种盖板和蒸发装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蒸发装置技术领域，公开一种盖板和蒸发装置，其中，盖板包括顶壁和与顶壁连接、且沿顶壁边沿设置的侧壁，该顶壁和侧壁围成一收容空间，且顶壁朝向收容空间内的一侧表面为圆锥面。上述盖板的顶板和侧壁围成一收容空间，进而，当将该盖板罩设于点蒸发源的开口上时，可以有效阻挡点蒸发源内的蒸镀材料扩散出去；并且，由于上述收容空间的顶面具有尖端，从而，附着在收容空间内壁上的蒸镀材料会向该尖端聚积然后重新掉入到点蒸发源内，因此，该盖板可以有效避免附着在其内壁上的蒸镀材料滴落至真空腔室内。综上所述，上述盖板可以避免在非蒸镀时点蒸发源内的蒸镀材料进入真空腔室内，从而可以避免蒸镀材料的浪费和真空腔室的污染。

A cover plate and evaporator

The utility model relates to the field of evaporation device technology, and discloses a cover plate evaporation device, the cover includes a top wall and the top wall, and connected along the top side wall is arranged on the edge, the top wall and side walls form an accommodating space, and the top wall toward the side surface of the containing space for conical surface. The roof and the side wall of the cover board form a containing space, and then, when the cover plate is covered on the opening point on the evaporation source, can effectively block the evaporation source in point evaporation materials spread out; and, as the top surface of the holding space has a tip, thereby, attached on the inner wall of the containing space evaporation materials to the tip and then fall back into the point of accumulation of evaporation source, therefore, the cover plate can effectively avoid the attached on the inner wall of the evaporation material drops into the vacuum chamber. In conclusion, the above cover plate can avoid evaporation material into the vacuum chamber at the point of non evaporation, so that the waste of evaporation material and the pollution of vacuum chamber can be avoided.

【技术实现步骤摘要】
一种盖板和蒸发装置
本技术涉及蒸镀装置
，特别涉及一种盖板和蒸发装置。
技术介绍
在有机电致发光显示器(OELD)的制备过程中，需要在高真空腔室中采用蒸发源蒸镀多层有机材料薄膜，这些膜层的质量和膜层材料的纯度是影响OELD器件的质量、性能和寿命的关键因素。点蒸发源为OLED制备过程中常用的一种蒸发源；现有的OLED点蒸发源一般需要配备与其相匹配的盖板、以用于在其非蒸镀的时候阻挡蒸镀材料扩散；现有的盖板一般包括片状盖板和盖状盖板两种。如图1所示，对于片状盖板10，由于其无法对点蒸发源20中扩散出来的蒸镀材料形成全面有效的阻挡，因此，蒸镀材料很容易从旁侧扩散至腔室其它空间，从而造成蒸镀材料的浪费以及腔室环境的污染；如图2所示，对于盖状盖板100，虽然它能够较好地阻挡点蒸发源200中蒸镀材料的扩散，但是，在长时间蒸发过程中，蒸镀材料会大量附着在盖板100上，而在盖板100进行开合动作时，由于盖板100的晃动，盖板100上附着的蒸镀材料很容易掉入腔室其它位置，从而造成腔室内环境的污染以及蒸镀材料的浪费。
技术实现思路
本技术公开了一种盖板和蒸发装置，用于避免在非蒸镀时点蒸发源内的蒸镀材料进入真本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种盖板，其特征在于，包括顶壁和与所述顶壁连接、且沿所述顶壁边沿设置的侧壁，所述顶壁和所述侧壁围成一收容空间，且所述顶壁朝向所述收容空间内的一侧表面为圆锥面。

【技术特征摘要】
1.一种盖板，其特征在于，包括顶壁和与所述顶壁连接、且沿所述顶壁边沿设置的侧壁，所述顶壁和所述侧壁围成一收容空间，且所述顶壁朝向所述收容空间内的一侧表面为圆锥面。2.根据权利要求1所述的盖板，其特征在于，所述侧壁围成圆柱状，所述侧壁的径向尺寸大于与该盖板匹配的点蒸发源的开口的径向尺寸。3.根据权利要求2所述的盖板，其特征在于，还包括与所述侧壁连接、用于形成所述收容空间入口的环形开口部；所述开口部的径向尺寸大于所述点蒸发源的开口的径向尺寸、且小于所述侧壁的径向尺寸。4.根据权利要求3所述的盖板，其特征在于，还包括位于所述开口部和所述侧壁之间的连接部。5.根据权利要求4所述的盖板，其特征在于，所述连接部与所述侧壁垂直。6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹鹏，鲍建东，晏荣建，杨一帆，朴春键，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11