一种真空涂覆设备蒸气分流板制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空涂覆设备蒸气分流板，装在圆筒形沉积室的真空涂覆设备上，其特征在于该分流板包括入口分流板和出口分流板，分别设置于沉积室蒸汽入口位置和蒸汽出口位置，分流板呈与沉积室壁匹配的弧形；分流板中央厚度小于边缘厚度，分流板内设置分流孔，分流孔以同心圆的方式排列并数量逐渐向外递增，即离分流板中心越远，分流孔越多越密集；分流板通过环绕整块分流板的密封圈与沉积室壁紧密贴合在一块，密封圈外还设置若干螺孔，将分流板与沉积室壁紧固固定。分流板能极大的改善蒸汽在沉积室分布的均匀性，以及能有效的使蒸汽在沉积室有足够的停留时间。

【技术实现步骤摘要】
一种真空涂覆设备蒸气分流板
本技术涉及真空镀膜
，更具体地，涉及一种真空涂覆设备蒸气分流板。
技术介绍
真空涂覆设备是一种应用较为广泛的工业设备，适用于微电子、半导体、混合电路、印刷电路板、传感器、医疗器材、古籍图书、档案材料、文物及珍贵标本的密封涂覆等。然而涂覆质量的好坏很大程度上依赖于真空涂覆设备沉积室的蒸气分流板，它对进入沉积室的蒸汽起到分流扩散作用。如果蒸汽不是均匀的充满整个腔体，就会造成沉积室里不同高度位置的产品表面沉积的膜厚度不一样，从而影响产品的整体质量。
技术实现思路
本技术提的目的在于提供一种沉积室为圆筒形的真空涂覆设备蒸气分流板，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术的一种真空涂覆设备蒸气分流板，安装在圆筒形沉积室的真空涂覆设备上，其特征在于该分流板包括入口分流板和出口分流板，分别设置于沉积室蒸汽入口位置和蒸汽出口位置，分流板呈与沉积室壁匹配的弧形；分流板中央厚度小于边缘厚度，分流板内设置分流孔，分流孔以同心圆的方式排列并数量逐渐向外递增，即离分流板中心越远，分流孔越多越密集；分流板通过环绕整块分流板的密封圈与沉积室壁紧密贴合在一块，密封圈外还设置若干螺孔，将分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空涂覆设备蒸气分流板，安装在圆筒形沉积室（3）的真空涂覆设备上，其特征在于该分流板包括入口分流板（2）和出口分流板（4），分别设置于沉积室（3）蒸汽入口（1）位置和蒸汽出口（5）位置，分流板呈与沉积室（3）壁匹配的弧形；分流板中央厚度小于边缘厚度，分流板内设置分流孔（8），分流孔（8）以同心圆的方式排列并数量逐渐向外递增，即离分流板中心越远，分流孔（8）越多越密集；分流板通过环绕整块分流板的密封圈（7）与沉积室（3）壁紧密贴合在一块，密封圈（7）外还设置若干螺孔（6），将分流板与沉积室（3）壁紧固固定。

【技术特征摘要】
1.一种真空涂覆设备蒸气分流板，安装在圆筒形沉积室（3）的真空涂覆设备上，其特征在于该分流板包括入口分流板（2）和出口分流板（4），分别设置于沉积室（3）蒸汽入口（1）位置和蒸汽出口（5）位置，分流板呈与沉积室（3）壁匹配的弧形；分流板中央厚度小于边缘厚度，分流板内设置分流孔（8），分流孔（8）以同心圆的方式排列并数量逐渐向外递增，即离分流板中心越远，分流孔（8）越多越密集；分流板通过环绕整块...

【专利技术属性】
技术研发人员：周允红，金景一，李牧词，孙琪艳，白月东，
申请(专利权)人：云南北方奥雷德光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：云南,53