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本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空涂覆设备蒸气分流板，装在圆筒形沉积室的真空涂覆设备上，其特征在于该分流板包括入口分流板和出口分流板，分别设置于沉积室蒸汽入口位置和蒸汽出口位置，分流板呈与沉积室壁匹配的弧形；分流板中央厚度小于边...
该专利属于云南北方奥雷德光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南北方奥雷德光电科技股份有限公司授权不得商用。

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