光罩组件以及曝光装置制造方法及图纸
Mask assembly and exposure device
The utility model relates to the technical field of display, discloses a mask assembly and exposure device, the mask assembly (3) includes a transparent area (300) and (301) the light shading area (30) and at least cover the transmission region (300) of the first polarizing layer (31), the mask the component (3) also includes a mask with the (30) arranged oppositely and around perpendicular to the axis of rotation of the mask (30) polarizing substrate (32). The mask component can adjust the transmittance of light through the light permeable area of the mask arbitrarily. The light shield assembly (3) is set in the exposure device, which improves the preparation process, for example, improving the efficiency of different inter pillar layers in color filter.
【技术实现步骤摘要】
光罩组件以及曝光装置
本技术涉及显示
，具体地，涉及一种光罩组件以及曝光装置。
技术介绍
近年来，半色调掩膜版(HalfToneMask)在薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay，简称TFT-LCD)技术中得到了越来越广泛的应用，例如，半色调掩膜版在彩色滤光片的基板制作中就备受青睐。半色调掩膜版包括透明衬底、形成在透明衬底上能够完全透光的光透射部分、能够完全阻挡光的光阻挡部分以及具有能够部分透光的半色调层的半透过部分。图1为现有技术所提供的LCD的剖面结构示意图。LCD包括具有彩色滤色膜110的基板11(即彩色滤光片)、阵列基板10以及夹置在具有彩色滤色膜110的基板11和阵列基板10之间的液晶层12，其中彩色滤色膜110与液晶层12相对。彩色滤光片是用于TFT-LCD中以呈现色彩的基本结构。TFT-LCD中的背光模块发出光源，透过偏光片，液晶，彩膜滤光片而呈现多彩的表示形式。图2示出了现有技术中用于液晶显示器的彩色滤光片2，彩色滤光片2包括玻璃基板20、黑色矩阵21、彩色层22即彩色滤色膜、IT...
【技术保护点】
一种光罩组件，其特征在于，所述光罩组件(3)包括具有透光区域(300)和遮光区域(301)的光罩(30)以及至少覆盖所述透光区域(300)的第一偏光层(31)，所述光罩组件(3)还包括与所述光罩(30)相对设置且能够围绕垂直于所述光罩(30)的轴线旋转的偏光基板(32)。
【技术特征摘要】
1.一种光罩组件，其特征在于，所述光罩组件(3)包括具有透光区域(300)和遮光区域(301)的光罩(30)以及至少覆盖所述透光区域(300)的第一偏光层(31)，所述光罩组件(3)还包括与所述光罩(30)相对设置且能够围绕垂直于所述光罩(30)的轴线旋转的偏光基板(32)。2.根据权利要求1所述的光罩组件，其特征在于，所述偏光基板(32)包括透光基材(320)和覆盖在所述透光基材(320)上的第二偏光层(321)。3.根据权利要求2所述的光罩组件，其特征在于，所述第二偏光层(321)位于所述透光基材(320)的邻近所述光罩(30)的一侧。4.根据权利要求2所述的光罩组件，其特征在于，所述第二偏光层(321)的厚度为50-500μm。5.根据权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡财福，
申请(专利权)人：东旭昆山显示材料有限公司，东旭集团有限公司，东旭科技集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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