一种显示面板、其制作方法及显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种显示面板、其制作方法及显示装置，该制作方法，包括：在衬底基板上形成第一金属层的图形，以及位于第一金属层背离衬底基板一侧的金属氧化物导电层的图形，且金属氧化物导电层通过至少一个通孔与第一金属层电性连接；其中，在形成金属氧化物导电层的图形之前，在第一金属层远离衬底基板一侧的表面形成一层还原金属层；在形成金属氧化物导电层的图形之后，对还原金属层和金属氧化物导电层进行处理，以使还原金属层氧化为第二金属层，以及金属氧化物导电层靠近衬底基板一侧的表面还原出金属颗粒。本发明专利技术实施例提供的制作方法，可以避免第一金属层与金属氧化物导电层接触而发生氧化，并减小接触电阻，提高显示效果。

Display panel, manufacturing method and display device thereof

The invention discloses a display panel and its manufacturing method and display device, the production method includes: forming a first metal layer, the graphics on a substrate, and graphics in the first metal layer from a substrate side of the conductive metal oxide layer, and a conductive metal oxide layer by at least one through electrical connection the hole and the first metal layer; wherein, before the formation of conductive metal oxide layer pattern, on the surface of the first metal layer from the substrate side of the substrate to form a layer of metal reduction layer; in the formation of conductive metal oxide layer pattern after the treatment of reduction of metal layer and the conductive metal oxide layer, so that the reduction of metal oxide for the second metal layer, and the surface of the metal oxide conductive layer near the substrate side of the reduction of metal particles. The manufacturing method provided by the invention can avoid the oxidation between the first metal layer and the metal oxide conducting layer, reduce the contact resistance, and improve the display effect.

【技术实现步骤摘要】
一种显示面板、其制作方法及显示装置
本专利技术涉及显示
，尤指一种显示面板、其制作方法及显示装置。
技术介绍
液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等优点，得到了广泛的应用。现有液晶显示装置包括液晶显示面板及背光模组(BacklightModule，BM)，通常液晶显示面板包括彩膜(ColorFilter，CF)基板、阵列(ThinFilmTransistor，TFT)基板、及设置于彩膜基板与阵列基板之间的液晶(LiquidCrystal)层。通过给阵列基板供电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线投射到彩膜基板产生需要显示的画面。阵列基板的性能特征和运行特性部分很大程度上取决于形成阵列基板各元件的材料，阵列基板中的金属导线是将溅射在阵列基板上的金属层通过蚀刻工艺制成，常规应用于阵列基板中的金属导线为铝导线。随着电视等液晶显示终端的大尺寸化、高解析度以及驱动频率高速化的发展趋势及要求，液晶显示领域技术人员不得不面对阵列基板中电阻及所造成的电阻/电容延迟问题。而铝导线具有较高的电阻率(约4μΩ·cm)使得阵列基板的像素电极不能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成第一金属层的图形，以及位于所述第一金属层背离所述衬底基板一侧的金属氧化物导电层的图形，且所述金属氧化物导电层通过至少一个通孔与所述第一金属层电性连接；其中，在形成所述金属氧化物导电层的图形之前，在所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的表面形成一层还原金属层；在形成所述金属氧化物导电层的图形之后，对所述还原金属层和所述金属氧化物导电层进行处理，以使所述还原金属层氧化为第二金属层，以及所述金属氧化物导电层靠近所述衬底基板一侧的表面还原出金属颗粒。

【技术特征摘要】
1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成第一金属层的图形，以及位于所述第一金属层背离所述衬底基板一侧的金属氧化物导电层的图形，且所述金属氧化物导电层通过至少一个通孔与所述第一金属层电性连接；其中，在形成所述金属氧化物导电层的图形之前，在所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的表面形成一层还原金属层；在形成所述金属氧化物导电层的图形之后，对所述还原金属层和所述金属氧化物导电层进行处理，以使所述还原金属层氧化为第二金属层，以及所述金属氧化物导电层靠近所述衬底基板一侧的表面还原出金属颗粒。2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的表面形成一层还原金属层，包括：将还原剂与所述还原金属层对应的化合物水溶液在设定条件下反应，将得到的溶液涂覆到所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的表面，以形成所述还原金属层。3.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述还原金属层的材料为金属氢化物；所述将还原剂与所述还原金属层对应的化合物水溶液在设定条件下反应，包括：将还原剂与所述金属氢化物对应的化合物水溶液混合，在酸性环境以及温度为40℃～50℃的条件下反应。4.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一金属层与所述第二金属层采用的金属材料相同；所述在所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的表面形成一层还原金属层，包括：采用还原性气体，对所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的表面进行等离子体处理。5.如权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述采用还原性气体，对所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的表面进行等离子...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐德智，宫奎，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11