一种紧凑的高真空阀门制造技术

本实用新型专利技术公开了一种紧凑的高真空阀门，包括阀座、阀盖和阀盖控制系统，阀座具有水平开口和前竖开口，阀盖控制系统控制阀盖盖合在阀座的水平开口上或离开，实现高真空阀门的关闭与开启，阀盖控制系统包括气缸；其特征在于，气缸前端铰接在阀座的上壁，后端的活塞杆伸向阀座的后侧，阀盖控制系统还包括旋转连杆一、传动转轴、旋转连杆二，传动转轴横向转动安装在阀座的后侧阀壁上，旋转连杆一下端垂直固定在传动转轴上，上端与气缸后端的活塞杆铰接，旋转连杆二前端与阀盖顶部连接，后端伸向阀座的后侧，同样垂直固定在传动转轴上。本实用新型专利技术能大大降低大型高真空阀门的设计高度，从而解决竖式高真空阀门占有空间过高的问题。

A compact high vacuum valve

The utility model discloses a compact high vacuum valve, comprising a valve seat, a valve cap and a valve cover control system, valve seat is provided with a horizontal opening and the front vertical opening, the valve cover control system control valve cover in the left seat horizontal opening or high vacuum valve opening and closing the valve cover control system including the cylinder; which is characterized in that the front end of the cylinder is hinged on the upper wall of the rear seat, rear end of the piston rod toward the valve seat, the valve cover control system also comprises a rotary connecting rod, a transmission shaft, the rotary connecting rod two, transmission shaft installed in the rear wall of the horizontal rotation valve seat, a rotating rod is fixed on the lower end of the vertical drive shaft on the upper end of the cylinder piston rod is hinged at the rear end of the rotating rod two and the front end of the top of the valve cover is connected, the rear end toward the valve seat, the same vertical fixed on the transmission shaft. The design height of the utility model can greatly reduce the large high vacuum valve, high vacuum valve shaft so as to solve the problem of high occupancy space.

【技术实现步骤摘要】
一种紧凑的高真空阀门
本技术涉及一种高真空阀门，特别涉及大型真空镀膜机扩散泵机组配套的高真空阀门。
技术介绍
大型真空镀膜机配用大型真空机组，许多大型真空镀膜机、特别是塑胶制品和金属制品的真空蒸发镀膜机，多采用大型扩散泵真空机组。一直以来，扩散泵顶上都配有冷阱，其上再配高真空阀门，呈立式组合，往往阀顶成了设备最高点。标准气动式高真空阀产品有竖型和扁型两种，以800扩散泵为例，扩散泵高1807mm，冷阱高150mm，竖型阀高1790mm，合计3747mm，加维修空间500mm，标高要留足4247mm；若换扁型阀高1180mm，合计总高3137mm，加上维修空间500mm，标高也要3637mm。这样的标准配置的镀膜机对厂房标高要求较高，即使安装在一层的设备有时要挖地坑才能满足标高要求，而一些镀膜厂会设在楼上若干层，高层楼层的标高更矮些，往往限制了设备的进入，不能采用大机型，有的至少要拆墙拆门窗，很不方便。其实镀膜机的主机(镀室)顶并不是设备最高点，而是扩散泵上面的高真空阀顶超过了主机体高度。而目前标配的真空机组由于可选择的高真空阀门的高度都较高，高真空阀门占了扩散泵机组高度的二分之一至三分之一，这成了设备减高重要环节，但至今没有新的产品可选择。当然也可选高真空闸板阀，但其制造精度高，工艺复杂，一般制造厂造不出来，且价格昂贵，一般要求的镀膜机配不起。现有标配气动式高真空阀产品的结构，由于阀盖相对阀座开闭均采用竖直上下运动方式，故大型阀门的高度很难减高，要减高必须从结构方式上有根本的改变。为了让大型高真空阀门适应大型镀膜设备限高的要求，专利技术一种阀盖与阀座开闭采用非竖直上下运动方式，而采用转动连杆系统实现斜开闭阀盖，把原竖立气缸系统和提升阀盖拉杆全部横置，大大降低了原结构设计高度，解决了竖式高真空阀门占有空间过高的问题。
技术实现思路
本技术的专利技术目的是提供一种能大大降低大型高真空阀门的设计高度的紧凑的高真空阀门，从而解决竖式高真空阀门占有空间过高的问题。本专利技术的技术核心：(1)把现有的竖式气动高真空阀内的阀盖与阀座从垂直上下提拉开闭的方式，改成阀盖相对阀座近似转动倾斜开合方式。(2)把现有竖式气动高真空阀竖装气缸系统和与之连接的阀盖开闭上下运动的提拉杆，改成横置且改为转动方式，减少占高度空间。(3)横置气缸通过连杆驱动横置转轴转动。(4)横置转轴再通过连杆斜拉起阀盖和复位，实现阀盖与阀座开闭。(5)为了水平安装气缸，采用特别设计让气缸可小范围绕固定轴转动，以适应气缸活塞杆在拉动固连在横置转轴上的连杆作摆臂弧线运动，让连杆带动横置转轴转动。实现上述专利技术目的，本技术采取的技术方案：一种紧凑的高真空阀门，所述高真空阀门用于抽气系统和真空炉之间的连通控制，包括阀座、阀盖和阀盖控制系统，所述阀座具有与所述抽气系统连接的水平开口和与所述真空炉的抽气口连接的前竖开口，所述阀盖控制系统控制所述阀盖盖合在所述阀座的水平开口上或离开，实现所述高真空阀门的关闭与开启，所述阀盖控制系统包括气缸；其特征在于，所述气缸前端铰接在所述阀座的上壁，后端的活塞杆伸向所述阀座的后侧，所述阀盖控制系统还包括旋转连杆一、传动转轴、旋转连杆二，所述传动转轴横向转动安装在所述阀座的后侧阀壁上，所述旋转连杆一下端垂直固定在所述传动转轴上，上端与所述气缸后端的活塞杆铰接，所述旋转连杆二前端与所述阀盖顶部连接，后端伸向所述阀座的后侧，垂直固定在所述传动转轴上。气缸的活塞杆伸缩，推动所述旋转连杆一上端摆动，旋转连杆一的下端连接传动转轴，从而带动传动转轴转动，传动转轴又连接旋转连接杆二，传动转轴的转动必然带动旋转连接杆二转动，阀盖与旋转连接杆二连在一起，最终实现通过气缸控制阀盖向上转动离开阀座的水平开口或重新盖合其上，完成高真空阀门的开启和关闭控制。本技术方案，实则是将阀盖控制系统在高度方向压缩了，具体是将其部分结构如气缸、旋转拉杆二这些影响阀盖控制系统高度的部分横置了，当然，阀盖开启方式也由原来的上下直线拉提的方式改为了转动开合的方式。作为改进方案：所述阀座的上壁靠近所述后侧阀壁的一侧向下倾斜，所述气缸安装在该倾斜的上壁上，有利于进一步降低阀高。作为优选方案：所述旋转连杆一与所述旋转连杆二异面垂直，所述高真空阀门关闭时，所述旋转连杆二位置水平。作为进一步优选方案：所述阀座的后侧阀壁上凸出设有通过所述后侧阀壁上的开口与所述阀座内部密封连通的传动密封室，所述传动转轴转动密封安装在该传动密封室的两侧壁上，一端伸出与所述旋转连杆一相连，所述旋转连杆二的一端由所述后侧阀壁上的开口伸出，连接所述传动转轴。本技术的阀座要求密封，通过传动转轴连接阀座内外的旋转连杆二、一，因为轴的转动密封较易实现，可简化阀盖控制系统与阀座之间的密封结构。本技术的优点：(1)把现有的竖式气动高真空阀内的阀盖与阀座从垂直上下提拉开闭的方式，改成阀盖相对阀座转动倾斜开合的方式，把现有竖式气动高真空阀门竖装气缸和与之连接的用于带动阀盖上下运动实现开闭的提拉杆，改成横置转动的旋转连接杆二，使整个阀门竖向上设计更加紧凑，大大减少高真空阀门所占的高度空间；(2)现有竖式气动高真空阀门往往阀顶比真空镀膜设备顶部高出许多，导致真空设备标高设计降不下来，设备安装标高要求高，导致许多厂房条件不符合，需挖坑、折墙等，带来不方便，有的设备需安装在高层楼上，就更加困难，使用本技术的紧凑的高真空阀门，设备标高可大大降低，对厂房标高要求也会大大降低，有利于降低对厂房标高的要求，提升真空镀膜设备的适应性。附图说明图1为本技术较佳实施例紧凑的高真空阀的立面剖视图；图2为本技术较佳实施例紧凑的高真空阀的俯视剖视图；图3为本技术较佳实施例紧凑的高真空阀的右侧视图；图4为图3中I处的局部放大图；图5为图2中Ⅱ处的局部放大图；图6为图2中Ⅲ处的局部放大图；附图标记：1阀座1-1水平开口1-2前竖开口2阀盖2-1阀盖连接座3六角头螺栓4气缸固定焊接座5六角头螺栓7平垫圈8弹性垫圈9气缸10气缸连接头11旋转连杆一12平键13旋转连杆一转轴14轴用弹性挡圈15旋转连杆二16传动焊接法兰17O型圈18传动密封座19小密封盖20内六角圆柱头螺钉21垫圈22弹性垫圈23轴承固定焊接座一24轴承25O型圈26大密封盖27六角头螺栓28孔用弹性挡圈29传动转轴30旋转连杆二锁块31平键一32六角头螺栓33孔用弹性挡圈34轴用弹性挡圈35轴承36轴承垫圈37骨架油封38轴承固定焊接座二39轴承压盖40轴承顶套41轴承座42轴承43轴承座固定块44六角头螺栓45平垫圈46弹性垫圈47旋转连杆二转轴。具体实施方式附图1～图3分别显示本技术较佳实施例的高真空阀门的正立面、俯视剖视图和右侧视图，反映了高真空阀门结构布局全貌。图1中阀座1前竖开口1-2用于连接真空炉的抽气口，水平开口1-1用于连接抽气系统的抽气口。阀盖2盖合在阀座1的水平开口1-1上，盖顶中心连接旋转连杆二15。此时，旋转连杆二15水平，向上转动，即可将阀盖2向上提起，呈斜倾角状打开阀盖2，旋转连杆二15向下转动即将阀盖2复原关闭。图1中的阀座1上壁左段是平置的，其右段向下倾斜，在斜角部分焊接固连气缸固定焊接座4，在气缸固定焊接座4上通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种紧凑的高真空阀门，所述高真空阀门用于抽气系统和真空炉之间的连通控制，包括阀座、阀盖和阀盖控制系统，所述阀座具有与所述抽气系统连接的水平开口和与所述真空炉的抽气口连接的前竖开口，所述阀盖控制系统控制所述阀盖盖合在所述阀座的水平开口上或离开，实现所述高真空阀门的关闭与开启，所述阀盖控制系统包括气缸；其特征在于，所述气缸前端铰接在所述阀座的上壁，后端的活塞杆伸向所述阀座的后侧，所述阀盖控制系统还包括旋转连杆一、传动转轴、旋转连杆二，所述传动转轴横向转动安装在所述阀座的后侧阀壁上，所述旋转连杆一下端垂直固定在所述传动转轴上，上端与所述气缸后端的活塞杆铰接，所述旋转连杆二前端与所述阀盖顶部连接，后端伸向所述阀座的后侧，同样垂直固定在所述传动转轴上。

【技术特征摘要】
1.一种紧凑的高真空阀门，所述高真空阀门用于抽气系统和真空炉之间的连通控制，包括阀座、阀盖和阀盖控制系统，所述阀座具有与所述抽气系统连接的水平开口和与所述真空炉的抽气口连接的前竖开口，所述阀盖控制系统控制所述阀盖盖合在所述阀座的水平开口上或离开，实现所述高真空阀门的关闭与开启，所述阀盖控制系统包括气缸；其特征在于，所述气缸前端铰接在所述阀座的上壁，后端的活塞杆伸向所述阀座的后侧，所述阀盖控制系统还包括旋转连杆一、传动转轴、旋转连杆二，所述传动转轴横向转动安装在所述阀座的后侧阀壁上，所述旋转连杆一下端垂直固定在所述传动转轴上，上端与所述气缸后端的活塞杆铰接，所述旋转连杆二前端与所述阀盖顶部连...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，冯晓廷，
申请(专利权)人：东莞市汇成真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44