The utility model relates to a ICP etching machine, comprises a vertical section base U 'and hinged with the retractable upper cover is arranged in the upper cover; the gas inlet and a power source; the base is arranged from top to bottom of the turntable and placing the wafer tray; the turntable can rotate at the horizontal direction; the tray by a fixed on the inner bottom surface of the base hydraulic lifting device to drive the wafer etching; etching machine can make more uniform ion source.
【技术实现步骤摘要】
一种ICP刻蚀机
本技术涉及一种ICP刻蚀机,是一种离子刻蚀机,属于晶片加工领域。
技术介绍
离子刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。当气体以等离子体形式存在时,它具备两个特点:一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多,根据被刻蚀材料的不同,选择合适的气体,就可以更快地与材料进行反应,实现刻蚀去除的目的;另一方面,还可以利用电场对等离子体进行引导和加速,使其具备一定能量,当其轰击被刻蚀物的表面时,会将被刻蚀物材料的原子击出,从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。因此,干法刻蚀是晶圆片表面物理和化学两种过程平衡的结果。现有的ICP刻蚀机底盘高度可以调节,但是底盘不能旋转,底盘不能旋转,使得离子源无法均匀刻蚀吸在底盘上的晶片。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本技术提供一种ICP刻蚀机。该刻蚀机可以使离子源更均匀的刻蚀晶片。本技术的技术方案如下:一种ICP刻蚀机,包括竖直截面为U字形的底座和与底座铰接的可开合的上盖;上盖内设置有工作气体进气口和功率源;所述底座内从上至下依次设置有放置晶片的转盘和托盘;所述转盘可在水平方向上转动;所述托盘由一固定在底座内底面的液压装置驱动升降。其中,所述转盘上方的底座内设置有可阻挡离子束的开合板。其中,所述开合板包括水平相对设置的左半圆板和右半圆板;左半圆板与右半圆板分别由一转杆驱动转动。其中,所述底座侧壁上设置有观察窗;所述观察窗上贴覆有减光膜。其中,所述转盘由一竖直设置在托盘上的第一电机驱动旋转;所述第一电机的转轴固定在转盘中心。其中,所述转盘由一第一电机驱动旋转;所述转盘外圆周面上设置有外齿;所述第一电机的 ...
【技术保护点】
一种ICP刻蚀机,其特征在于:包括竖直截面为U字形的底座(1)和与底座(1)铰接的可开合的上盖(2);上盖(2)内设置有工作气体进气口(21)和功率源;所述底座(1)内从上至下依次设置有放置晶片的转盘(11)和托盘(12);所述转盘(11)可在水平方向上转动;所述托盘(12)由一固定在底座(1)内底面的液压装置(14)驱动升降。
【技术特征摘要】
1.一种ICP刻蚀机,其特征在于:包括竖直截面为U字形的底座(1)和与底座(1)铰接的可开合的上盖(2);上盖(2)内设置有工作气体进气口(21)和功率源;所述底座(1)内从上至下依次设置有放置晶片的转盘(11)和托盘(12);所述转盘(11)可在水平方向上转动;所述托盘(12)由一固定在底座(1)内底面的液压装置(14)驱动升降。2.如权利要求1所述的一种ICP刻蚀机,其特征在于:所述转盘(11)上方的底座(1)内设置有可阻挡离子束的开合板(3)。3.如权利要求2所述的一种ICP刻蚀机,其特征在于:所述开合板(3)包括水平相对设置的左半圆板(31)和右半圆板(32)...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁万国,李广伟,张新汉,陈怀熹,缪龙,冯新凯,邹小林,
申请(专利权)人:福建中科晶创光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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