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本实用新型涉及一种ICP刻蚀机，包括竖直截面为U字形的底座和与底座铰接的可开合的上盖；上盖内设置有工作气体进气口和功率源；所述底座内从上至下依次设置有放置晶片的转盘和托盘；所述转盘可在水平方向上转动；所述托盘由一固定在底座内底面的液压装置驱...
该专利属于福建中科晶创光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建中科晶创光电科技有限公司授权不得商用。

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