样本收集组件及其制作方法技术

本发明专利技术提供一种样本收集组件及其制作方法，包括两基板以及间隔件。两基板相对叠置。基板具有第一表面，与第一表面相对的第二表面、第一凹槽以及至少一第二凹槽。两基板的第一表面相对设置，且第一凹槽及第二凹槽分别位于第一表面。基板的第一凹槽共同形成第一连通道，且基板的第二凹槽共同形成连通至样本收集组件之外的第二连通道。第一连通道与第二连通道彼此连通。此外，一种样本收集组件的制作方法也被提及。本发明专利技术的样本收集组件可影响并控制第一连通道内的液态溶液样本的流动方向及状态，此外，本发明专利技术的样本收集组件可适用于各类型的电子显微镜。

Sample collection component and its making method

The present invention provides a sample collection component and its manufacturing method, including two substrate and spacer. The two base plates stacked relative. The substrate has a first surface, a second surface, a first groove, and at least one second groove opposite to the first surface. The first two substrates arranged opposite to the surface, and the first grooves and the two grooves are respectively positioned on the first surface. The first groove of the substrate forms a joint channel, and the second grooves of the substrate form a second connecting channel connected to the sample collection component together. The first passage is connected to the second connecting channel. In addition, a method of making sample collection components is also mentioned. The sample collection assembly of the present invention can influence and control the flow direction and state of liquid solution samples in the first passage, and in addition, the sample collection assembly of the present invention can be applied to various types of electron microscopes.

【技术实现步骤摘要】
样本收集组件及其制作方法
本专利技术是有关于一种样本收集组件，且特别是有关于一种可用在电子显微镜的样本收集组件及其制作方法。
技术介绍
随着显微科技的进步，各种类型的显微观察装置，例如原子力显微镜(AtomicForceMicroscope,AFM)、电子显微镜如穿透式电子显微镜(TransmissionElectronMicroscope,TEM)、扫描式电子显微镜(ScanningElectronMicroscopy,SEM)等，因应而生。此外，针对不同的显微镜需要相应的不同类型的样本收集组件，例如气态或液态溶液样本试片、干燥样本试片等。在已知的技术中，样本收集组件可通过硅晶片以及制作微机电系统常用的聚二甲基硅氧烷(PDM)以例如是氧电浆键结的方式结合，以形成液态样本溶液的微流道。然而，上述的技术仅适用在以扫描式电子显微镜内的X光能量散布分析仪(energy-dispersiveX-rayspectroscopy，简称EDX)针对流动样本的表层区域的特定成分与浓度变化情形进行较低解析度的观察与分析时。此外，美国专利公开号US2013/0264476A1揭示以硅晶片结合穿透式电子显本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种样本收集组件，其特征在于，包括：两基板，彼此相对叠置，各所述基板具有第一表面、与所述第一表面相对的第二表面、第一凹槽以及至少一第二凹槽，所述两第一表面彼此相对设置，且所述第一凹槽及所述至少一第二凹槽分别位于所述第一表面，其中各所述基板的所述第一凹槽共同形成第一连通道，并各所述基板的所述第二凹槽共同形成连通至所述样本收集组件外的至少一第二连通道，且所述第一连通道及所述至少一第二连通道彼此连通；以及间隔件，配置在所述两第一表面之间，用以连接并固定所述两基板，其中所述两基板及所述间隔件之间形成样本容纳空间，且所述样本容纳空间包括所述第一连通道及所述至少一第二连通道。

【技术特征摘要】
2016.04.11 TW 1051111881.一种样本收集组件，其特征在于，包括：两基板，彼此相对叠置，各所述基板具有第一表面、与所述第一表面相对的第二表面、第一凹槽以及至少一第二凹槽，所述两第一表面彼此相对设置，且所述第一凹槽及所述至少一第二凹槽分别位于所述第一表面，其中各所述基板的所述第一凹槽共同形成第一连通道，并各所述基板的所述第二凹槽共同形成连通至所述样本收集组件外的至少一第二连通道，且所述第一连通道及所述至少一第二连通道彼此连通；以及间隔件，配置在所述两第一表面之间，用以连接并固定所述两基板，其中所述两基板及所述间隔件之间形成样本容纳空间，且所述样本容纳空间包括所述第一连通道及所述至少一第二连通道。2.根据权利要求1所述的样本收集组件，其特征在于，所述第一连通道及所述至少一第二连通道分别具有第一深度及第二深度，并且所述第二深度大于所述第一深度。3.根据权利要求2所述的样本收集组件，其特征在于，所述第一深度的范围是落在0.01微米至10微米。4.根据权利要求2所述的样本收集组件，其特征在于，所述第二深度的范围是落在0.1微米至400微米。5.根据权利要求1所述的样本收集组件，其特征在于，各所述基板还包括观测窗，所述观测窗配置在所述第二表面并且对应所述样本容纳空间的所述第一连通道的位置。6.根据权利要求1所述的样本收集组件，其特征在于，还包括入口及出口，其中所述入口位于所述第一连通道及所述至少一第二连通道的其中一端的开口，并且所述出口位于所述第一连通道及所述至少一第二连通道的另一端的开口。7.根据权利要求1所述的样本收集组件，其特征在于，还包括入口及出口，其中所述入口位于所述至少一第二连通道的其中一端的开口，并且所述出口位于所述至少一第二连通道的另一端的开口。8.根据权利要求1所述的样本收集组件，其特征在于，所述至少一第二连通道的数量为两个，并且所述第二连通道的长度延伸方向与所述第一连信道的长度延伸方向平行。9.根据权利要求8所述的样本收集组件，其特征在于，各所述第二连通道的两端分别具有入口及出口，并且其中一个所述第二连通道的所述入口与另一个所述第二连通道的所述出口位于相同的一端。10.根据权利要求8所述的样本收集组件，其特征在于，所述两基板的其中之一具有入口，位于所述基板的所述第二表面，且所述入口连通其中一个所述第二连通道，所述两基板的其中另一具有出口，位于所述基板的所述第二表面，且所述出口连通另一个所述第二连通道。11.根据权利要求8所述的样本收集组件，其特征在于，所述两基板的其中之一具有入口及出口，所述入口及所述出口分别位于所述基板的所述第二表面，并且分别连通至少所述第二连通道的其中一个。12.根据权利要求1所述的样本收集组件，其特征在于，还包括至少一组反应电极，配置在所述第一连通道中。13.根据权利要求1所述的样本收集组件，其特征在于，还包括至少一组加热组件或是传感组件，配置在所述至少一第二连通道中。14.根据权利要求1所述的样本收集组件，其特征在于，还包括至少一组加热组件或是传感组件，配置在所述至少一第二连通道的其中一端的开口附近。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张平，陈弘仁，
申请(专利权)人：閤康生物科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71