聚焦离子束装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及聚焦离子束装置。提供一种能够以简易的结构使观察对象的微小样品片在聚焦离子束装置与样品观察装置之间容易地移动的聚焦离子束装置。具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束来制作微小样品片；样品室，收容所述样品台和所述聚焦离子束镜筒；侧面插入型的托架，以能对所述样品室插拔的方式形成，能够在顶端侧保持所述微小样品片；以及样品片移动单元，使所述微小样品片在所述样品台和所述托架之间移动，所述样品台以能至少分别沿着沿水平面的x轴和与其成直角的y轴及沿铅垂方向的z轴移动的方式形成，在所述样品台的一端形成有与所述托架拆装自由地卡合并且伴随着该样品台的移动也使该托架移动的托架卡合部。

Focused ion beam device

The invention relates to a focused ion beam device. A focused ion beam device is provided that allows small sample slices of an object to be easily moved between a focused ion beam device and a sample observing device in a simple structure. Includes a sample table, placing the sample; focused ion beam irradiation to the sample tube, focused ion beam to produce small sample; the sample room, containing the sample table and the focused ion beam tube; side insertion type bracket, formed in the sample chamber to plug the way, to keep the the small sample piece on the top side; and the sample piece of the mobile unit, the micro sample piece to move between the sample table and the bracket, the sample table to at least respectively along the horizontal plane along the X axis and its Y axis angle and the vertical direction of the Z axis moving way at the end of the formation, the sample table is formed with disassembly and the bracket freely clamped and accompanied by moving the sample table which makes the movement of the carriage bracket fastening part.

【技术实现步骤摘要】
聚焦离子束装置
本专利技术涉及利用聚焦离子束从样品切出包含观察对象部位的微小样品片的聚焦离子束装置。
技术介绍
例如，作为对半导体器件等样品的内部构造进行解析或者进行立体的观察的手法之一，已知使用装载有聚焦离子束（FocusedIonBeam；FIB）镜筒和电子束（ElectronBeam；EB）镜筒的复合带电粒子束装置来进行利用FIB的剖面形成加工和对其剖面进行利用EB扫描的扫描型电子显微镜（ScanningElectronMicroscope；SEM）观察的剖面加工观察方法（例如，参照专利文献1）。关于该剖面加工观察方法，将利用FIB的剖面形成加工称为切（Cut）并且将利用EB的剖面观察称为看（See）而重复切和看来构筑三维图像的一系列的手法已知为切&看。在该手法中，能够根据再构筑的三维立体像从各种方向观察对象样品的立体的形体。进而，具有能够再现对象样品的任意的剖面像这样的、对于其他的方法没有的优点。另一方面，关于SEM，由于存在二次电子射线的宽度，所以在高倍率（高分辨率）的观察中存在界限，此外，所得到的信息也被限定于样品表面附近。因此，还已知使用了使加工为薄膜状的样品透本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种聚焦离子束装置，其特征在于，具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束来制作微小样品片；样品室，收容所述样品台和所述聚焦离子束镜筒；侧面插入型的托架，以能对所述样品室插拔的方式形成，能够在顶端侧保持所述微小样品片；以及样品片移动单元，使所述微小样品片在所述样品台和所述托架之间移动，所述样品台以能至少分别沿着沿水平面的x轴和与其成直角的y轴及沿铅垂方向的z轴移动的方式形成，在所述样品台的一端形成有与所述托架拆装自由地卡合并且伴随着该样品台的移动也使该托架移动的托架卡合部。

【技术特征摘要】
2016.03.18 JP 2016-0557571.一种聚焦离子束装置，其特征在于，具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束来制作微小样品片；样品室，收容所述样品台和所述聚焦离子束镜筒；侧面插入型的托架，以能对所述样品室插拔的方式形成，能够在顶端侧保持所述微小样品片；以及样品片移动单元，使所述微小样品片在所述样品台和所述托架之间移动，所述样品台以能至少分别沿着沿水平面的x轴和与其成直角的y轴及沿铅垂方向的z轴移动的方式形成，在所述样品台的一端形成有与所述托架拆装自由地卡合并且伴随着该样品台的移动也使该托架移动的托架卡合部。2.根据权利要求1所述的聚焦离子束装置，其特征在于，在所述样品室还形成有保持该样品室内的密封并能够对所述样品室插拔所述托架的装载互锁机构。3.根据权利要求1或2所述的聚焦离子束装置，其特征在于，在所述样品台还形成有能够使所...

【专利技术属性】
技术研发人员：大西毅，岩堀敏行，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本,JP