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本发明涉及聚焦离子束装置。提供一种能够以简易的结构使观察对象的微小样品片在聚焦离子束装置与样品观察装置之间容易地移动的聚焦离子束装置。具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束来制作微小样品片；样品室，收容所述样品台和...
该专利属于日本株式会社日立高新技术科学所有，仅供学习研究参考，未经过日本株式会社日立高新技术科学授权不得商用。

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