扫描式电子显微镜样品夹具制造技术

本实用新型专利技术提供一种扫描式电子显微镜样品夹具，包括夹具主体和至少一个第一固定件，夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，样品凹槽的开口朝上设置，样品凹槽的底部用于固定在扫描式电子显微镜的样品基座上，第一固定件横向穿设样品凹槽的侧壁并相对侧壁横向可移动及可固定设置用于将样品抵靠固定在第一固定件和侧壁之间或在多个第一固定件之间。本实用新型专利技术的扫描式电子显微镜样品夹具能够将样品牢固固定在SEM的样品基座上，从而提高样品导电性，达到改善图片质量的目的，而且样品更换方便，提高了工作效率，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低，适于大规模推广应用。

Scanning electronic microscope sample clamp

The utility model provides a scanning electron microscope sample clamp, comprising a clamp body and at least a first fixing piece, the fixture body is arranged in the groove for accommodating sample scanning electron microscope samples, set the sample groove opening toward the bottom of the groove, the sample used for the sample base is fixed in a scanning electron microscope. First, fixed transverse penetrating sample groove side wall and opposite side walls of laterally movable and fixed for the sample set against the fixed between the first fixing piece and the side wall or between the first fixing piece. The utility model of the scanning electron microscope sample clamp can be firmly fixed in the sample sample base on SEM, so as to improve the conductivity of the samples, to improve the image quality, and the sample is easy to change, improve work efficiency, ingenious design, simple structure, simple manufacture, convenient use, low cost, suitable for application in large scale.

【技术实现步骤摘要】
扫描式电子显微镜样品夹具
本技术涉及电子显微镜
，特别涉及扫描式电子显微镜
，具体是指一种扫描式电子显微镜样品夹具。
技术介绍
扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscope，SEM)是1965年专利技术的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。在采用扫描电子显微镜例如现有的Hitachisu8010机台进行切片(cross-section)观测时，请参见图1所示，用胶带1例如碳胶带2直接把样品3粘合在SEM的样品基座4上，样品3的影像容易产生漂移。因为样品3是通过胶带1粘贴固定在SEM的样品基座4上的，因此很容易出现固定不牢固的现象，从而使样品3的导电性不好，量取数据不准确；而且样品3更换不方便，工作效率低。因此，希望提供一种扫描式电子显微镜样品夹具，其能够将样品牢固固定在SEM的样品基座上，从而提高样品导电性，达到改善图片质量的目的，而且样品更换方便，提高了工作效率。
技术实现思路
为了克服上述现有技术中的缺点，本技术的一个目的在于提供一种扫描式电子显微镜样品夹具，其能够将样品牢固固定在SEM的样品基座上，从而提高样品导电性，达到改善图片质量的目的，而且样品更换方便，提高了工作效率，适于大规模推广应用。本技术的另一目的在于提供一种扫描式电子显微镜样品夹具，其设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低，适于大规模推广应用。为达到以上目的，本技术的扫描式电子显微镜样品夹具，其特点是，包括夹具主体和至少一个第一固定件，所述夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，所述样品凹槽的开口朝上设置，所述样品凹槽的底部用于固定在所述扫描式电子显微镜的样品基座上，所述第一固定件横向穿设所述样品凹槽的侧壁并相对所述侧壁横向可移动及可固定设置用于将所述样品抵靠固定在所述第一固定件和所述侧壁之间或在多个所述第一固定件之间。较佳地，所述第一固定件上横向设置有多个第一固定位，所述侧壁位于其中一个所述第一固定位上。较佳地，所述第一固定件螺纹啮合在所述侧壁中。更佳地，所述第一固定件是第一螺丝，所述侧壁中横向设置有第一螺孔，所述第一螺丝螺纹啮合在所述第一螺孔中。较佳地，所述的第一固定件的数目为2个，2个所述第一固定件相对设置用于将所述样品抵靠固定在2个所述第一固定件之间。较佳地，所述样品凹槽为圆柱形凹槽。较佳地，所述扫描式电子显微镜样品夹具还包括第二固定件，所述第二固定件固定所述底部并用于固定所述样品基座。更佳地，所述第二固定件为第二螺丝，所述底部中竖向设置有第二螺孔，所述第二螺丝螺纹啮合在所述第二螺孔中并用于螺纹啮合在所述样品基座中。较佳地，所述扫描式电子显微镜样品夹具还包括胶带，所述胶带位于所述样品凹槽中并粘接在所述底部上用于粘接所述样品。较佳地，所述扫描式电子显微镜样品夹具为铜夹具。本技术的有益效果主要在于：1、本技术的扫描式电子显微镜样品夹具包括夹具主体和至少一个第一固定件，夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，样品凹槽的开口朝上设置，样品凹槽的底部用于固定在扫描式电子显微镜的样品基座上，第一固定件横向穿设样品凹槽的侧壁并相对侧壁横向可移动及可固定设置用于将样品抵靠固定在第一固定件和侧壁之间或在多个第一固定件之间，因此，其能够将样品牢固固定在SEM的样品基座上，从而提高样品导电性，达到改善图片质量的目的，而且样品更换方便，提高了工作效率，适于大规模推广应用。2、本技术的扫描式电子显微镜样品夹具包括夹具主体和至少一个第一固定件，夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，样品凹槽的开口朝上设置，样品凹槽的底部用于固定在扫描式电子显微镜的样品基座上，第一固定件横向穿设样品凹槽的侧壁并相对侧壁横向可移动及可固定设置用于将样品抵靠固定在第一固定件和侧壁之间或在多个第一固定件之间，因此，设计巧妙，结构简洁，制造简单，使用方便，成本低，适于大规模推广应用。本技术的这些和其它目的、特点和优势，通过下述的详细说明，附图和权利要求得以充分体现，并可通过所附权利要求中特地指出的手段、装置和它们的组合得以实现。附图说明图1是现有的将扫描电子显微镜的样品固定在扫描电子显微镜的样品基座上的主视示意图。图2是本技术的扫描式电子显微镜样品夹具的一具体实施例的主视剖视示意图。图3是图2所示的具体实施例的俯视示意图。图4是采用图2所示的具体实施例将扫描电子显微镜的样品固定在扫描电子显微镜的样品基座上的主视局部剖视示意图。(符号说明)1胶带；2碳胶带；3样品；4样品基座；41第三螺孔；5夹具主体；51样品凹槽；52开口；53底部；54侧壁；55第一螺孔；56第二螺孔；6第一固定件；61第一螺丝；7第二固定件；71第二螺丝。具体实施方式为了能够更清楚地理解本技术的
技术实现思路
，特举以下实施例详细说明。请参见图2至图4所示，在本技术的一具体实施例中，本技术的扫描式电子显微镜样品夹具包括夹具主体5和至少一个第一固定件6，所述夹具主体5中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品3的样品凹槽51，所述样品凹槽51的开口52朝上设置，所述样品凹槽51的底部53用于固定在所述扫描式电子显微镜的样品基座4上，所述第一固定件6横向穿设所述样品凹槽51的侧壁54并相对所述侧壁54横向可移动及可固定设置用于将所述样品3抵靠固定在所述第一固定件6和所述侧壁54之间或在多个所述第一固定件6之间。上述的“所述第一固定件6相对所述侧壁54横向可移动及可固定设置”指的是所述第一固定件6相对所述侧壁54横向可移动设置并在期望位置可固定设置，即所述第一固定件6相对所述侧壁54可以横向移动并可以在期望位置固定，从而所述第一固定件6朝向所述样品凹槽51内横向伸入或横向退出所述样品凹槽51。上述的“用于将所述样品3抵靠固定在所述第一固定件6和所述侧壁54之间或在多个所述第一固定件6之间”指的是在所述第一固定件6的数目为1个时，所述第一固定件6用于将所述样品3抵靠固定在所述第一固定件6和所述侧壁54之间，在所述第一固定件6的数目为多个时，根据多个所述第一固定件6的设置位置，多个所述第一固定件6用于将所述样品3抵靠固定在多个所述第一固定件6和所述侧壁54之间(例如均设置在所述样品凹槽51的一侧时)或在多个所述第一固定件6之间(例如相对设置时)。所述第一固定件6相对所述侧壁54横向可移动及可固定设置可以采用任何合适的结构，在本技术的一具体实施例中，所述第一固定件6螺纹啮合在所述侧壁54中。可选地，在本技术的另一具体实施例中，所述第一固定件6上横向设置有多个第一固定位(图中未示出)，所述侧壁54位于其中一个所述第一固定位上，通过不同的第一固定位的选择，同样可以实现本技术的目的。所述第一固定件6可以是任何合适的固定件，请参见图2和图4所示，在本技术的一具体实施例中，所述第一固定件6是第一螺丝61，所述侧壁54中横向设置有第一螺孔55，所述第一螺丝61螺纹啮合在所述第一螺孔55中。所述的第一固定件6的数目可以根据需要确定，例如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，包括夹具主体和至少一个第一固定件，所述夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，所述样品凹槽的开口朝上设置，所述样品凹槽的底部用于固定在所述扫描式电子显微镜的样品基座上，所述第一固定件横向穿设所述样品凹槽的侧壁并相对所述侧壁横向可移动及可固定设置用于将所述样品抵靠固定在所述第一固定件和所述侧壁之间或在多个所述第一固定件之间。

【技术特征摘要】
1.一种扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，包括夹具主体和至少一个第一固定件，所述夹具主体中设置有用于容纳扫描式电子显微镜的样品的样品凹槽，所述样品凹槽的开口朝上设置，所述样品凹槽的底部用于固定在所述扫描式电子显微镜的样品基座上，所述第一固定件横向穿设所述样品凹槽的侧壁并相对所述侧壁横向可移动及可固定设置用于将所述样品抵靠固定在所述第一固定件和所述侧壁之间或在多个所述第一固定件之间。2.如权利要求1所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述第一固定件上横向设置有多个第一固定位，所述侧壁位于其中一个所述第一固定位上。3.如权利要求1所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述第一固定件螺纹啮合在所述侧壁中。4.如权利要求3所述的扫描式电子显微镜样品夹具，其特征在于，所述第一固定件是第一螺丝，所述侧壁中横向设置有第一螺孔，所述第一螺丝螺纹啮合在所述第一螺孔中。5.如权利要求1所述的扫描式电子显微...

【专利技术属性】
技术研发人员：施杰，刘国庆，
申请(专利权)人：宜特上海检测技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31