The utility model relates to a flat panel display manufacturing field, discloses a substrate developing apparatus includes a developing unit of the device, including the developing groove of the developing unit; and the device also includes with the developing unit global unit installed in the fire, the defoaming unit comprises a defoaming tank, defoaming tank the outer cover, exhaust tube and liquid spray assembly, wherein the defoaming tank and the foam groove to form a foam cover with installation space, the elimination of bubble overflow is communicated with the defoaming space and the developing cavity bubble groove and connected the outflow of waste elimination global space and outside the mouth, the foam overflow is arranged above the liquid developer in the slot position; the ventilation pipe is communicated with the defoaming space and external exhaust fan; the liquid spray assembly is mounted on the defoaming The position in the space is higher than that of the effluent outlet. Using the substrate of the developing device can improve the product utilization rate, reduce the risk of developing adverse substrate.
【技术实现步骤摘要】
基板显影装置
本技术涉及平板显示器生产领域,具体地涉及一种基板显影装置。
技术介绍
随着平板显示技术的发展,液晶显示器已经广泛应用于电脑、电视、手机、车载屏幕等设备上。在目前TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)的生产过程中,彩膜及触控基板是不可或缺的关键零组件之一,而彩膜及触控基板的制备过程中不可避免的都需要用到光阻的显影技术来形成各种图案或进一步进行选择性蚀刻来形成各种功能层。现有的显影机作业流程主要先通过泵将显影液送至显影机喷管进行基板显影作业,再次过程中由于光阻乾膜溶解于显影液,实际上是一种皂化作用,因此在机械泵浦的搅拌下会产生泡沫,当大量的泡沫产生之后,不但会溢出显影槽,而且会降低显影液与基板面的冲击压力造成显影不良,需多次停机清洁。以上是现有装置的不足之处,为了提高生产良率和效率,降低生产停机清洁,所以需要对现有的显影机装置进行设计优化。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术存在的不足,提供一种基板显影装置,以在显影装置操作过程中去除所产生的泡沫,进而提高生产稼动率,减少停机维护时间。为了实现上述目的,本技术提供了一种基板显影装置,所述装置中包括显影单元,所述显影单元中包括显影槽;所述装置中还包括与所述显影单元配合安装的消泡单元,所述消泡单元包括消泡槽、消泡槽外盖、抽风管以及液体喷淋组件,其中所述消泡槽和所述消泡槽外盖配合安装以形成消泡空间,所述消泡槽上形成有连通所述消泡空间和所述显影槽内腔的泡沫溢流口以及连通所述消泡空间和外部的废液流出口,所述泡沫溢流口位于高于所述显影槽中显影剂的液面的位置;所述抽风管连通所述消泡空间与外部抽风机;所述液体喷 ...
【技术保护点】
一种基板显影装置,所述装置中包括显影单元,所述显影单元中包括显影槽(11),其特征在于,所述装置中还包括与所述显影单元配合安装的消泡单元,所述消泡单元包括消泡槽(21)、消泡槽外盖(22)、抽风管(23)以及液体喷淋组件(24),其中所述消泡槽(21)和所述消泡槽外盖(22)配合安装以形成消泡空间,所述消泡槽(21)上形成有连通所述消泡空间和所述显影槽(11)内腔的泡沫溢流口(211)以及连通所述消泡空间和外部的废液流出口,所述泡沫溢流口(211)位于高于所述显影槽(11)中显影剂的液面的位置;所述抽风管(23)连通所述消泡空间与外部抽风机;所述液体喷淋组件(24)安装在所述消泡空间内高于所述废液流出口的位置。
【技术特征摘要】
1.一种基板显影装置,所述装置中包括显影单元,所述显影单元中包括显影槽(11),其特征在于,所述装置中还包括与所述显影单元配合安装的消泡单元,所述消泡单元包括消泡槽(21)、消泡槽外盖(22)、抽风管(23)以及液体喷淋组件(24),其中所述消泡槽(21)和所述消泡槽外盖(22)配合安装以形成消泡空间,所述消泡槽(21)上形成有连通所述消泡空间和所述显影槽(11)内腔的泡沫溢流口(211)以及连通所述消泡空间和外部的废液流出口,所述泡沫溢流口(211)位于高于所述显影槽(11)中显影剂的液面的位置;所述抽风管(23)连通所述消泡空间与外部抽风机;所述液体喷淋组件(24)安装在所述消泡空间内高于所述废液流出口的位置。2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述消泡槽(21)与所述显影槽(11)共用第一侧壁,所述泡沫溢流口(211)形成在所述第一侧壁上。3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述泡沫溢流口(211)具有长方形结构,且该长方形结构中长边平行于所述显影槽(11)中显影液的液面。4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述液体喷淋组件(24)包括输液管(241)和多个喷嘴(242),各所述喷嘴(242)设置在所述输液管(241)上、且其液体喷淋口朝向所述消泡槽(21)的底壁方向设置。5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述输液管(241...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖文晟,
申请(专利权)人:东旭昆山显示材料有限公司,东旭集团有限公司,东旭科技集团有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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