显影液稀释系统技术方案

本发明专利技术提供的一种显影液稀释系统，供给管路向第一调制槽供给原液和纯水，得到初步稀释的第一显影液，将第一显影液通过第一管路流向第二调制槽，第一浓度计和第二浓度计分别测量第一显影液和第二显影液的浓度值，并输入到控制组件，由控制组件控制供给管路流入第一调制槽和第二调制槽的原液和/或纯水流量，得到进一步精确稀释的第二显影液，通过第二管路流向显影装置使用。本发明专利技术提供的一种显影液稀释系统，将显影液的稀释过程分为在第一调制槽内初步稀释和在第二调制槽内精确稀释两步，其中第二调制槽可以使用现有技术中的显影液储存容器，节约容器成本，通过流量控制系统实行自动化控制，可以大幅提高生产效率，显影液的浓度控制更方便。

【技术实现步骤摘要】
显影液稀释系统
本专利技术属于显影液
，尤其涉及一种显影液稀释系统。
技术介绍
电子电路装置的制造厂商在精细加工过程中常用到光刻工序，光刻工序中使用的光刻胶材料常用到通过曝光可溶解的正型光刻胶，常用的正型光刻胶材料是2.38％浓度的四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液，TMAH水溶液已被大量的用于显影装置中。近年来，电子电路印刷、构图的高密度化，要求构图宽度微细，这就对显影工序中对光刻胶用的显影液的质量提出了高要求，为了获得高分辨率、构图的清晰度(锐敏度)、稳定性及高合格率，必须要严格的管理显影液的成分及浓度，例如，在TMAH水溶液的情况下，要求在规定浓度的±1/2000以内。目前，电子电路制造商要获得上述规定浓度的显影液主要有两种渠道，一种是向专业的显影液供应商采购已调配好浓度的显影液，通常稀释倍数为8-40倍左右，对于大批量的生产所需的大量的显影液，需要准备大型的容器盛放，运输成本也很高昂；另外一种是向供应商采购显影液原液后自己调配到规定的浓度，这种方式是目前主流的方式，节约了容器、运输成本，但是，这种方式所调配得到的显影液为了达到规定浓度，对显影液稀释提出了高要求，目前的做法是在一个调制槽内先将显影液的浓度稀释到一个初步值，再在此基础上进行精细调整，经过精细调整后符合规定浓度的显影液存储至容器中备用，稀释过程需要高精度的控制和高效的输出符合规定浓度的显影液，目前的技术难以达到这一要求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种显影液稀释系统，将显影液的稀释过程分为初步稀释和精确稀释两步，通过流量控制系统实行自动化控制，可以大幅提高生产效率，显影液的浓度控制更方便。为实现本专利技术的目的，本专利技术提供了如下的技术方案：第一方面，本专利技术提供了一种显影液稀释系统，包括原液和纯水供给管路；容纳和稀释所述原液和所述纯水的第一调制槽和第二调制槽，所述第一调制槽和所述第二调制槽之间通过第一管路连接，以使所述第一调制槽中稀释得到的第一显影液通过第一管路流向所述第二调制槽；用于测量所述第一显影液浓度的第一浓度计，用于测量所述第二调制槽中稀释得到的第二显影液浓度的第二浓度计；用于控制流量的控制组件，所述控制组件用于通过所述第一浓度计和所述第二浓度计输出的浓度值控制所述供给管路流入所述第一调制槽和所述第二调制槽的所述原液和/或纯水流量，所述第二调制槽与显影装置通过第二管路连接，以使所述第二显影液流向所述显影装置。在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述原液浓度范围为20％至100％，控制组件控制所述第一显影液的浓度范围为2.38％±0.005％，所述第二显影液的浓度范围为2.38％±0.003％。结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述原液浓度为25％。在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述第一调制槽和所述第二调制槽内还安装有用于加强所述显影液稀释的搅拌装置。在第一方面的第四种可能的实现方式中，还包括用于加速所述第一显影液向所述第二调制槽流动的第一液泵，用于加速所述第二显影液向所述显影装置流动的第二液泵，所述第一液泵和第二液泵设于相应所述第一管路和所述第二管路上。在第一方面的第五种可能的实现方式中，所述第一浓度计设于所述第一管路的并行管路上，所述第二浓度计设于所述第二管路的并行管路上。结合第一方面及第一方面的第一种至第五种可能的实现方式，在第一方面的第六种可能的实现方式中，所述第一浓度计和所述第二浓度计为超声波浓度计。结合第一方面及第一方面的第一种至第五种可能的实现方式，在第一方面的第七种可能的实现方式中，所述第一调制槽和所述第二调制槽内还包括有液面高度测量装置。第二方面，本专利技术提供了一种显影液稀释方法，包括以下步骤：原液和纯水供给管路向第一调制槽供给所述原液和纯水；所述原液和纯水在所述第一调制槽内混合稀释，得到第一显影液；所述第一显影液通过第一管路流向第二调制槽；第一浓度计和第二浓度计测量得到所述第一显影液和所述第二调制槽的第二显影液的浓度值；根据所述第一浓度计和所述第二浓度计输出的所述第一显影液和所述第二显影液的浓度值，控制组件调整所述供给管路流向所述第一调制槽和所述第二调制槽的显影液和/或纯水流量，得到预定浓度的所述第一显影液和所述第二显影液。在第二方面的第一种可能的实现方式中，所述控制组件控制所述第一显影液的浓度的偏离值大于所述第二显影液浓度的偏离值。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种显影液稀释系统，原液和纯水供给管路向第一调制槽供给原液和纯水，得到初步稀释的第一显影液，将第一显影液通过第一管路流向第二调制槽，第一浓度计和第二浓度计分别测量第一显影液和第二显影液的浓度值，并输入到控制组件，由控制组件控制供给管路流入第一调制槽和第二调制槽的所述原液和/或纯水流量，得到进一步精确稀释的第二显影液，通过第二管路流向显影装置使用。本专利技术提供的一种显影液稀释系统，将显影液的稀释过程分为在第一调制槽内初步稀释和在第二调制槽内精确稀释两步，其中第二调制槽可以使用现有技术中的显影液储存容器，节约容器成本，通过流量控制系统实行自动化控制，可以大幅提高生产效率，显影液的浓度控制更方便。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一种实施方式的结构示意图；具体实施方式下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，本专利技术第一较佳实施方式提供一种显影液稀释系统，包括原液供给管路101，纯水供给管路102，优选的，为节约成本，原液使用市面上常见的四甲基氢氧化铵水溶液，纯水选择去离子水；一般的，本实施方式可以允许原液浓度范围为20％至100％，优选的，原液浓度为25％；容纳和稀释所述原液和所述纯水的第一调制槽11和第二调制槽12，所述第一调制槽11和所述第二调制槽12之间通过第一管路402连接，以使所述第一调制槽11中稀释得到的第一显影液(未图示)通过第一管路402流向所述第二调制槽12；用于测量所述第一显影液浓度的第一浓度计111，用于测量所述第二调制槽12中稀释得到的第二显影液(未图示)浓度的第二浓度计121，在一种实施方式中，第一浓度计111设于第一调制槽11的第一显影液通向第二调制槽12管路402的并行管路401上，第二浓度计121设于第二调制槽12的第二显影液通向显影装置管路502的并行管路501上。优选的，第一浓度计111和第二浓度计121为超声波浓度计；用于控制流量的控制组件(未图示)，所述控制组件用于通过所述第一浓度计111和所述第二浓度计121输出的浓度值控制所述供给管路101/102流入所述第一调制槽11和所述第二调制槽121的所述原液和/或纯水流量，所述第二调制槽12与显影装置(未图示)通过第二管路50本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影液稀释系统，其特征在于，包括原液和纯水供给管路；容纳和稀释所述原液和所述纯水的第一调制槽和第二调制槽，所述第一调制槽和所述第二调制槽之间通过第一管路连接，以使所述第一调制槽中稀释得到的第一显影液通过第一管路流向所述第二调制槽；用于测量所述第一显影液浓度的第一浓度计，用于测量所述第二调制槽中稀释得到的第二显影液浓度的第二浓度计；用于控制流量的控制组件，所述控制组件用于通过所述第一浓度计和所述第二浓度计输出的浓度值控制所述供给管路流入所述第一调制槽和所述第二调制槽的所述原液和/或纯水流量，所述第二调制槽与显影装置通过第二管路连接，以使所述第二显影液流向所述显影装置。

【技术特征摘要】
1.一种显影液稀释系统，其特征在于，包括原液和纯水供给管路；容纳和稀释所述原液和所述纯水的第一调制槽和第二调制槽，所述第一调制槽和所述第二调制槽之间通过第一管路连接，以使所述第一调制槽中稀释得到的第一显影液通过第一管路流向所述第二调制槽；用于测量所述第一显影液浓度的第一浓度计，用于测量所述第二调制槽中稀释得到的第二显影液浓度的第二浓度计；用于控制流量的控制组件，所述控制组件用于通过所述第一浓度计和所述第二浓度计输出的浓度值控制所述供给管路流入所述第一调制槽和所述第二调制槽的所述原液和/或纯水流量，所述第二调制槽与显影装置通过第二管路连接，以使所述第二显影液流向所述显影装置。2.如权利要求1的显影液稀释系统，其特征在于，所述原液浓度范围为20％至100％，控制组件控制所述第一显影液的浓度范围为2.38％±0.005％，所述第二显影液的浓度范围为2.38％±0.003％。3.如权利要求2的显影液稀释系统，其特征在于，所述原液浓度为25％。4.如权利要求1的显影液稀释系统，其特征在于，所述第一调制槽和所述第二调制槽内还安装有用于加强所述显影液稀释的搅拌装置。5.如权利要求1的显影液稀释系统，其特征在于，还包括用于加速所述第一显影液向所述第二调制槽流动的第一液泵，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘良，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42