【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关一种显影液的组成物,尤指一种运用在集成电路、印刷电路板、彩色液晶装置或彩色滤光片的领域上,使感光性树脂组成物在涂膜、曝光后,未曝光部位得以显影形成图像(pattern)的显影液的组成物。一般彩色滤光片在制作时,通常是于基板上涂布感光性树脂组成物,其涂布的方式有染色法、印刷法、电著法及颜料分散法等,以颜料分散法为例,其在制作彩色滤光片时,首先将颜料分散液、溶剂、感光性树脂及相关的添加剂混合调制成彩色感光性树脂组成物,然后将该感光性树脂涂布于基板上并进行预烤,之后以光罩曝光后,再以显影液洗去未曝光的可溶性树脂,即可制得所需要的彩色图像,而常见的显影方式有浸渍显影、摇动显影、喷洒显影(spray)、静置显影(puddle)等。然而根据已知显影液的技术,感光性树脂组成物在涂膜并预烤、曝光后,虽可以碱性显影液来溶解除去未曝光而不要的涂膜部份,但在显影时却容易产生未显影部位粒子或未溶解物的残存,因此显影后比较难以形成精确的光阻剂图像。为了改善显像性差的缺失,日本特开平10-10749号专利技术专利申请案揭露,以水、碱性化合物、阴离子界面活性剂来制作显影液 ...
【技术保护点】
一种显影液的组成物,共是使用于感光性树脂曝光后图像形成时所用的碱性水系显影液,其特征是该组成物包括: (A)水; (B)至少一种含量0.01~5重量%的碱性化合物; (C)至少一种含量0.01~3.5重量%非离子性界面活性剂;其中,(C)的非离子界面活性剂具有下述结构式(Ⅰ): ***----- 结构式(Ⅰ) 其中,R↑[1]、R↑[2]、R↑[3]、R↑[4]、R↑[5]乃选自:氢、烷基、芳香族羟基、芳烷基、卤素; R↑[6]选自:亚乙基,亚丙基、亚丁基; R↑[7]选自:氢、乙酰基、烷基、芳香族羟基; n为6~23的整数 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李俊贤,
申请(专利权)人:奇美实业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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