一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置，液刀包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列。上述液刀作业时通过至少一个喷液槽作业，即至少有两个喷液间隙同时作业，两个并行排列的喷液间隙在沿喷液间隙的长度方向上的同一位置上发生堵塞的几率较小，能够提高显影液清洗装置对玻璃基板表面清洗的效果，提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置本专利技术申请是申请日为2014年1月27日、申请号为201410038914.7、专利技术名称为“一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置”的专利技术申请的分案申请。
本专利技术涉及显示面板加工
，特别涉及一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置。
技术介绍
在TFT-LCD(ThinFilmTransistor–LiquidCrystalDisplay薄膜晶体管-液晶显示)曝光显影工艺中，需要用到显影装置来去除玻璃基板上被曝光的光阻层，从而形成所需要的光阻图案。在这一环节当中，当显影液和光阻反应之后，需要使用清洗装置通过液刀喷水对玻璃基板进行冲洗，以将玻璃基板上的显影液、以及显影液与光阻反应之后形成的混合液等从玻璃基板的表面清除。现有技术中使用的清洗装置中，其液刀结构如图1所示，现有技术中清洗装置的使用的液刀01具有单缝隙结构，使用过程中通过液刀01具有的喷液间隙011将清洗液喷向玻璃基板的表面，以将显影液以及显影液与光阻反应之后形成的混合液从玻璃基板的表面清除。上述清洗装置中，当清洗液中混有异物时，清洗液中的异物会将液刀01中的喷液间隙011堵塞，液刀01喷出的水幕就会产生一条很明显的分叉，导致玻璃基板的表面与该分叉相对的部位的显影液以及显影液与光阻反应形成的混合液清洗不彻底，显影液与玻璃基板表面的化学反应时间过长，从而导致A-VLineMura的产生，降低产品的良率。
技术实现思路
本专利技术提供了一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置，使用该液刀对玻璃基板的显影液进行清洗时清洗效果较好，进而提高产品的良率。为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种用于显影液清洗装置的液刀，包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列。上述液刀在清洗过程中，通过至少一个喷液槽与其内的液刀芯体配合形成的两个并行排列的喷液间隙喷向玻璃基板的表面；上述两个喷液间中在沿喷液间隙的长度方向上的同一位置上发生堵塞的几率较小，当其中一个喷液间隙在某处位置发生堵塞时，另一个喷液间隙在该位置上没有发生堵塞，通过没有发生堵塞的喷液间隙可以对玻璃基板此处进行补充清洗，进而能够及时将玻璃基板表面的显影液及显影液与光阻反应之后形成的混合液从玻璃基板的表面清除，提高清洗装置对玻璃基板表面的显影液及显影液与光阻反应之后形成的混合液清洗的有效性，提高产品的良率。因此，本专利技术提供的液刀能够提高显影液清洗装置对玻璃基板表面清洗的效果，提高产品良率。优选地，所述液刀槽体还具有位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一侧的盖板，所述喷液槽的侧壁背离喷液口的一端与所述盖板密封连接；所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的每一个所述侧壁具有一个朝向所述盖板的限位面，所述液刀芯体具有位于所述喷嘴部两侧、且与所述限位面相抵的多个支撑部，且所述液刀芯体朝向盖板的一面与盖板朝向液刀芯体的一面相抵；所述盖板设有进液孔，且沿所述液刀芯体的长度方向，任意相邻的两个支撑部之间形成一个连通所述进液孔与所述喷嘴部与所述支撑部、以及限位面之间空间的进液间隙。优选地，所述盖板与每一个所述喷液槽对应的部位具有多个凸向所述液刀芯体的支撑柱，且每一个支撑柱朝向所述液刀芯体的一面与所述液刀芯体朝向所述盖板的一面相抵。优选地，所述多个支撑柱沿所述液刀芯体的长度方向均匀分布；所述盖板设置的进液孔为多个，且沿所述液刀芯体的长度方向均匀分布。优选地，所述液刀芯体中，所述喷嘴部两侧的支撑部形成的进液间隙交错分布。优选地，每一个所述支撑部与对应的所述限位面相抵的一端具有横向延伸的垫块以形成L型结构。优选地，每一个所述喷液槽中，一个沿所述液刀芯体长度方向延伸的所述侧壁上设有枢装于所述侧壁、且内端与所述液刀芯体螺纹配合的调节螺钉，所述调节螺钉的延伸方向与所述喷液间隙的长度方向垂直。优选地，每一个所述喷液槽中，两个沿所述液刀芯体长度方向延伸的所述侧壁背离所述喷液口的一端与所述液刀芯体密封连接，所述液刀芯体具有：贯穿所述液刀芯体长度方向的进液管路；开口位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一面、且与所述进液管路连通的多个进液孔；与所述进液管路和所述液刀芯体与所述侧壁之间间隙连通的多个进液支路。优选地，所述进液支路为圆孔，所述进液支路的直径为5mm～10mm。优选地，所述进液支路的直径为5mm。优选地，每一个所述侧壁与所述液刀芯体密封连接的部位与所述液刀芯体之间设有密封垫片。优选地，所述液刀槽体还具有延伸方向与所述喷液间隙长度方向平行的滑槽，还包括：与所述滑槽滑动配合的滑块；固定于所述滑块的支架；固定于所述支架且与喷液间隙一一对应的刮片，每一个所述刮片的一端伸入其对应的所述喷液间隙；所述液刀槽体的两端分别设有刮片暂存槽。优选地，还包括：与滑块连接的软线，其中：沿所述喷液间隙的长度方向，所述软线的伸出所述液刀槽体的一端，且伸出所述液刀槽体的另一端。优选地，每一个所述喷液间隙中，沿所述喷液间隙的喷液方向，所述侧壁与所述喷嘴部之间间距逐渐减小。另外，本专利技术还提供了一种显影液清洗装置，包括至少一个上述技术方案中提供的任一种液刀。附图说明图1为现有技术中显影液清洗装置使用的液刀的截面剖视图；图2为本专利技术实施例提供的液刀的一种整体结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的液刀的液刀芯体和液刀槽体配合时的一种剖面结构示意图；图4为图3所示的液刀结构中刮片与喷液间隙之间的配合结构示意图；图5为图3所示的液刀结构中液刀芯体的结构示意图；图6为图3所示的液刀结构中盖板的结构示意图；图7为图3所示的液刀的立体图；图8为本专利技术实施例提供的液刀的另一种结构示意图；图9为图8所示的液刀结构中液刀芯体的结构示意图；图10为图8所示的液刀结构的剖面图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参考图2和图3，本专利技术提供的用于显影液清洗装置的液刀包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体1，和与喷液槽一一对应的液刀芯体2，其中：每一个液刀芯体2安装于其对应的喷液槽内，且喷液槽中沿液刀芯体2长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，如侧壁11和侧壁12，侧壁11和侧壁12的一端配合形成喷液口，液刀芯体2具有一端伸入喷液口的喷嘴部23，喷嘴部23伸入喷液口的部分与沿液刀芯体2长度方向延伸的两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个喷液间隙并行排列；如图3所示，液刀芯体2的喷嘴部23与侧壁11之间形成喷液间隙21，液刀芯体2的喷嘴部23与侧壁12之间形成喷液间隙22。上述液刀中，液刀芯体2具有的喷嘴部23的一端伸入该液刀芯体2对应的喷液槽的侧壁11和侧壁12一端配合形成的喷液口内，且液刀芯体2的喷嘴部23伸入喷液口的部分与侧壁11之间形成喷液间隙21，且与侧壁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于显影液清洗装置的液刀，其特征在于，包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列；所述液刀槽体还具有位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一侧的盖板，所述喷液槽的侧壁背离喷液口的一端与所述盖板密封连接；所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的每一个所述侧壁具有一个朝向所述盖板的限位面，所述液刀芯体具有位于所述喷嘴部两侧、且与所述限位面相抵的多个支撑部，且所述液刀芯体朝向盖板的一面与盖板朝向液刀芯体的一面相抵；所述盖板设有进液孔，且沿所述液刀芯体的长度方向，任意相邻的两个支撑部之间形成一个连通所述进液孔与所述喷嘴部与所述支撑部、以及限位面之间空间的进液间隙。

【技术特征摘要】
1.一种用于显影液清洗装置的液刀，其特征在于，包括具有至少一个喷液槽的液刀槽体，和与所述喷液槽一一对应的液刀芯体，其中：每一个所述液刀芯体安装于其对应的喷液槽内，且所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的两个侧壁之间配合形成一喷液口，所述液刀芯体具有一端伸入所述喷液口的喷嘴部，所述喷嘴部伸入所述喷液口的部分与两个侧壁之间分别形成一个喷液间隙，两个所述喷液间隙并行排列；所述液刀槽体还具有位于所述液刀芯体背离其喷嘴部一侧的盖板，所述喷液槽的侧壁背离喷液口的一端与所述盖板密封连接；所述喷液槽中沿所述液刀芯体长度方向延伸的每一个所述侧壁具有一个朝向所述盖板的限位面，所述液刀芯体具有位于所述喷嘴部两侧、且与所述限位面相抵的多个支撑部，且所述液刀芯体朝向盖板的一面与盖板朝向液刀芯体的一面相抵；所述盖板设有进液孔，且沿所述液刀芯体的长度方向的任意相邻的两个支撑部之间形成一个连通所述进液孔与所述喷嘴部与所述支撑部、以及限位面之间空间的进液间隙。2.根据权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述盖板与每一个所述喷液槽对应的部位具有多个凸向所述液刀芯体的支撑柱，且每一个支撑柱朝向所述液刀芯体的一面与所述液刀芯体朝向所述盖板的一面相抵。3.根据权利要求2所述的液刀，其特征在于，所述多个支撑柱沿所述液刀芯体的长度方向均匀分布；所述盖板设置的进液孔为多个，且沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈朋，于洪禄，郭光龙，王涛，叶超，李星火，
申请(专利权)人：北京京东方显示技术有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11