一种显影液分类回收处理装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于半导体制造中溶液分类回收处理的技术领域，具体地说是一种显影液分类回收处理装置及方法。包括三通药液阀、显影溶剂收集罐、主排废管、显影液排放管及DI水排放管，其中三通药液阀和显影溶剂收集罐设置于显影单元的下方、并三通药液阀通过主排废管与显影单元连接，所述三通药液阀通过显影液排放管和DI水排放管分别与显影溶剂收集罐和排废口连接。本发明专利技术可以使显影液与DI水分类回收降低成本，有利于厂务处理排出废液，增进环保。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种显影液分类回收处理装置，其特征在于：包括三通药液阀(2)、显影溶剂收集罐(3)、主排废管(6)、显影液排放管(7)及DI水排放管(8)，其中三通药液阀(2)和显影溶剂收集罐(3)设置于显影单元(1)的下方、并三通药液阀(2)通过主排废管(6)与显影单元(1)连接，所述三通药液阀(2)通过显影液排放管(7)和DI水排放管(8)分别与显影溶剂收集罐(3)和排废口连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩渊，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21