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本发明属于半导体制造中溶液分类回收处理的技术领域，具体地说是一种显影液分类回收处理装置及方法。包括三通药液阀、显影溶剂收集罐、主排废管、显影液排放管及DI水排放管，其中三通药液阀和显影溶剂收集罐设置于显影单元的下方、并三通药液阀通过主排废管...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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