【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片显影定影装置。
技术介绍
目前，硅片加工工艺中的显影定影设备主要是硅片浸没晃动显影定影设备，这种设备需要在显影定影液中将硅片晃动清洗，虽然能大批量处理硅片，但晃动过程中容易导致硅片破碎损坏。还有一种是采用喷嘴在硅片上喷洒显影定影液，同时硅片低速旋转，这种设备处理硅片数量少，而且设备成本高。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的缺点，本技术的目的在于提供一种处理硅片效率高，结构简单，成本低的硅片显影定影装置。 为了解决上述问题，本技术采用以下技术方案：一种硅片显影定影装置，其特征在于，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流装置连通，在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐连通；所述气体分流装置设置在槽体底部。 优选的，所述气体分流装置为分流管，所述分流管上设置有若干出气孔。 作为本技术的另一个优选实施例，所述气体分流装置为设置在所述槽体底部的盒体，所述盒体的上表面设置有若干出气孔。 本技术的有益效果是：它通过在槽体内设置气体分流装置，在显影定影液中通入气体，利用气泡的冲击力对硅片进行清洗，同时，气体可回收利用，不仅不会对环境造成污染，而且使用成本低。附图说明 下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明：图1为本技术第一实施例的俯视结构示意图；图2为本技术第二实施...
【技术保护点】
一种硅片显影定影装置，其特征在于，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流装置连通，在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐连通；所述气体分流装置设置在槽体底部。
【技术特征摘要】
1.一种硅片显影定影装置，其特征在于，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流装置连通，在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐连通；所述气体...
【专利技术属性】
技术研发人员：许玉雷，
申请(专利权)人：济南晶博电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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