显影液的浓度监测系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种显影液的浓度监测系统及方法，该系统包括：第一提取设备，用于从显影液存储设备提取显影液；第二提取设备，用于从反应液存储设备提取反应液；反应室，第一提取设备和第二提取设备进一步分别将提取到的显影液和反应液输送至反应室，以使得二者在反应室内进行化学反应；检测设备，用于检测反应后的显影液和反应液的PH值；计算设备，用于根据检测设备所检测到的PH值计算显影液的浓度。通过上述方式，本发明专利技术能够准确直观地在线反映显影液的浓度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及浓度在线监测
，特别是涉及一种显影液的浓度监测系统及显影液的浓度监测方法。
技术介绍
薄膜晶体管-液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，简写TFT-LCD)是目前在亮度、对比度、功耗、寿命、体积和重量等综合性能均表现良好的显示器件。它的性能优良，大规模生产特性好，自动化程度高，发展空间广阔，已经逐渐占据了显示器领域的主导地位。其由薄膜晶体管阵列基板(array基板)、彩色滤光片基板(CF基板)和夹在两基板间的液晶构成。CF基板作为LCD显色最重要的部件，主要制程为R、G、B等光阻材料在玻璃基板成膜，经曝光、显影，得到设计所需的彩色图案。在目前工艺中，R、G、B、黑矩阵(Black Matrix，简写BM)等光阻的显影液为氢氧化钾水溶液，氢氧化钾的在线浓度是通过测量溶液的电导率间接进行监控的。但此方法存在较大的缺点，一是电导率不能直观地显示为氢氧化钾浓度，二是经过一定次数的显影后，氢氧化钾水溶液中含有大量的杂质和导电粒子，因此电导率的变化并不能准确的反映氢氧化钾浓度的变化。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种显影液的浓度监测系统及显影液的浓度监测方法，能够准确直观地在线反映显影液的浓度。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种显影液的浓度监测系统，所述浓度监测系统包括：第一提取设备，用于从显影液存储设备提取显影液；第二提取设备，用于从反应液存储设备提取反应液；反应室，所述第一提取设备和所述第二提取设备进一步分别将提取到的所述显影液和所述反应液输送至所述反应室，以使得二者在所述反应室内进行化学反应；检测设备，用于检测反应后的所述显影液和所述反应液的PH值；计算设备，用于根据所述检测设备所检测到的PH值计算所述显影液的浓度。其中，所述浓度监测系统进一步包括连接于所述第一提取设备与所述显影液存储设备和所述反应室之间的第一切换设备以及连接于所述第二提取设备与所述反应液储设备和所述反应室之间的第二切换设备；其中，所述第一切换设备用于将所述第一提取设备选择性连接至所述显影液存储设备的出液口和所述反应室的第一进液口，以使得所述第一提取设备能够从所述显影液存储设备提取所述显影液并输送至所述反应室；所述第二切换设备用于将所述第二提取设备选择性连接至所述反应液存储设备的出液口和所述反应室的第二进液口，以使得所述第二提取设备能够从所述反应液存储设备提取所述反应液并输送至所述反应室。其中，所述第一切换设备进一步用于将所述第一提取设备选择性连接至所述显影液存储设备的进液口，以使得所述第一提取设备能够将提取的所述显影液输送回所述显影液存储设备；所述第二切换设备进一步用于将所述第二提取设备选择性连接至所述反应液存储设备的进液口，以使得所述第二提取设备能够将提取的所述反应液输送回所述反应液存储设备。其中，所述第一切换设备和所述第二切换设备分别为四通阀门。其中，所述浓度监测系统进一步包括搅拌设备，所述搅拌设备用于对所述反应室内的所述显影液和所述反应液进行搅拌。其中，所述浓度监测系统进一步包括清洗设备，所述清洗设备用于对所述反应室进行清洗。其中，所述浓度监测系统进一步包括吹干设备，所述吹干设备用于对所述反应室进行吹干。其中，所述反应室的底部呈倒锥状设置且设置有排液口。为解决上述技术问题，本专利技术采用的另一个技术方案是：提供一种显影液的浓度监测方法，所述浓度监测方法包括：分别提取显影液和反应液；使得提取的所述显影液和所述反应液进行化学反应；检测反应后的所述显影液和所述反应液的PH值；根据所述PH值计算所述显影液的浓度。其中，所述分别提取显影液和反应液的步骤包括：分别从显影液存储设备和反应液存储设备提取所述显影液和所述反应液；将提取的所述显影液和所述反应液分别输送回所述显影液存储设备和所述反应液存储设备；分别再次从所述显影液存储设备和所述反应液存储设备重新提取所述显影液和所述反应液。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本专利技术浓度监测系统包括：第一提取设备，用于从显影液存储设备提取显影液；第二提取设备，用于从反应液存储设备提取反应液；反应室，第一提取设备和第二提取设备进一步分别将提取到的显影液和反应液输送至反应室，以使得二者在反应室内进行化学反应；检测设备，用于检测反应后的显影液和反应液的PH值；计算设备，用于根据检测设备所检测到的PH值计算显影液的浓度。由于监测系统是检测反应后的显影液和反应液的PH值，通过这种方式，能够准确直观地在线反映显影液的浓度。附图说明图1是本专利技术显影液的浓度监测系统一实施方式的结构示意图；图2是本专利技术显影液的浓度监测系统另一实施方式的结构示意图；图3是本专利技术显影液的浓度监测方法一实施方式的流程图；图4是本专利技术显影液的浓度监测方法另一实施方式的流程图；图5是本专利技术显影液的浓度监测系统及方法在实际应用中的第一示意图；图6是本专利技术显影液的浓度监测系统及方法在实际应用中的第二示意图；图7是本专利技术显影液的浓度监测系统及方法在实际应用中的第三示意图；图8是本专利技术显影液的浓度监测系统及方法在实际应用中的第四示意图；图9是本专利技术显影液的浓度监测系统及方法在实际应用中的第五示意图；图10是本专利技术显影液的浓度监测系统及方法在实际应用中的pH与显影液质量浓度对应关系示意图；图11是本专利技术显影液的浓度监测系统及方法在实际应用中的第六示意图；图12是本专利技术显影液的浓度监测系统及方法在实际应用中的第七示意图；图13是本专利技术显影液的浓度监测系统及方法在实际应用中的第八示意图。具体实施方式下面结合附图和实施方式对本专利技术进行详细说明。参阅图1，图1是本专利技术显影液的浓度监测系统一实施方式的结构示意图，该浓度监测系统100包括：第一提取设备1、第二提取设备2、反应室3、检测设备4以及计算设备5。第一提取设备1用于从显影液存储设备6提取显影液。第一提取设备1从显影液存储设备6提取显影液时，可以是固定体积的显影液或者非固定体积的显影液。如果是固定体积的显影液，则每次的体积是固定的，如果是非固定体积的显影液，则每次的体积是非固定的，此时第一提取设备1还需要专门测量提取的显影液的体积。第二提取设备2用于从反应液存储设备7提取反应液。第二提取设备2从反应液存储设备7提取反应液时，可以是固定体积的反应液或者非固定体积的反应液。如果是固定体积的反应液，则每次的体积是固定的，如果是非固定体积的反应液，则每次的体积是非固定的，此时第二提取设备2还需要专门测量提取的反应液的体积。反应液的初始浓度是已知的。反应室3，第一提取设备1和第二提取设备2进一步分别将提取到的显影液和反应液输送至反应室3，以使得二者在反应室3内进行化学反应。检测设备4用于检测反应后的显影液和反应液的PH值。显影液和反应液实际上发生的是酸碱中和反应。计算设备5用于根据检测设备4所检测到的PH值计算显影液的浓度。根据显影液与反应液反应的化学式、提取的显影液的体积、反应液的体积、反应液的初始浓度以及检测到的PH值，计算设备5即可计算出显影液的浓度。本专利技术实施方式浓度监测系统包括：第一提取设备，用于从显影液存储设备提取显影液；第二提取设备，用于从反应液存储设备提取反应液；反应室，第一提取设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影液的浓度监测系统，其特征在于，所述浓度监测系统包括：第一提取设备，用于从显影液存储设备提取显影液；第二提取设备，用于从反应液存储设备提取反应液；反应室，所述第一提取设备和所述第二提取设备进一步分别将提取到的所述显影液和所述反应液输送至所述反应室，以使得二者在所述反应室内进行化学反应；检测设备，用于检测反应后的所述显影液和所述反应液的PH值；计算设备，用于根据所述检测设备所检测到的PH值计算所述显影液的浓度。

【技术特征摘要】
1.一种显影液的浓度监测系统，其特征在于，所述浓度监测系统包括：第一提取设备，用于从显影液存储设备提取显影液；第二提取设备，用于从反应液存储设备提取反应液；反应室，所述第一提取设备和所述第二提取设备进一步分别将提取到的所述显影液和所述反应液输送至所述反应室，以使得二者在所述反应室内进行化学反应；检测设备，用于检测反应后的所述显影液和所述反应液的PH值；计算设备，用于根据所述检测设备所检测到的PH值计算所述显影液的浓度。2.根据权利要求1所述的浓度监测系统，其特征在于，所述浓度监测系统进一步包括连接于所述第一提取设备与所述显影液存储设备和所述反应室之间的第一切换设备以及连接于所述第二提取设备与所述反应液储设备和所述反应室之间的第二切换设备；其中，所述第一切换设备用于将所述第一提取设备选择性连接至所述显影液存储设备的出液口和所述反应室的第一进液口，以使得所述第一提取设备能够从所述显影液存储设备提取所述显影液并输送至所述反应室；所述第二切换设备用于将所述第二提取设备选择性连接至所述反应液存储设备的出液口和所述反应室的第二进液口，以使得所述第二提取设备能够从所述反应液存储设备提取所述反应液并输送至所述反应室。3.根据权利要求2所述的浓度监测系统，其特征在于，所述第一切换设备进一步用于将所述第一提取设备选择性连接至所述显影液存储设备的进液口，以使得所述第一提取设备能够将提取的所述显影液输送回所述显影液存储设备；所述第二切换设备进一步用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：巫景铭，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44