一种带有液体去泡功能的供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶片涂胶显影工艺中的供液装置，具体地说是一种带有液体去泡功能的供给装置。包括供液桶、除气泡桶、补液管、排泡管及液体输出管，其中供液桶的底部和除气泡桶的底部通过补液管连通，所述供液桶和除气泡桶内液体的液面在同一平面上，所述供液桶和除气泡桶的上端均设有与排泡管连接的排气口，所述除气泡桶的底部设有液体输出管。所述装置还包括补液桶和补液泵，其中补液桶通过补液泵和液体输送管与供液桶连接。本发明专利技术利用两个药液桶串联，分两级进行去气泡，最终利用自身重力产生的压力进行供液。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种带有液体去泡功能的供给装置，其特征在于：包括供液桶(4)、除气泡桶(5)、补液管(7)、排泡管(10)及液体输出管(11)，其中供液桶(4)的底部和除气泡桶(5)的底部通过补液管(7)连通，使所述供液桶(4)和除气泡桶(5)内液体的液面在同一平面上，所述供液桶(4)和除气泡桶(5)的上端均设有与排泡管(10)连接的排气口，所述除气泡桶(5)的底部设有液体输出管(11)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡延兵，卢继奎，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21