显影装置以及显影液活性度的补偿方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种显影装置以及显影液活性度的补偿方法，将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，通过调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿，可以避免因所述显影液的活性度改变而带来的关键尺寸以及膜厚偏差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显影设备
，特别是涉及一种显影装置以及显影液活性度的补偿方法。
技术介绍
目前，面板显示行业和在生产加工产品时，需要用显影装置对产品进行显影。然而，在现有技术中，当显影装置空闲(Idle)一段时间后再跑跑(run)产品时，前几枚产品的关键尺寸(CriticalDimension，简称CD)以及膜厚会发生较大的变化。为了解决前几枚产品与正常跑产品之间的关键尺寸以及膜厚的差异，在现有技术中，一般显影装置空闲一段时间后再跑产品前，需要先跑虚拟(rundummy)，成本高且不易控制。此外，在现有技术中，显影装置闲置一段时间之后再正常跑产品时，显影液的活性度会发生变化，此时，如有没有很好的补偿显影液的活性度办法，再补加新显影液时，就会因显影液活性度不一致，造成产品的关键尺寸以及膜厚出现波动。
技术实现思路
为解决现有技术中产品的关键尺寸以及膜厚出现偏差技术问题，本专利技术提供一种显影装置以及显影液活性度的补偿方法，以对所述显影液的活性度改变而带来的关键尺寸以及膜厚偏差进行补偿，所述补偿方法包括：将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，包括：将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿。

【技术特征摘要】
1.一种显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，包括：将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿。2.如权利要求1所述的显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，所述因素包括所述存储槽内显影液的浓度和/或所述存储槽中碳酸根的浓度。3.如权利要求2所述的显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，当所述显影装置空闲后需跑产品时，控制所述存储槽内显影液的温度高于一标准温度，所述标准温度为正常跑产品时所述存储槽内显影液的温度。4.如权利要求3所述的显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，当所述显影装置在跑产品的过程中，所述显影液的液位低于跑产品所需的正常液位时，向所述存储槽中开始注入新显影液，所述存储槽内显影液的温度逐步趋于所述标准温度；当所述新显影液注入完毕，所述存储槽内显影液的温度达到所述标准温度。5.如权利要求1-4中任意一项所述的显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，预...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵敏敏，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32