The invention discloses a magnetic levitation guiding device, a control system and a control method thereof. The magnetic levitation guiding device comprises a movable slide block unit and a guide rail unit, and the sliding block units are arranged on both sides of the rail unit in pairs. Each pair consists of the first mover slider element and the second mover slider element. The control system includes position setting device, clearance measuring sensor and control circuit. The position setting device is used to set the initial height of the slider block relative to the guideway unit. The clearance measuring sensor is used to measure the clearance between the slider and guideway elements. The control circuit is connected with the position setting device and the gap measuring sensor, and is used to obtain the desired current required by the movable slider unit according to the values obtained by the position setting device and the clearance measuring sensor. The magnetic suspension guiding device has larger preload, adjustable preload force and high dynamic response ability.
【技术实现步骤摘要】
磁悬浮导向装置及其控制系统和控制方法
本专利技术涉及一种磁悬浮导向装置,适用于高速无摩擦静音运动装置,诸如半导体制造设备、液晶显示制造设备、检测设备中的运动台定位装置,运动台上承载有硅片、掩模、玻璃基底或者类似的基底用以曝光或者检测。
技术介绍
随着光刻技术的进步和半导体工业快速发展,对于光刻设备有四项基本性能指标:线宽均匀性(CD,CriticalDimensionUniformity)、焦深(Focus)、套刻(Overlay)和产率(Throughput)。为了提高线宽均匀性,光刻机工件台掩模台必须提高水平向精密定位能力。为了提高焦深误差精度,工件台掩模台必须提高垂向精密定位能力。为了提高光刻机套刻误差精度,工件台掩模台必须提高其内部模态来提升动态定位特性。此外,光刻设备必须增加产率,因此工件台必须高速运动,快速启动和停止。光刻设备的高速、高加速和高精密的定位能力是相互矛盾的。为了克服这个矛盾,当前工件台掩模台技术采用了粗微动结构,实现高速和高精度的技术分离。粗动结构主要由直线电机组成,可以实现大行程和高速度运动。微动台则层叠安装于粗动台上,可以动态补偿定位偏差,微动台实现纳米精度,并具有多自由度运动来进行光刻曝光和对准。目前这种结构采用气浮轴承结构驱动设计技术,无法实现多自由度运动与执行器的一体化耦合设计,导致系统运动结构的质量增大,驱动力随着增大,驱动反力施加给系统的残余振动也增大,从而影响了系统的动态性能。此外,由于产率要求高加速度导致附加倾翻力矩加大,工件台掩模台的气浮静刚度约束采用高刚性设计,对导向平面度、预载变形、气浮工艺参数设计要求非常 ...
【技术保护点】
一种用于磁悬浮导向装置的控制系统,所述磁悬浮导向装置包括动子滑块单元和导轨单元,所述动子滑块单元成对地布置于所述导轨单元的两侧,每对所述动子包括第一动子滑块单元和第二动子滑块单元,其特征在于,所述控制系统包括:位置设定装置,所述位置设定装置用于设定所述动子滑块单元相对于所述导轨单元悬浮的初始高度;间隙测量传感器,所述间隙测量传感器用于测量所述动子滑块单元与所述导轨单元之间的悬浮间隙高度;以及控制电路,所述控制电路与所述位置设定装置和所述间隙测量传感器通信连接,并用于根据所述位置设定装置和所述间隙测量传感器所得到的值,来获得所述动子滑块单元所需的期望电流。
【技术特征摘要】
1.一种用于磁悬浮导向装置的控制系统,所述磁悬浮导向装置包括动子滑块单元和导轨单元,所述动子滑块单元成对地布置于所述导轨单元的两侧,每对所述动子包括第一动子滑块单元和第二动子滑块单元,其特征在于,所述控制系统包括:位置设定装置,所述位置设定装置用于设定所述动子滑块单元相对于所述导轨单元悬浮的初始高度;间隙测量传感器,所述间隙测量传感器用于测量所述动子滑块单元与所述导轨单元之间的悬浮间隙高度;以及控制电路,所述控制电路与所述位置设定装置和所述间隙测量传感器通信连接,并用于根据所述位置设定装置和所述间隙测量传感器所得到的值,来获得所述动子滑块单元所需的期望电流。2.根据权利要求1所述的磁悬浮导向装置的控制系统,其特征在于,所述控制电路包括第一求和器、控制器、预载力输入器、第二求和器、第三求和器、第一非线性补偿器、第二非线性补偿器、第一电流驱动器、第二电流驱动器以及第四求和器,其中所述位置设定装置的输出端与所述第一求和器的输入端通信连接,所述第一求和器的输出端与所述控制器的输入端通信连接,所述控制器的输出端与所述第二求和器的输入端和所述第三求和器的输入端通信连接;所述预载力输入器的输出端与所述第二求和器的输入端和所述第三求和器的输入端通信连接;所述第二求和器和所述第三求和器的输出端与第一非线性补偿器和第二线性补偿器的输入端通信连接;所述间隙测量传感器的输入端与所述第一非线性补偿器和第二非线性补偿器的输入端通信连接;所述第一非线性补偿器和所述第二非线性补偿器的输出端分别与所述第一电流驱动器和所述第二电流驱动器的输入端通信连接;以及所述第一电流驱动器和所述第二电流驱动器的输出端分别与所述第一动子滑块单元和所述第二动子滑块单元电连接,用于控制所述第一动子滑块单元和所述第二动子滑块单元的运动。3.根据权利要求1所述的磁悬浮导向装置的控制系统,其特征在于,所述动子滑块单元包括铁芯和线圈绕组,所述线圈绕组缠绕于所述铁芯上,其中所述第一电流驱动器和所述第二电流驱动器分别为所述第一动子滑块单元的线圈绕组和所述第二动子滑块单元的线圈绕组供电。4.根据权利要求1所述的磁悬浮导向装置的控制系统,其特征在于,所述间隙测量传感器包括设置于所述动子滑块单元上的第一间隙测量传感器和第二间隙测量传感器,所述第一间隙测量传感器用于测量一对所述动子滑块单元中的一个动子滑块单元与所述铁芯之间的距离,以及所述第二间隙测量传感器用于测量该对所述动子滑块单元中的另一个动子滑块单元与所述铁芯之间的距离。5.根据权利要求1所述的磁悬浮导向装置的控制系统,其特征在于,所述动子滑块单元的铁芯为E型铁芯且所述线圈绕组缠绕于所述E型铁芯的中间的突支上,以及所述导轨单元为I型铁芯;或者,所述动子滑块单元的铁芯为C型铁芯且所述线圈绕组缠绕于所述C型铁芯的中部上,以及所述导轨单元为I型铁芯。一实施例中,铁芯由软...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴立伟,杨晓峰,陈庆生,
申请(专利权)人:复旦大学,
类型:发明
国别省市:上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。