The invention discloses an automatic for the target device used in electron beam evaporation equipment, which comprises the following steps: (1) real time target: when promote evaporation in advance, according to the second sensor data mechanism controlled by the control unit automatically through the second servo motor to drive the propulsion platform will target target container according to the consumption of evaporation process in real time to advance; (2) automatic target: driven by third servo motor rotation target, the target disk on another second target rotation of the cylindrical cavity to cavity target is under the target and target container container exactly coincide, promote the target platform it is moved to the second target chamber just below the target hold, then Carmen open platform will continue to move forward, to promote the target to target vessel target and target vessel closely, The propulsion mechanism stops; (3) pushing the replacement target into the target plate.
【技术实现步骤摘要】
自动换靶装置的使用方法
本专利技术属于机械
,尤其是涉及一种自动换靶装置的使用方法。
技术介绍
薄膜技术在工业上得到广泛的应用,特别是在电子材料、磁性材料和元器件工业领域中占有极为重要的地位,因此,制备各种性能的薄膜的方法在最近几十年中也得到了飞跃发展。现有的电子束蒸发设备一般使用时用完一个靶材需要打开真空镀膜腔室进行靶材的更换,而在大量使中则需要频繁更换靶材,由于真空腔室的开启和抽真空需要一定的时间,会造成时间成本增加,这样的话会影响蒸镀的效率,不利于大批量的生产;且分子泵频繁的使用,会减少其寿命;同时经常打开真空腔室会造成灰尘等杂质进入真空腔室,从而影响真空镀膜质量。因此,有必要研发出一种结构新颖、镀膜效率高、容易控制基于电子束蒸发设备的自动换靶装置的使用方法。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种结构新颖、镀膜效率高、容易控制的基于电子束蒸发设备的自动换靶装置。为解决上述技术问题,本专利技术采用的技术方案是,该基于电子束蒸发设备的自动换靶装置包括升降机构和位于真空镀膜腔内的靶容器,还包括备用靶材腔、真空泵和控制单元,所述备用靶材腔设置在所述真空镀膜腔外且位于所述靶容器的下方,所述备用靶材腔与所述真空镀膜腔相连接,且中间设有阀门以隔离或连通;所述升降机构贯穿所述备用靶材腔、真空镀膜腔与所述靶容器的底部相连接;所述升降机构用于在进行蒸镀工艺时将靶材实时根据靶材的消耗量向上移动靶材和当消耗完一个靶材后将备用靶材腔中的靶材移动至真空镀膜腔内;所述备用靶材腔连接有真空泵,所述备用靶材腔设有腔门,且所述备用靶材腔连接有真空泵和气阀;所述控制单元包 ...
【技术保护点】
一种自动换靶装置的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)实时推进靶材:当蒸镀工艺在进行时,推进机构根据第二感应器的数据由控制单元控制实时自动的通过第二伺服电机带动推进平台将靶容器内的靶材根据蒸镀工艺的消耗量实时向上推进;(2)自动换靶材:当蒸镀时消耗完一个靶材后,与靶容器相对应结合的靶材盘上的第一靶材腔则空了,第一靶材腔内的感应器则发出提示,待蒸镀工艺结束后,电子束枪关闭、卡门关闭,由卡门托住靶容器内的靶材,推进平台则向下移动,当下移到靶材盘的下方后,由第三伺服电机带动靶材盘旋转,将靶材盘上另一个有靶材的第二靶材腔转动到靶容器的正下方与靶容器的圆柱形空腔精确地相重合,推进平台则上移至第二靶材腔的靶材的正下方托住靶材,然后卡门打开,推进平台则继续上移将靶材推进至靶容器内且与靶容器内的靶材紧密结合,推进机构则停止;(3)向靶材盘内推入替换靶材:上推机构启动,真空镀膜腔与备用靶材腔之间的阀门打开,靶材盘的托台的打开,第一伺服电机带动上推平台上移,则将上推平台上的备用靶材上移至靶材盘中没有靶材的第一靶材腔内;靶材盘的托台则关闭托住靶材,第一伺服电机则带动上推平台向下移动至备用靶材腔内的原始 ...
【技术特征摘要】
1.一种自动换靶装置的使用方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)实时推进靶材:当蒸镀工艺在进行时,推进机构根据第二感应器的数据由控制单元控制实时自动的通过第二伺服电机带动推进平台将靶容器内的靶材根据蒸镀工艺的消耗量实时向上推进;(2)自动换靶材:当蒸镀时消耗完一个靶材后,与靶容器相对应结合的靶材盘上的第一靶材腔则空了,第一靶材腔内的感应器则发出提示,待蒸镀工艺结束后,电子束枪关闭、卡门关闭,由卡门托住靶容器内的靶材,推进平台则向下移动,当下移到靶材盘的下方后,由第三伺服电机带动靶材盘旋转,将靶材盘上另一个有靶材的第二靶材腔转动到靶容器的正下方与靶容器的圆柱形空腔精确地相重合,推进平台则上移至第二靶材腔的靶材的正下方托住靶材,然后卡门打开,推进平台则继续上移将靶材推进至靶容器内且与靶容器内的靶材紧密结合,推进机构则停止;(3)向靶材盘内推入替换靶材:上推机构启动,真空镀膜腔与备用靶材腔之间的阀门打开,靶材盘的托台的打开,第一伺服电机带动上推平台上移,则将上推平台上的备用靶材上移至靶材盘中没有靶材的第一靶材腔内;靶材盘的托台则关闭托住靶材,第一伺服电机则带动上推平台向下移动至备用靶材腔内的原始位置,真空镀膜腔与备用靶材腔之间的阀门关闭。2.根据权利要求1所述的自动换靶装置的使用方法,其特征在于,还包括步骤(4)备用靶材腔添加靶材:由控制单元控制气阀打开将备用靶材腔内的通入空气,直至备用靶材腔内的真空度与大气相同,再将备用靶材腔的腔门打开,将靶材放入备用靶材腔里的上推平台上,且保证上推平台在靶材的中心位置,关闭腔门,再由控制单元控制机械泵、真空泵对备用靶材腔抽真空,待备用靶材腔真空度达到镀膜腔室的真空度后,真空泵停止。3.根据权利要求1所述的自动换靶装置的使用方法,其特征在于,所述备用靶材腔设置在所述真空镀膜腔外且位于所述靶容器的下方,所述备用靶材腔与所述真空镀膜腔相连接,且中间设有阀门以隔离或连通;所述升降机构贯穿所述备用靶材腔、真空镀膜腔与所述靶容器的底部相连接;所述升降机构用于在进行蒸镀工艺时将靶材实时根据靶材的消耗量向上移动靶材和当消耗完一个靶材后将备用靶材腔中的靶材移动至真空镀膜腔内;所述备用靶材腔设有腔门,且所...
【专利技术属性】
技术研发人员:张荣生,
申请(专利权)人:无锡南理工科技发展有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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