The invention discloses an electron beam evaporation technique based on TiO2 high transmittance and high conductivity of the thin film preparation method comprises the following steps: titanium dioxide powder (granular) put pressure in the mold, pressed into blocks of dense, removed, placed in a corundum box, after 24h put into the sintering furnace, sintering at a certain temperature; open the machine will target a copper crucible, quartz glass cleaning drying after the card into the carrier disc, the clock of the electron beam evaporation stations cover vacuum, hydrogen or nitrogen into the cleaning bell, heated quartz glass by electron beam bombardment of the target, and can control the evaporation rate. The film has better stability, light transmittance and conductivity, the prices of raw materials and the use of extremely low cost and satisfy the transparent conductive film with high light transmittance, high conductivity, low price of the basic requirements.
【技术实现步骤摘要】
一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法
本专利技术涉及材料制备领域,具体涉及一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法。
技术介绍
二氧化钛(TiO2)透明导电薄膜以其优异的光电性能及价廉且资源丰富而在光电器件、光催化降解水和空气中的污染物等方面获得了广泛的应用,但是,作为导电薄膜时,其导电性和透光性较差,无法取得良好的效果。目前二氧化钛(TiO2)透明导电薄膜的制备方法溶胶-凝胶法、气相沉积法、阳极电沉积法、电泳法、磁控溅射法等。
技术实现思路
为解决上述问题,本专利技术提供了一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法。为实现上述目的,本专利技术采取的技术方案为:一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法,包括如下步骤:S1、将二氧化钛颗粒放在模具里加压,压制成致密的块状物后,取出,置于刚玉盒内,24h后放入烧结炉中,在一定的温度下烧结成型;S2、打开机器将靶材放入铜质坩埚内,将清洗干燥后的石英玻璃卡入载片盘,将电子束蒸发台的钟罩抽成真空,投入氢气或氮气清洗钟罩,加热石英玻璃片,用电子束轰击靶材,并且控制好蒸发速率即可。优选地,所述石英玻璃通过以下步骤完成清洗干燥:取一定尺寸的玻璃,两面用洗涤剂清洗干净后,依次用自来水、去离子水冲洗,自然干燥后将其置于不锈钢挂架上,依次用丙酮超声清洗5分钟、无水乙醇超声清洗5分钟、去离子水超声清洗两次,每次5分钟,然后将洗好的玻璃放入烘箱干燥,待用。优选地,所述步骤S1具体包括如下步骤:S11、将二氧化钛颗粒装满直径为2.5cm,深4cm的模具,略加 ...
【技术保护点】
一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、将二氧化钛粉末(颗粒)放在模具里加压,压制成致密的块状物后,取出,置于刚玉盒内,24h后放入烧结炉中,在一定的温度下烧结成型;S2、打开机器将靶材放入铜质坩埚内,将清洗干燥后的石英玻璃卡入载片盘,将电子束蒸发台的钟罩抽成真空,投入氢气或氮气清洗钟罩,加热石英玻璃片,用电子束轰击靶材,并且控制好蒸发速率即可。
【技术特征摘要】
1.一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、将二氧化钛粉末(颗粒)放在模具里加压,压制成致密的块状物后,取出,置于刚玉盒内,24h后放入烧结炉中,在一定的温度下烧结成型;S2、打开机器将靶材放入铜质坩埚内,将清洗干燥后的石英玻璃卡入载片盘,将电子束蒸发台的钟罩抽成真空,投入氢气或氮气清洗钟罩,加热石英玻璃片,用电子束轰击靶材,并且控制好蒸发速率即可。2.如权利要求1所述的一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法,其特征在于,所述石英玻璃通过以下步骤完成清洗干燥:取一定尺寸的玻璃,两面用洗涤剂清洗干净后,依次用自来水、去离子水冲洗,自然干燥后将其置于不锈钢挂架上,依次用丙酮超声清洗5分钟、无水乙醇超声清洗5分钟、去离子水超声清洗两次,每次5分钟,然后将洗好的玻璃放入烘箱干燥,待用。3.如权利要求1所述的一种基于电子束蒸发技术的TiO2高透过率高电导率薄膜制备方法,其特征在于,所述步骤S1具体包括如下步骤:S11、将二氧化钛粉末(颗粒)装满直径为2.5cm,深4cm的模具,略加振动,装满后倒入一清洁容器内,加入少量聚乙烯醇,搅拌均匀后装入模具,接着加压,当压力在31MPa的时候停止加压,得致密的块状物;S1...
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