一种半导体专用设备轴密封结构制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体专用设备轴密封结构，其包括安装在传动轴上的入口盘，套装在入口盘上的套盘；所述传动轴与入口盘及套盘的接触部分包括凹槽段和螺旋段；所述套盘的上部设置有圆周凹槽，套盘的内侧设置有异形槽；套盘上的异形槽与传动轴上的凹槽段形成膨胀空腔，膨胀空腔内充满氮气，是膨胀空腔内为正压；入口盘及套盘的内侧与螺旋段形成节流间隙，用于甩出渗漏的液体。本发明专利技术提供的一种半导体专用设备轴密封结构，其采用多级圆周凹槽密封和螺旋密封组合形式密封，并且在膨胀空腔内充氮保持正压，以防止酸碱性气、液的渗入，该密封结构提高了密封的可靠度，防止了轴系内部的腐蚀，有利于提高轴系工作的寿命。

Shaft sealing structure of special equipment for semiconductor

The invention discloses a sealing structure of a semiconductor equipment shaft, which includes entrance disc mounted on a drive shaft, sleeve is sheathed on the disc tray in the entrance; the drive shaft and the contact part of disk and disk entrance includes a groove segment and spiral section; the upper part of the sleeve is provided with a circular disc Zhou Aocao. The inner disk set provided with shaped groove; a groove segment shaped groove and the drive shaft sleeve on the disc on the formation of cavity expansion, the expansion of the cavity is filled with nitrogen, the cavity expansion pressure is positive; entrance disk and disk set inside and spiral section formed for throttling gap, leakage of liquid thrown out. Sealing structure is a special equipment for semiconductor shaft provided by the invention, the multistage circumferential groove seal and spiral seal combination seal, and the expansion of the cavity filled with nitrogen to maintain positive pressure, to prevent acid gas and liquid infiltration, the sealing structure improves the reliability of the seal, to prevent corrosion of shafting inside. To improve the working life of shafting.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体专用设备轴密封结构
本专利技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种半导体专用设备轴密封结构。
技术介绍
传动轴是机械中最为常见的一种结构，是实现动力传递，导向支承等功能的关键部件。随着现代工业的飞速发展，对轴结构的要求也越来越高，密封性便是对轴性能提出的一大挑战。然而在对可靠性及精度要求更高的半导体领域而言，对轴密封的研究是该
的焦点。在半导体专用设备领域，传动轴的工作环境比较复杂，其常处在强酸、强碱等腐蚀性气、液体恶劣工况下，这对轴密封性能的好坏直接影响轴的工作性能，这对传动轴的寿命、可靠性及精度有着至关重要的影响。传统的单一的密封形式有时难以满足苛刻的工况条件，亟需设计一种轴密封结构，解决半导体设备轴密封的问题。
技术实现思路
本专利技术是针对上述技术问题，提供了一种半导体专用设备轴密封结构，其采用多级圆周凹槽密封和螺旋密封组合形式密封，并且在膨胀空腔内充氮保持正压，以防止酸碱性气、液的渗入，该密封结构提高了密封的可靠度，防止了轴系内部的腐蚀，有利于提高轴系工作的寿命。本专利技术的技术方案为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种半导体专用设备轴密封结构，其包括安装在传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体专用设备轴密封结构，其特征在于，包括安装在传动轴（1）上的入口盘（2），套装在入口盘（2）上的套盘（3）；所述传动轴（1）与入口盘（2）及套盘（3）的接触部分包括凹槽段（1‑1）和螺旋段（1‑2）；所述套盘（3）的上部设置有圆周凹槽，套盘（3）的内侧设置有异形槽；套盘（3）上的异形槽与传动轴（1）上的凹槽段（1‑1）形成膨胀空腔，膨胀空腔内充满氮气，是膨胀空腔内为正压；入口盘（2）及套盘（3）的内侧与螺旋段（1‑2）形成节流间隙，用于甩出渗漏的液体。

【技术特征摘要】
1.一种半导体专用设备轴密封结构，其特征在于，包括安装在传动轴（1）上的入口盘（2），套装在入口盘（2）上的套盘（3）；所述传动轴（1）与入口盘（2）及套盘（3）的接触部分包括凹槽段（1-1）和螺旋段（1-2）；所述套盘（3）的上部设置有圆周凹槽，套盘（3）的内侧设置有异形槽；套盘（3）上的异形槽与传动轴（1）上的凹槽段（1-1）形成膨胀空腔，膨胀空腔内充满氮气，是膨胀空腔内为正压；入口盘（2）及套盘（3）的内侧与螺旋段（1-2）形成节流间隙，用于甩出渗漏的液体。2.根据权利要求1所述轴密封结...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭春华，刘永进，侯为萍，祝福生，舒福璋，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11