陶瓷管壳剥离清理设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种陶瓷管壳剥离清理设备，包括：第一机箱，所述第一机箱包括第一机箱本体、位于所述第一机箱本体表面的辅助台面、设置于所述辅助台面上的加热模块，其中，所述加热模块上设置有若干与真空泵连通的真空吸孔；第二机箱，所述第二机箱内设置有吸纳装置；其中，所述第一机箱与所述第二机箱盖合时形成内部腔体，所述辅助台面及所述加热模块位于所述内部腔体内，且所述内部腔体与所述吸纳装置相连通。通过上述方案，能够自动剥离清理各型DIP16/28/48等的陶瓷管壳；在整个操作的过程中不需要人员靠近高温区域，降低工作的危险程度；能够提高清洁的效率与产量，控制有害气体的扩散。

Stripping and cleaning equipment for ceramic tubes and shells

The utility model provides a ceramic tube stripping cleaning equipment, including: the first case, the first case comprises a first case body, is located on the first surface of the main body of the chassis, auxiliary table is arranged on the table of the auxiliary heating module, wherein the heating module is arranged on the number of vacuum and vacuum pump suction holes communicated; second chassis, the chassis second is arranged in the absorbing device; wherein the first case and the second case closed form internal cavity, the auxiliary table and the heating module is positioned inside the cavity, and the inner cavity and the absorbing device are communicated. Through this program, can automatically clean the stripping of various types of DIP16/28/48 ceramic tube; in the process of operation is not needed in the high temperature region close to the staff, reduce the risk of work; to improve the efficiency and yield of clean, diffusion control of harmful gases.

【技术实现步骤摘要】
陶瓷管壳剥离清理设备
本技术涉及半导体工艺设备
，特别是涉及一种陶瓷管壳剥离清理设备。
技术介绍
DIP(DualIn-linePackage，双列直插式封装)的陶瓷管壳封装，包括DIP16/DIP28/DIP48，是在工艺研发以及IP研发过程中经常使用的一种封装载体。它具有封装快速，可靠性强等优点。DIP的陶瓷管壳单个价格还是比较昂贵的，单个管壳上键合线的框架区域镀金厚度可以达到2um左右，好一些的陶瓷管壳封装甚至可以达到2.5um，同时芯片(die)也是通过胶水黏贴在管壳底部的。基于这两点，就为重复使用DIP封装提供了一定的条件，通常要把封装好的DIP封装加热到一定的温度，然后再把芯片(die)以及金线剥离下来，通过这样的操作，DIP的管壳可以重复使用三次，甚至是四次。现有的陶瓷管壳加热处理设备存在如下问题：1)整个加热环境是相对开放的，通过把封装好的待剥离陶瓷管壳放入到加热模块上，持续加热到350℃左右，由于使用了胶水粘连芯片(die)和DIP陶瓷管壳，温度一旦升高，会发出难闻的气味，长时间吸入会使人头晕，不利于健康；2)加热到一定温度后，需要人工用镊子把芯片(die)以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种陶瓷管壳剥离清理设备，其特征在于，包括：第一机箱，所述第一机箱包括第一机箱本体、位于所述第一机箱本体表面的辅助台面、设置于所述辅助台面上的加热模块，其中，所述加热模块上设置有若干与真空泵连通的真空吸孔；第二机箱，所述第二机箱内设置有吸纳装置；其中，所述第一机箱与所述第二机箱盖合时形成内部腔体，所述辅助台面及所述加热模块位于所述内部腔体内，且所述内部腔体与所述吸纳装置相连通。

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷管壳剥离清理设备，其特征在于，包括：第一机箱，所述第一机箱包括第一机箱本体、位于所述第一机箱本体表面的辅助台面、设置于所述辅助台面上的加热模块，其中，所述加热模块上设置有若干与真空泵连通的真空吸孔；第二机箱，所述第二机箱内设置有吸纳装置；其中，所述第一机箱与所述第二机箱盖合时形成内部腔体，所述辅助台面及所述加热模块位于所述内部腔体内，且所述内部腔体与所述吸纳装置相连通。2.根据权利要求1所述的陶瓷管壳剥离清理设备，其特征在于，还包括机箱底座，所述机箱底座通过支架立柱与所述第一机箱相连接，其中，所述支架立柱与所述第一机箱之间的连接方式为转动连接。3.根据权利要求1所述的陶瓷管壳剥离清理设备，其特征在于，所述加热模块包括若干列加热单元，所述真空吸孔设置于所述加热单元上。4.根据权利要求3所述的陶瓷管壳剥离清理设备，其特征在于，所述加热单元一端设置有导引槽，另一端设置有档块。5.根据权利要求3所述的陶瓷管壳剥离清理设备，其特征在于，所述加热单元一端设置有导引槽，所述辅助台面上设置有一挡板，所述挡板与所有所述加热单元的另一端相连接。6.根据权利要求4或5所述的陶瓷管壳剥离清理设备，其特征在于，所述第二机箱的一端通过转轴与所述第一机箱的一端相连接，其中，所述导引槽位于所述加热单元远离所述转轴的一端。7.根据权利要求3所述的陶瓷管壳剥离清理设备，其特征在于，所述内部腔体中还包括滚刷组件及电机，所述滚刷组件及电机设置于所述第二机箱上，所述电机与所述滚刷组件相连接用于驱动所述滚刷组件。8.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘琦，贾伶俐，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11