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本实用新型提供一种陶瓷管壳剥离清理设备，包括：第一机箱，所述第一机箱包括第一机箱本体、位于所述第一机箱本体表面的辅助台面、设置于所述辅助台面上的加热模块，其中，所述加热模块上设置有若干与真空泵连通的真空吸孔；第二机箱，所述第二机箱内设置有吸...该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。