The present invention provides a method for the in raw materials in gas phase thermal decomposition and mixed gas containing fluoromethane and acyl fluoride in the method of simple separation of mixed gas containing fluoromethane and acyl fluoride. As the solution, provide a method for manufacturing a fluoromethanes includes: (1) the raw material compound phase thermal decomposition in air, get a mixed gas containing fluoromethane and acyl fluoride process; and (2) according to the above procedure (1) obtained in the mixed gas distillation, get fluoromethanes process.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氟代甲烷的制造方法
本专利技术涉及一种制造作为干蚀刻气体有用的氟代甲烷的方法。
技术介绍
氢氟烃作为半导体、液晶等的微细加工用的蚀刻气体是有用的，特别是氟代甲烷(CH3F)，作为用于形成最前端的微细结构的蚀刻气体，受到了关注。作为氟代甲烷的制造方法，例如已知有通过使原料化合物在气相状态下热分解而得到包含氟代甲烷和酰基氟的混合气体的方法等(专利文献1)。如上所述，作为分离所得到的混合气体所包含的氟代甲烷和酰基氟的方法，已提案了以下的方法：通过将混合气体冷却，分离成由以氟代甲烷(沸点－79℃)为主要成分的低沸点成分组成的气体成分、和由以酰基氟(例如，3,3,3－三氟－2－(三氟甲基)丙酰氟(沸点32℃)等)为主要成分并且有时包含未反应原料(1,1,3,3,3－五氟－2－三氟甲基丙基甲基醚(沸点68.5℃)等)的高沸点成分组成的液体成分(专利文献1)。另外，作为其他的分离方法，也提案了使所得到的混合气体与水或碱性水溶液等接触，将酰基氟溶解于水相中而除去的方法(专利文献1)。在这种情况下，也提案了使用醇代替水和碱性水溶液。通过接触醇而生成酯，容易进行燃烧处理。在现有的方法...
【技术保护点】
一种氟代甲烷的制造方法，其特征在于，包括：(1)通过使原料化合物在气相状态下热分解，得到包含氟代甲烷和酰基氟的混合气体的工序；和(2)通过对所述工序(1)中得到的混合气体进行精馏，得到氟代甲烷的工序。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.05 JP 2015-0214081.一种氟代甲烷的制造方法，其特征在于，包括：(1)通过使原料化合物在气相状态下热分解，得到包含氟代甲烷和酰基氟的混合气体的工序；和(2)通过对所述工序(1)中得到的混合气体进行精馏，得到氟代甲烷的工序。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在所述工序...
【专利技术属性】
技术研发人员：中村新吾，江藤友亮，田野惠祐，田中义纪，
申请(专利权)人：大金工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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