The invention relates to a titanium two-component selective etching liquid, which comprises first and second components, the first component is the oxidation of titanium liquid, the titanium oxide liquid comprises a corrosion inhibitor and water hydrogen peroxide, hydrogen peroxide stabilizer, copper, the second group was divided into alkaline substances. The etching liquid of the invention adopts the titanium oxide solution as the first component, an alkaline substance as the second component, and the oxidation of titanium liquid comprises a corrosion inhibitor and water hydrogen peroxide, hydrogen peroxide stabilizer, copper etching agent, when in use, only the titanium oxide solution and alkaline substances on-site deployment, not only convenient, safe, and alkaline substances as individual components, not before use with other substances mixed solution does not exist, the longer the storage time, reduce the alkali etching liquid system and etching solution using phenomenon. On the other hand, the stability of titanium oxidation liquid is also more excellent.
【技术实现步骤摘要】
一种钛选择性双组份蚀刻液
本专利技术属于半导体加工
,具体涉及一种钛选择性双组份蚀刻液。
技术介绍
ROHS法是由欧盟立法制定的一项强制标准,它的全称是《关于限制在电子电器设备中使用某些有害成分的指令》。使之更加有利于人体健康和环境保护。因此对广泛用于半导体、印刷电路板等的半导体元件无铅化管理做了强制性规定。制作无铅焊料就成为半导体元件的必备过程。这些无铅焊料(凸点)就是印刷电路板等制造过程中必须保护的对象。蚀刻技术通常为化学药品蚀刻,即湿法腐蚀,湿法腐蚀具有如下优点:首先无需高成本的配置,所使用的蚀刻液也比较廉价,经济成本较低;其次,在处理较大面积或有角度的基板时,也可以实现蚀刻的均匀性;另外,蚀刻过程不受蚀刻对象的大小和形状的限制,可以用于三维结构的物体。因此,湿法蚀刻在薄膜生产领域被广泛应用。制作无铅焊料凸点时,蚀刻液的蚀刻能力和选择性将直接影响无铅焊料凸点的精确性和稳定性。就是在选择性蚀刻钛时不能腐蚀无铅焊料凸点和铜柱。现有的钛蚀刻液主要为酸性蚀刻液,比如氢氟酸和过氧化氢混合液、氢氟酸和硝酸的混合液等,含有氢氟酸的蚀刻液在蚀刻工艺中被广泛应用,但是氢氟酸属于有毒物质,而且可溶解多种金属,不具有选择性,在对钛金属膜蚀刻的同时,也会腐蚀焊料凸点。不含有氢氟酸的一般酸性蚀刻液不具有选择性,易腐蚀无铅焊料凸点,溶解速度较快,咬边现象比较突出,对凸点的形状也有影响。对钛金属膜进行选择性蚀刻的方法,目前有报导的是过氧化氢和络合剂结合使用,为酸性蚀刻液,与其他酸性蚀刻液一样,蚀刻速度较快,容易侧向蚀刻造成焊接咬边及产生蚀刻残渣。专利CN101903988A ...
【技术保护点】
一种钛选择性双组份蚀刻液,其包含第一组分和第二组分,其特征在于:所述第一组分为钛氧化液,所述钛氧化液包括过氧化氢、过氧化氢稳定剂、铜防腐蚀剂和水,所述第二组分为碱性物质。
【技术特征摘要】
1.一种钛选择性双组份蚀刻液,其包含第一组分和第二组分,其特征在于:所述第一组分为钛氧化液,所述钛氧化液包括过氧化氢、过氧化氢稳定剂、铜防腐蚀剂和水,所述第二组分为碱性物质。2.根据权利要求1所述的钛选择性双组份蚀刻液,其特征在于:所述碱性物质的添加量占所述蚀刻液总重量的1~8%。3.根据权利要求1或2所述的钛选择性双组份蚀刻液,其特征在于:所述碱性物质为碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钾、碳酸氢钠中的一种或几种。4.根据权利要求1所述的钛选择性双组份蚀刻液,其特征在于:所述过氧化氢占所述蚀刻液总重量的10~35%。5.根据权利要求1所述的钛选择性双组份蚀刻液,其特征在于:所述过氧化氢稳定剂的添加量占所述蚀刻液总重量的0.2~3%。6.根据权利要求1或5所述的钛选...
【专利技术属性】
技术研发人员:金炳生,高小云,刘兵,
申请(专利权)人:苏州晶瑞化学股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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